Устройство для измерения неэлектрических величин
О й-44:;C. ."À Н И Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Саветсиив
Социалистический
Республик
3245IO
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 01.XI1.1969 (№ 1383182/18-10) к присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 23.Х11.1971. Бюллетень № 2 за 19 2
М.Кл. G Oik 7 22
G 01р 15/08
Комитет по делам иаабретеиий и открытий ари Совете Министров
СССР
УДК 536.531 (088.8) Дата опубликования описания 28.П.19,2
Лв торы изобретения М. Е, Ксенофонтов, А. И. Кривоносов, В. С. Папков, Ю. А. Райнов, И. И. Смыслов и М. В. Суровиков
33HBHTC Ib
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
Изобретение относится к области измерения электрическими способами температуры и других неэлектрических величи н, таких, например, как давление, сила, ускорение, перемещение и т. и. 5
Известны интегральные упруго-чувствительные элементы в виде балочек и диафрагм (в качестве несущей конструкции) из моноиристаллов полупроводников и диэлектриков,:на которых выпол нены диффузионные или эпитакси- 10 алыные элементы с выводами. Эти элементы являются чувствительными областями балочки, т. е. преобразуют измеряемую величину B изменение сопротивления, которое репистрируется электрическими способами. 15
Известные элементы обладают следующими недостатками: при монтаже электросхемы датчика и сборке интегрального элемента с корпусом;неизбежны мелкие ручные операции, требующие высокой квалификации; для каждого 20 типа датчика конструируется и изготовляется индивидуальный элемент, что не соответствует современным требованиям унификации узлов приборов.
С целью унификации, .повышения точности 25 измерений, надежности работы и упрощения устройства чувствительный элемент предлагаемого устройства выполнен в виде язычка, образован ного кривол и нейной прорезью в пластине монокристалла, пвриферий|ная часть которой З0 служит для закрепления ее в корпусе. Такой элемент является унифицированным, поскольку может быть использован в датчиках для и"мерения различных неэлектрических величин, при этом в зависимости от назначения датчика меняется лишь конструкция его корпуса.
На чертеже приведена конструкция предлагаемого устройства.
Предлагаемое устройство состоит нз чувствительного элемента 1, выполненного в виде язычка, образован ного криволинейной прорезью 2 в пластине 3 монокристалла.
На обеих сторонах чувствителыного элемента по интегральной технологии выполнена полупровод никовая схема 4, от которой выведены напылен ные металлические дорожки 5, оканчивающиеся «пятачка м и» 6.
Периферийная часть защищает чувствительный элемент:и создает идеальное соединение его с корпусом датчика (на чертеже не показан) благодаря отсутствию трения, сжимающих сил, различию коэффициентов термического расширения.
Для усиления сипнала, регистри руемого полупроводниковой схемой при изменении измеряемой величины, на кольце изготавливается по планарной технологии полупроводниковый усилитель.
Предлагаемая консгрукция позволяет автоматизировать пайку выводов к схеме датчика
324510 о о
Предмет изобретения
Со, IBDiii.ëü И. Дубсон
1 скреп Е. Борисова
Ксррекio,ð T. Бабакина
Ре:вактор В. Блохина
Подпитии:
Тираж 448
Иал ¹ !84б
Заказ 346
I 1l lHl4l1l Когиитета по лелаги паобретоний и открытий прн Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Рауьпская наб., и. 4/5
Областнаи типографии Костромского управлении по печати при его сборке, поскольку положение унифицированного элемента фиксируется в корпусе, .а расположвние конечных <впятачков» на кольце строго одинаюво; чувствительный элемент защищен периферийной частью пластины от 5 повреждений во время изготовления; чувствительный элемент идеалыно закреплен в корпусе; без пережимов, трения и концентраций напряжения; элемент является унифицированным. .,-10
Применение интегральной технологии позво.лило создать миниатюрную конструкцию, причем предел миниатюризации еще не достигнут.
Устройство для измерения (неэлектричеоких величин, содержащее чувствительный элемент, расположвнный в .корпусе и выполненный из пла1стины монокристалл а, и измерительную схему, нанесенную на пылением на ее поверхности, отличающееся тем, что, с целью унификации, повышения точности измерений, надежности работы .и упрощения устройства, в нем чувствительный элемент выполнен в виде язычка, образованного криволинейной прорезью в пластине моноыристалла, периферийная часть которой служит для закрепления ее в корпусе.
