Патент ссср 357547
О Л И С А H И Е 357547
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Сеюа Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №. 1. Кл. 6 03f 7/08
11 051 3/00
G 05с 1/52
Заявлено 02.Х11.1970 (№ 1607392/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень № 33
Дата опубпиковагн(я описания 1.XII.1972
Комитет ло делам изобретений и открытий лри Сове(е Министров
СССР
Уг1К 771.531(088.8) Авторы
;(зобретения H. В. Макаров, В, Г. Никольский, Н. Д. Тимерова и Д. Д. Мозжухин
Заявитель
gpi=- СНОЗНА
": (з . : *-" 1(!" т
ФОТОРЕЗИСТ
Предмет изобретения ю, ю
- - "СНО - СООН
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении .печатных плат, твердых схем, пленочных пассивных элементов и т. д.
Известны фоторезисты, состоящие из пленкообразующсй основы, светочувствительной компоненты и растворителя.
Цель изобретения — получение негативного изобра>кения наряду с позитивным и упрощение технологии изготовления фоторсзиста.
Цель достигастсrI тем, что в качестве светочувствительной компоненп фоторсзнста использован ! а1>имат((чес кис ортонитроальдсгиды.
Известно фотохимическое превращение аромати«сских ортонитроальдегидов г, нитрозокарбоновыс кислоты.
При проявлении фоторезистов, содер>кащ>1х ароматические ортонитроальдегиды, орга:(ическими ароматическими растворителями получают негативное изображение вследствие
5 нерастворимости нитрозокислот в органических растворителях. В случае обраоотки щелочнымн проявителями получают позитивное нзобра>кение.
Фоторезист, состоящий из пленкообразую15 щей основы, светочувствительной компоненты и растворителя, отлп (аюп(п((ся тем, что, с целью получения негативного изображения наряду с позитивным и упрощения технологии изготовления фоторезиста, в качестве све20 точувствительной компоненты использованы ароматические ортонитроальдегиды,
