Способ резки пластины на заготовки

Авторы патента:

B28D5 - Способы и устройства для тонкой обработки драгоценных камней, камней для часовых механизмов, кристаллов, например полупроводниковых материалов (обработка шлифованием или полированием B24; устройства для выполнения художественных работ B44B; немеханическими способами C04B 41/00; немеханическая последующая обработка монокристаллов C30B 33/00)

Своз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЯЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ЗО.V11.1970 (№ 1467?72/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.ll.1972. Бюллетень ¹ 7

Дата Опубликования описания 21.IV.19?2

М. Кл. В 28d 5/00

Номитет по делан наобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 679 8 02(088 8) Авторы изобретения

А. А. Симачев, В. В, Поляков, E. Ф. Родионов, Г. П. Трушина, Г. В. Пешкова, К. Ф. Бурый и Л. С. Фиркович

Заявитель

СПОСОБ РЕЗКИ ПЛАСТИКЫ HA ЗАГОТОВКИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, Известен способ резки, например ультразвуковой,,полупроводниковой, пластины на кристаллы, заключающийся в приклеивании пластины на подложку и последующей резке.

Недостатком такого способа является большая потеря дорогостоящего полупроводникового материала по краям пластины из-за того, что могут вырезаться не целые кристаллы.

Цель изобретения вЂ” повысить точность раскроя и выхода годных заготовок.

Достигается это тем, что пластину на разогретой подложке помещают под проектируемое изображение режущего инструмента, расположение которого на пластине идентично расположению его во время резки, затем перемещают пластину так, чтобы на ней уместилось наибольшее количество целых заготовок и в этом положении пластину приклеивают.

Изобретение поясняется чертежом.

Негатив или позитив 1 с изображением режущего инструмента вставляется в увеличитель 2, под которым расположен стол 8 для ориентированной приклейки пластины 4 на подложку 5. На этом столе выполнены упоры б. На разогретую подложку наносят шеллак, и подложку ставят в упоры. Затем отмечают один из углов 7 подложки 5 для дальнейшего переноса на стол рсзки. На подложку помещают пластину 4. Далее изображение режущего инструмента с помощь10 увеличителя проектируют на пластину и перемещают ее на подложке 5, так, чтобы Il;1 пластине уме;цалось наибольшее копн тесг >0 целых заготоВОк, Затем CHHiIHIO I стиной со стола д, дают им остыть с целью

Окончательной приклейкн пластины с пОдлож10 кой. На столе для резки есть упоры, которые расположены по отношению к оси режущего инструмента точно таким образом, как и ylloры б относительно центра изображения режущего инструмента на столе 8 для ориентн15 рованной .приклейки.

Подложку 5 с приклеенной гластиной 4 вставляют в упоры на столе для резки с учетом отмеченного угла, и пластину разрезают.

По описанному способу можно получить с

20 каждой пласт IHbl в среднем на 2,2 заготовки богтьше, чем число .ристаллов, полученных без ориентации.

С;1 0 с 0 0 Р е 3 к H II, I а с т H H bl H а 3 а г 0 T 0 в к H 11 0мощью, например, ультразвука, заключающийся в прикленванпи пластины Hа подложку и последующей резке, отличатои;ийся тем, 30 что, с целью .новытпенпя точности раскроя и

329026

Составитель Н. Максименко

Редактор Г. Кузьмина

Корректор О. Тюрина

Заказ 1014!1 Изд. М 410 Тираж 448 Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушскаи наб., д. 4, 5

Т!!пографип, пр. Сапунова, 2 выхода годных заготовок, пластину на подложке помещают под проектируемое изображение режущего инстру1!епта, рас.10ложепие которого на пластине идентично расположенп!о еl о во время резки, затем -.!еремещают

Il. 1астину так) чтооы из нее пол1 -1илось наибольшее кол;!чество заготовок, и в этом ползжении Ilëàñòlllló приклеивают.

Способ производства ювелирных вставок из корунда // 319484

Способ получения глухих отверстий // 308876

Способ изготовления мококристаллическихпризм // 290765

Способ обработки минералов и сверхтвердых материалов бесконечной лентой // 282130

Патент 281241 // 281241

Устройство для сверления отверстий // 259291

Инструмент для ультразвуковой обработки заготовки из камня типа рубина // 254236

Прокатно-центробежная машина непрерывного действия для получения силикатных масс // 249914

Способ изготовления часовых камней // 205640

Способ выполнения маркировки на алмазе, способ изготовления вкладыша пресс-формы, способ обработки изделий из бриллиантов, пресс-форма для экструдирования волокон, проволок, нитей и подобных изделий и способ выполнения маркировки на жемчуге, драгоценном или полудрагоценном камне // 2102231

Способ обработки алмаза // 2123424

Изобретение относится к обработке алмазов, а именно к нанесению несмываемой линии на алмаз

Способ обработки алмаза // 2125934

Изобретение относится к обработке алмазов, а точнее к способу изготовления алмазных украшений с использованием метода нанесения несмываемых линий (гравировки) на алмазе

Способ технической и художественной разметки поверхности и объема минеральных объектов (варианты) // 2133195

Изобретение относится к области технологии обработки поверхности геолого-минералогических аншлифов в лабораторной практике, а также к технологии шлифовки и огранки поделочного и ювелирного камня

Способ разрезания блоков из твердых материалов на пластины проволочной пилой и проволочная пила для осуществления способа // 2138372

Изобретение относится к разрезанию блоков из твердых материалов, в частности из полупроводников, стекла и керамики, на пластины путем воздействия свободно подаваемого абразива и бесконечного циркулирующего прочного несущего элемента

Устройство для распиливания кристалла // 2148495

Изобретение относится к производству бриллиантов, а также может быть применено при распиливании драгоценных камней

Способ резки монокристаллов кремния // 2155131

Изобретение относится к технологии изготовления кремниевых подложек и предназначено для использования на операциях резки монокристаллов кремния на пластины в электронной промышленности

Способ маркировки бриллиантов // 2161093

Способ резки монокристаллов и других хрупких материалов // 2167055

Изобретение относится к области механической обработки твердых хрупких материалов, а именно к способам механической резки монокристаллов на пластины

Способ обработки янтаря // 2173258

Изобретение относится к способам обработки янтарного сырья преимущественно мелких фракций и получения янтарных изделий, а также различных композиций, в состав которых входит янтарь