Датчик для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках

Авторы патента:

G01N27/04 - активного сопротивления

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09Л1.1970 (№ 1402195126-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 28.И1.1972. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 22Х1I I.1972

М. Кл. В Olj 17/00

G 0111 31, 02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете ббииистрое

СССР

УДК 521/382:2 3 (088.8) Авторы изобретения

Ю. К. Пожела, В. Л. Ряука и Р. Б. Топутис

Институт физики полупроводников АН Латвийской CCP

Заявитель

ДАТЧИК ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ

КОНЦЕНТРАЦИИ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам, предназначенным для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках.

Известны датчики для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках, в которых исследуемый образец помещают во взаимоперпендикулярные катушки возбуждения и индикации.

Недостатки этих датчиков вЂ” сложность и трудоемкость измерительных операций, малая оперативность.

С целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществления быстрой смены исследуемых образцов без отключения датчика от измерительной аппаратуры индикационная катушка выполнена в виде держателя с коаксиальными кабелями, а катушка возбуждения вЂ” в виде съемной части датчика с контактной колодкой.

На фиг. 1 схематично изображен предлагаемый датчик; »а фиг. 2 вЂ” катушка возбуждения.

Исследуемый образец 1 помещают внутри катушки 2 для индикации размерного резонанса геликонных волн с обмотками 3, прикрепленной к держателю 4, в котором проведены коаксиальные кабели 5 и б для подключения индикационной катушки и контактов соединяющего разъема 7 к измерительной аппаратуре.

Съемная часть датчика содержит катушку

8 для возбуждения размерного рсзонанса

5 геликонных волн в образце с обмоткой 9 и контактнуlo колодк 1 10 с контактами 11 для подключения возбуждающей катушки.

При измерении концентрации носителей тока на катушку 2 с образцом надевают ка10 тушку возбуждения 8, подключаемую с помощью контактов 7 и 11 к кабелlо 6. Затем датчик помещается в магнитное поле так, чтобы плоскости обеих катушек 2 и 8 были параллельны направлению индукции магнит15 ного поля.

Предмет изобретения

Датчик для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках, 20 содержащий образец, помещенный в скрещенные катушки индуктивностп, отличающийся тем, что, с целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществления быстрой смены исследуемых образцов без отключения

25 датчика от измерительной аппаратуры, индикационная катушка выполнена в виде держакоакс11альными кабел11хIи, а 1<3T) шка возбуждения выполнена в виде съемной части датчика с контактной колодкой.

345948

Составитель О. Смирнов

Техред 3. Тараненко

Корректор T. Гревцова

Редактор Н. Коляда

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2592/4 Изд. № 1138 Тираж 406 Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Датчик для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках

Способ восстановления градуировочных характеристик хлористолитиевых датчиковвлажности // 336581

Патент 321735 // 321735

Всесоюзная natz^i ...:^-тсхпкч^сная(.нюлмогйна ivitoa // 308350

Способ определения бора в газах // 305398

Библиотека i // 298880

Способ контроля качества диэлектрических покрытий на изделиях из электропроводных материалов // 284392

Способ определения селена и теллура // 280049

Способ определения трехвалентного таллия в присутствии одновалентного таллия // 279156

Способ контроля параметров электропроводных изделий с помощью вихревых токов // 278184

Устройство для определения электрофизических параметров плодов и овощей // 2103679

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению электрофизических параметров плодов и овощей, и может быть использовано при определении спелости, пригодности к дальнейшему хранению плодов и овощей, содержания в них нитратов и т.д

Способ определения покомпонентного расхода трехкомпонентного газожидкостного потока и устройство для его осуществления // 2156970

Электропотенциальный способ двухпараметрового контроля электромагнитных свойств металла (варианты) // 2158424

Способ измерения напряженности физических полей и устройство для его осуществления // 2158919

Изобретение относится к области измерения электромагнитных оптических, темповых, радиационных и других физических полей, образующихся в различных технологических процессах и при использовании бытовой техники

Влагомер для измерения влажности древесины // 2180746

Изобретение относится к измерению влажности неметаллических материалов

Способ для определения влажности капиллярно-пористых материалов // 2187098

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению влажности капиллярно-пористых материалов

Устройство диагностики состояния нефтей и продуктов нефтепереработки по их активной электропроводности и диэлектрической проницаемости // 2209422

Изобретение относится к области инструментальной диагностики качества нефтей в процессе добычи, перекачки (перевозки), хранения, переработки и может быть использовано в других сферах потребления нефтепродуктов, а также в химии, биологии, медицине, сельском хозяйстве, диагностике состояния веществ, обладающих мультимерным строением

Способ для определения влажности древесины // 2240545

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению влажности древесины

Способ определения влажности капиллярно-пористых материалов // 2240546

Способ определения прочности волокна хризотил-асбеста // 2241218

Изобретение относится к способам определения прочности волокнистых материалов и может быть использовано для определения прочности волокна хризотил-асбеста на стадии разведки месторождения, разработки, обогащения и промышленного использования готовой продукции