Фотоэлектрический микроскоп

 

363859

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 12.Х.1970 (№ 1483467/25-28) М.Кл. 6 01Ь 7/16 с присоединением заявки №вЂ” йомитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет—

УДК 53.082.52(088.8) Опубликовано 25.Х11.1972. Бюллетень ¹ 4 за 1973.

Дата опубликования описания 19.!!.1973

Авторы изобретения Ю, А. Маковский, А. Д. Федоров, В. С. Чихалов и Н. М. Чикинев

Заявитель

ФОТОЭЛ EKTP ИЧ ЕСКИ Й МИКРОСКОП

Изобретение относится к из мер ительнои технике.

Известны фотоэлектрические микроскопы для измерения деформаций твердых тел, содержащие осветитель, оптическую систему, вибратор с щелевой диафрагмой, фотоэлектронный умножитель, отсчетный преобразователь с компенсатором и регистрирующее устройство. Однако указанные микроскопы не обеспечивают одновременное измерение деформации по двум направлениям.

Предлагаемый микроскоп снабжен вторым фотоэлектронным умножителем и оптическим разделителем световых потоков, прошедших через щелевую диафрагму, выполненным на раздвижных призмах с наружным отражением, а оси вибратора и компенсатора расположены вдоль биссектрисы угла между осями, в направлении которых измеряют деформации. Такое выполнение микроскопа дает возможность одновременно измерять деформацию по двум направлениям.

На фиг. 1 изображена схема соединения осветителя, оптической системы, вибратора с диафрагмой и отсчетного преобразователя с компенсатором; на фиг. 2 — схема размещения призм оптического разделителя; на фиг. 3 — схема прохождения сигналов от призм к фотоэлектронным умножителям; на фиг. 4 — блочная схема регистрирующего уст2 ройства; на фиг. 5 — направление осей вибратора и компенсатора.

Микроскоп содержит осветитель 1, оптическую систему, включающую в себя компенсатор 2, полупрозрачное стекло 8, объектив 4 и окуляры 5 и б, щелевую диафрагму 7, закрепленную на якоре 8 электромагнитного вибратора 9, фотоэлектронные умножители 10 и 11, оптический разделитель световых потоков, про1р шедших через диафрагму 7, выполненный на призмах 12 — 1б с наружным отражателем, две из которых 12 и 18 — раздвижные, отсчетный преобразователь 17 с компенсатором 18 и регистрирующее устройство. Последнее состоит из фазочувствительных усилителей с нуль— органами 19 и 20, счетчиков 21 и 22 импульсов, регистров 28 и 24 памяти системы опроса и счетной машины.

Процесс измерения деформации происхо20 дит следующим образом.

Микроскоп устанавливается «а измерительной позиции 25 и включается. Лучи света, отраженные от контролируемого объекта 2б, попадают в объектив 4, дающий изображение рисок штриховых фигур, например квадратов или шестигранников, нанесенных па контролируемый объект в плоскости изображений, где находится диафрагма 7. 1Целевые контуры на диафрагме по форме подобны штриховым фи3р Г рам, нанесенным на объекте, по размерам

363859 несколько отличаются от последних порядка

0,0! — О,! ял. Для увеличения чувствительности ко всем штрихам фигуры оси вибратора и компенсатора располагаются вдоль биссектрисы угла между осями, в направлении которых измеряют деформации. Световые потоки, прошедшие через щели диафрагмы 7, попадают на оптический разделитель таким образом, что потоки света, прошедшие через щели, расположенные по оси У, проходят прямо на умножитель 10, а потоки света, прошедшие через щели, расположенные по оси Х, отражаются от призм 12 и 18 и расходятся в стороны, после чего, отражаясь от призм 14 и 15, а затем от призмы 1б, попадают на умножитель 11.

Призмы 12 и 18 могут быть синхронно раздвинуты на расстояние, соответствующее базе штриховой фигуры.

Преобразователь 17, поворачивая пластину компенсатора 18, преобразовывает линейные смещения изображений штрихов в число электрических импульсов, приходящих на счетчики 21 и 22 только в то время, когда их входы открыты исполнительными нуль-органами 19 и 20 фазочувствительных усилителей, на которые включены умножители 10 и 11.

Ротодиоды, установленные в нуль-гальванометрах, выдают импульсы, которые используются для управления входом электронной счетной машины. При измерении деформации объекта, находящегося в начальном состоянии, информация со счетчиков 21 и 22 переводится в регистры 28 и 24 (значения Хр и У ).

Если регистры памяти выполнены не в форме электронных счетчиков с параллельным Входом, а в форме матрицы на основе переключателей, то для перевода на них информации со счетчиков 21 и 22 вручную используется индикатор 27 отсчета. При последующих измерениях информация Х, и V снимается со счетчиков и регистров памяти системой опроса в последовательности, нужной для расчета измеренной деформации. Операция вычитания и и автоматическая регистрация всего порядка расчета выполняется счетно-регистрирующей машиной. Для упрощения наладки и регулирования микроскопа возможно введение юстировочной диафрагмы и визирного осветителя.

Предмет изобретения

Фотоэлектрический микроскоп для измерено пия деформаций твердых тел, содержащий осветитель, оптическую систему, вибратор с щелевой диафрагмой, фотоэлектронный умножитель, отсчетный преобразователь с компенсатором и регистрирующее устройство, отличаюcquuca тем, что, с целью одновременного измерения деформаций по двум направлениям, он снабжен вторым фотоэлектронным умножителем и оптическим разделителем световых потоков, прошедших через щелевую дизо афрагму, выполненным на раздвижных призмах с наружным отражением, а осп вибратора и компенсатора расположены вдоль биссектрисы угла между осями, в направлении которых измеряют деформации.

363859

Ри2,)

Фиг. Ф

Составитель А. Васильев

Редактор Н. Воликова Тсхред Т. Миронова Корректоры Т. Гревцова п Л. Бадылама

Заказ 203 Изд. № !079 Тираж 403 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография