Всгсоюзная ' -т-и^гф • .•?'4мур*''ймi л ^й г rtu s ^а«"' 's- ""**dhb.woteka

Авторы патента:

Иностранна фирма Коммюноте Еропеен Енержи Атомик Евратом

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советокик

Социалистические

Ресоублик

К ПАТЕНТУ

Зависимый от патента №

Заявлено 02.XI.1966 (№ 1110953/1156026/22-1) МПК С 23с 13/08

Приоритет 17.XII.1965, № 21744, Бельгия

Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Опубликовано 19Х!11.1971. Бюллетень № 25

СССР

1 Дата опубликования описания 18.Х.1971

Автор изобретения

Иностранец

Мишель Блок (Бельгия) Иностранная фирма

«Коммюноте Еропеен л Енержи Атомик (Евратом) (Бельгия) Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены электроды, и трубопровод для подачи газа.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что электроды выполнены в виде катушки индуктивности, изготовленной из напыляемого материала, на продолжении оси которой расположен трубопровод для подачи газа. Это повышает производительность труда и увеличивает адгезию пленок к подложке.

На чертеже изображено предложенное устройство, общий вид.

Устройство включает вакуумную камеру 1, внутри которой расположены электроды, выполненные в виде катушки индуктивности 2, изготовленной из на пыляемого материала, на продолжении оси которой расположен трубопровод 3 для подачи газа.

Напряжение высокой частоты подается с генератора 4 через повышающий трансформатор б на катушку индуктивности 2. Частоту генератора 4 можно изменять емкостью 6 в пределах от 2 до 30 мги. Генератор 7 постоянного тока высокого напряжения подключен своим отрицательным полюсом к покрываемой детали 8, а положительным полюсом вЂ” к стенке вакуумной камеры 1.

5 Под влиянием электромагнитного поля высокой частоты, создаваемого катушкой индуктивности, газ, подаваемый .в центр катушки индуктивности 2 по трубопроводу 8 ионизпруется и образует плазму. Возбужденные ча10 стицы последней выбрасываются к катушке индуктивности и вырывают из нее молекулы вещества, из которого она изготовлена, распространяясь по всему объему камеры 1. В результате на деталь 8 наносится покрытие.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, внутри

20 которой расположены электроды, и трубопровод для подачи газа, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и увеличения адгезии пленок к подложке, электроды выполнены в виде катушки индук25 тивности, изготовленной из напыляемого материала, на продолжении оси которой расположен трубопровод для подачи газа.

312426

Составитель E. P. Алешин

Редактор T. 3. Орловская Техред Е. Борисова

Корректор О. С, Зайцева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2767/17 Изд. № 1162 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета но делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Всгсоюзная -т-и^гф • .•?4мур*ймi л ^й г rtu s ^а« s- **dhb.woteka

Похожие патенты:

Патент 271992 // 271992

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 259597

Патент 247001 // 247001

Патент 245253 // 245253

Устройство для высокочастотной электроимпульсной обработки металлов // 208766

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов