Е. а. гареввакуул^
!
О П И С А Н- - Е
ИЗО6РЕТЕН ИЯ
Са!сз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 05Х.1969 (№ 1327439/18-10) с i!pi!сосдilнсннех! за я в к!! ¹
11р иор итет—
Он бл:!нова!!о 11 VI.1971. В!о.!с!""!!!.,х, 19. !11К G 01. 11,00 комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР .!,1(531 787 (088 8)
Дата онублнкова!.: я )!ill,";:;!.ië 31Л !1!.1971
Л вторы
>!зобрстсния! т!. A. Муртазин и Е. А. Гарев
3 т! 5!:! и те,!»
ВАКУУМНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ МИКРОМАНОМЕТР
Изобретение относится к приборам для измерения абсолютного давления разреженных сред, имеющих место при эксплуатации, испытании и наладке вакуумной техники, а также при измерении малых перепадов давлений.
Известные оптические микроманомстры с мембранным чувствительным элементом и ollтической системой отсчета не обладают достаточной точностью отсчета.
Предлагаемый микроманометр отличается от известных тем, что верхняя крышка вакуумной камеры выполнена плоской с выступом с двумя параллельно расположенными прозрачными вертикальными стенками, между которыми помещена диафрагма с фасонной прорезь!о, освещаемой источником света и проецирусмой объективом на шкалу.
I I B i Q p T p >!(» из о б р а к е н п р е дл а г B p M bl l f романометр. На корпусе 1 укреплена вакуумноплотная откачная камера 2, в выступающей части верхней крышки которой имеются два остекленны.; отверстия 8. Внутри камеры укреплен чувствительный элемент 4 с упругой гофрированной мембраной 5, например из бериллиевой бронзы, имеющей линейную характеристику. На мембране укреплена непрозрачiasr диафрагма б с фасонной прорезью 7. На верхней крышке камеры укреплены осветитель 8 с электрической лампой 9 и конденсор10 б 11 В противополо>кной части !.Ори са \ i pEïëcHÇ линейная шкт. ла 12 с равномсрно нанесенными делениями. я . которую проецируется увеличенное световое изобра>ксн!!с фасонной прорези 7, служащес указателем 18. Камера 2 снабжена выводом !
-1, чувствит л»!!!.!!! элемент 4 — выводом 15
1!рнбор раоотает следующим образом.
11рн измерсни:.! абсолютного давления к B»io воду 14 нодсоединястся откачивающее устройство, а к выводу 15 — измеряемая линия. Под действием раз;!ост!! давлений в камере 2 в чувствител»Hом элементе 4 мембрана 5 прпH11маст определенное положение, отличнос от по15 ложсния в равновесном состоянии. Свет, ид;щий ol лампы 9, усиливается кондснсорной линзой 10. пройдя через фасонную прорезь 7, попадает в объектив 11 и далее на шкалу 12 в виде увеличенного светового изображения про2 рези 7, являющегося указателем 18. Положение указателя 18 на шкале 12 строго зависит от положения прорези 7, а следовательно. мембраны 5, которое, в свою очередь, строго зависит от разности давлений в камере 2 и г.
25=.,,чувствительнох! элементе 4.
Таким образом, каждой величинс разности давлений в чувствительном элементе 4 и в камере 2 соответствует свое строго определенное положение светового указателя 18 на шкаЭО
306372! предмет изобрстеии51 и:), );) а :., I! Г. Нсяская
1, го) :,: Л. В. КоpH(са 11 ),!)с,(I Bopucoaa К",," к:();l В. И. Жог)удса,г!!;; № и!,! I i! .);) )к 47 ) 11:);., ); . ).
111 II II IIIII I(,;)Li!IL га.:)о:;саня н к)ti )ñ сннй н огкр):)гнй:ipi! Спас). Мн))астров СССР, )1;нкна, К:3;), Рак)нскан н))б., д. 4, 5
Ооаас-ная ) illoграг))..я Iy,)(громкого кпраа IB!l) я !)0 нснатя
Б случае измсрси1(я перепада давлений призор работает точно так жс. Прп этом к выводу !4 иодсосд(шяется линия с большим давлс(игс», <1 к выводу 55 — с меньшим.
Вакуумный оптичсск(ш микромаиомстр, содержащий вакуумио-плотную камеру с мсморяццым чувствительным элементом и элсктри9 C C K H H И С т О г1 И И К C B 0 T LI i O T JL LL ) L Q IO LLL, LL LL C 5L т Е М, ) I T O . с целью повышения точности и обеспечения линейности шкалы, вернцяя крышка вакуумной камеры выполнена плоской с выступом с двумя параллельно расположенными прозрачными
5 вертикальными стенками, мсжд» которыми помещена диафрагма с фасоиной прорезью, освещаемой источником светя и проецируемой о(п,— скгивом ия шкалу.
