Патент ссср 329378
Союз Советских
Содизлистичеспих
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 15ХЕ1970 (¹ 14348<3/25-28) с присоединением заявки № =
Приоритет
Опубликовано 09.11.1972. Бюллегепь ¹ 7
Дата опубликования описания 28.111.1972
М. Кл. С 01Ь 11/02
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистроз
СССР
У.Х1; 531.715(088.8) Авторы изобретсштя
В. М. Суминов, М. М. Гольдбсрг и А. A. Грс
Московский авиационный технологический инс
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ABTOMATH×ÅÑÊÎÃÎ РАЗМЕРНОГО
АНАЛИЗА МИКРООБЪЕКТОВ
Предлагаемое устройство относится к измерительной технике и может быть использовано в машино- и приборостроении (например, при контроле чистоты жидкостей и смазок) и в научных исследованиях (например, в медицине и микробиологии).
Известны устройства для автоматического размерного анализа микрообъектов, в которых используется сканирующий микроскоп в сочетании с электронным анализатором размеров. Эти устройства работают по принципу сканирования узкой строкой.
Однако устранение погрешностей, возникающих от «граничных» объектов и группового счета, связано со значительными усложнениями логических схем анализаторов. Кроме того, большие погрешности возникают из-за влияния шумов, сказывающихся достаточно сильно вследствие малой величины полезных сигналов, которая, в свою очередь, зависит от интенсивности источника света.
Предлагаемое устройство для автоматического размерного анализа микрообъектов отличается от известных тем, что, с целью повышения точности анализа, оно снабжено электронным задатчиком, выполненным в виде набора времязадающих элементов и включенным между выходом телевизионной системы и входом анализатора.
11сточнпк сгета выполнен в впдс оптического квантового генератора нечрерывного действия с приставкой для снижения степени когерентности.
На чертеже представлена блок-схема устройства, состоя;цего из оптического квантового генератора (ОКГ) 1 непрерывного действич с пристазкой 2 для ун11что>кения интерференции,.объектива 3, окуляра ./, между ко10 тоторыми установлен объект 5 (напрпмер, для KOIITpcJIII AIIII Устройство работает следукнцпм образом. Монохромати1ескпй световой поток с ьысокой плотностью энерпш, излучаемый ОКГ 1, 13р0 10дя fepe3 Ooъе1 тив 8, OI 5, создает Ifa фотомпшенп трубки передающей камеры 6 увеличенное изображение рассматриваемых микрообъектов. B трубке осуществляется считывание изображения по принципу <<> 3I oi 0 JIA <1а». i OI J101IIlblff 13 б 101<0 ка1шла 7 видеосигнал подается на видеоконтрольное устройство 8 для визуального наблюдения и на электронный задатчик 9, осуществляющий пропуск информации на анализ лишь с уча30 стка кадра, размеры г<оторого сравнимы с 1 (r- 1! с Саста ви) с.:ь В. Илвсова Техрсд Л. Богданова Редактор Г. Гончарова Коррскгор С. Сатагулова Заказ 721, 13 Изд. ¹ 228 Тира)к 448 Подписное 1(НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете 11ипистров СССР Москва, >1(-35, Раушскап иао., д. 4, 5 Т! иогрс31чп1, пр. С:: у;о!3;Ь 2 размерами мпкрообъектов, что супЕсствсино сппжаст возможность гру IIIoBQI с !сте), В этом же блоке производится отсев « i p;i I; 1 i чных» объектов. К011структеЕвио задатчпк 9»ыполнсн в виде набора времязадаюш,„х .-елсментов (например, кипи-реле) и ряда:!о! !.чсскпх схем (па прееме ), у!е ) 11!)л 11етЕых вс:!1 ил сli rl схем co!3!i). re!I!!i ). Обработ;illllrlii та 3п м с)бразом информация подается и е!Е!11г!!!)втор Ю, который осуществляет апалпз размеров Gi) üек!ов в направлениях параллельном и српепдикулярпом строкам тслсвизио)шого !)1101ра. 3а счет выполнения источпшса свста !3 li!де 0У1 !!спрерывпого дейстгп я удастся получать высокие значеш!я отиощсп !я c:!г!!ал,шум и уменьшить влияние дпфракцпп lip!i бо li)lil ;.< увел и чеп и як. Введение в схему задат ri»;i позволясг сохранить без переделок стапдиртпыс ill)I) lliiilле!шые телевизиоипыс устапoi3rur, пов tc;i;. 20 То и;0.1 i Iii)i! I poля и;;llrirr!!31!r)ÎÁÛTü !Так стаT!iчсск!Ес, To : и, 11!и к п1!1еся Объсl .ты.! l р с д:ir е т п 3 О б р е т с «! п Я I., )г ТРОйетВО ДЛЯ аВтОМатИЧЕСКОГО РаЗМЕРпого а .;)ли..„) микрообъсктов, содержащее оптическую систсму, llcpcд KoTopOII ))азмещеее :ici0ч:i. !ê с!3сге1, тслсиЕзиош;у о замкпутую c!I.) Cibr > С ЛСКТ РО!ПЕЫМ Еlи !! ". l!Oil TOPO)hl Па ВЫХОдс и бло". ипдикацп:i, o)личаЕоиееся тем, что, целью Еюш3ппсш!я то lllocT!I анализа, опо cil;1 ожспо элек1 pOIIIIhIM 3 аде1т Епе<ом, выполпсп ым ii ш.де набора времязадаЕощих элементов п вклк)чсш;ым между выходом телевизионной с и гс)! ьl:! !Ехо Е!).;1 е!!!а,!!.затора. ;). ",) ст1)е)!!Ство по и. 1, отличающееся тем, ч!е) ис10 шик CI)ciа пьшолпсп в виде оптичеч:.ого I;lrll ll T01301 генератора непрерывного ДСЕ:СТЕ,!ill С:1;)ИСТЕЕ!)КО!1 Д IH C!I!li!(CIIИЯ СТСПСПИ "0i CРС!rTНЕ)СТП.
