Патент ссср 365396

 

, С П И С А H И Е ЗЫЗ 6, ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Со((на))кот.яескиа

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3 3 висн)lос 01 <1 В1, св(>дс!е 1 ьсгня

Заявлено 16.1V 1(9< i (ЬЪ 16527()7 26-9) С :;!с 757 t с !Ipl!cOcдиненнсч за,; ê!! . Y .—

Приор<пс i

Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете министров

СССР

: !, 539.2)31.) <(9)2.< ))9,">.8) Он"бликовя«;) 08.1.79(3. Б!Ол.)(.ГС:-:;. л 6

Дага опубликования oписян !5) 5.1V.1973,,:; ГОР I>i н 3(, б . В1 (>I I I! 5!

Р. А. Гаврилов и И. Ш. Фин)ель

Зя::! !п< л!

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОРЦИОННОЙ ЗАГРУЗКИ МАТЕРИАЛА

В ИСПАРИ1 ЕЛЬ

11зобрстсllll(. Оп!ос!пся к области текнологин радиоэлектронной аппаратуры, в частности к конструllpoB3111110 оборудования для из-!.0(.ОВЛС!!1151 TO!II(0(I ICIIOHIIhl Y МИКРОСКЕЧ.

Извсспю устройство порционной загрузки .\I ЯТCP11(1, ) 3 B ИСП 3Р ИТС 1 Ь, ВЫ ПОЛ НС ННОЕ В ВИДС

;(иска-Yp«)I(OBIII(3, IDIcl011)t> радиально расположенные Пезда, В )(0Topaf Y помещают подлеi!(3BllliI с !арс;>ню чятериал. Доза Вещества из .ажzof(; гнезда диска, при его дсйстви:), Выталкивается специальliLD(толкатслсч в лоток н но нему .1(crx (IHL T В тигель.

Од:!яко I!ÿëè÷ilñ тру)ци. .ся звеньев, рясноложс",, ы.; В неl!(,c!) )cTBc!IIIOI) близости от зоны

Н Я Г )) С В 3 Н и С Н «1 Р Е Н И Я, П Р И ВОДI>П 1 . C i I I I HYC Н И 10 про<(зводитсльн()сти устройства. Кроме того, нельзя одновре)(pl!1(0 подавать в тигель раз,1ИЧНЬIЕ ВСН>ССТВЯ J,.15(ИЗГОТОВ:IСННЯ МНОГО) .ОМf i O I I C I I T I l i> I X П О К Р Ы Т И и .

С целью повышения производительности раооты устройства и возможности загрузки в испяр!пель различны.; искоднык материалов нрсдлагясчос устройство снабжено расположенными IIH диске и концентрически установлс!шымн друг от!юснтелыю друга цилиндрами со сквозными торцовыми каналами в каждом из «I«IY» с закрепленными на них поводками и упорами, llpll÷åì поволок каждого внутреннего цилиндра взаимодействует с упором внешнего IIO 0TI(o(I)pèèfo к IIPY(ó цилиндра.

11(i ч<.рт(.ж< 0300p33(L)l3 консTp<> кн,ня нрсдГ)агясмо! 0 устройства.

:< стройство состоит нз конценпрнчсскн рясн(), 1 )il(Cll ill I(ll III II;1p013 1, IDIC!OLU)IX кя)кдьн(С!.ВОЗНЫС !(Яия.!!>! ДГ1Я Ряэ)(СЩСIIII)I /OH, НОД,ipжящик licI13pLlilllo веществ. Цилиндры нсн-j)lIpx <0ãcÿ одни О(! Оснгсльно другого шарикам:! 3 н устянавлн!1«!н)тся на лиске -. смонтироВанно)! Ii«1 флянцс> H L помощью трек стоек 6.

О Illll из цн,1индров 1, Вн< трснlн)й, сцеплен жестко с «)cpxI! ID! торцов) Втулки /, н3 ни)кне1(l0ji<;c которой чонп!руется зубчатое колесо 8, )>1(од5)и(ее в зацснлc»«. C н)сстсрней 9 элсктро)! С>; H l I I l и < C к О Г 0 н <) l В О, 1,, 1 1 < >. 1 1 (1 ц)1,1 I I! д р С 1 у к) 5 рCi1.1LII .IOBО Iок 1, 01\ :кянЦ1н J,.1Я IiL РCÄ<)×!1 д)н!жсння кя;кдому !юслсдуюшс))у цн1нндру путем Воздсйсп)ия 113 установленные ця ник уш)ры. 1). Фиксация ноложсilíÿ цилиндров oc) (цсстВ.1 яется с но))оlцью llpIIBOQH Il фиксаторов

2() 18. Подлежащий испарению материал, размещенный в 11!сздак цилиндров 1, подается в тигель И, падая нод собственным весом через ,: Всрстня В лиске iiH лоток 15 и скатываясь по не (>

Тсплоизлучающес устройство снабжено Пооразной пластинон 16, выполненной из тугоплавкого материала и С.1 жащей нагревательным элементом. В центре ее приварено кольцо, Выполня)ощее роль держателя тигля 14, также нзготов1cI(ifol п нз тугоплавкого материала, I(»(P I .01 > К»СПH(>ßÑ !?i))! . !3Е(((ЕСТВ . !! clC! »И с(16 Л КРСЧ(ГIСI! ci »3 ДВСX БЯ КСЛ >!»0?(С(ОТ!1!>1. С ТО! (с>!)БОды <, Олла)кдясл(ы с !(рс)точ!>Ои кодо !.

„.!ГI51 3;!»(»Tl>! С!Cf!OÅ Ксl Л Cj) I>1 II 331 РЛ ЗОЧПОГО

Л CTPO!ICTI!il O I 1;» !0!3010 !13 с(; ЧЕИИЯ Iill P(15»T(! h»1 i» 3.1(:, .:Еl?Т 01 Р \ ЖСИ 130,00." ЛЛ):; (c(CЛ, О(!

j)Л 03IÏÊÎI! ><<5 И С»СТС .(и((Э!Сf)cl!(ОБ

П ОдЛ С Ж я » (С (. И С» c? р <. »» >О; 3() И (С С Т (3 <) 3 3 Г j) \ ; К с(-!

О l Б Г(IC»дсl (».1(1 1(Д f) Ol! >< !i Р(? f) cl:3ГСР Л(С Т»3!!РОБЯ!!! (()Й 13 сlкл 3, > (!Ol I кЯ л! (),)с . > c! I л, к сl >(сj>>, Г(р л(<

Г»»(If)(101 И ПРОИ?3БО.(ЯТ ОТЕЛ Л 1>?> И< БО.>Д\.,с.

ДО ТР СИЛ i ЛI ОГО Р ci PСЖС I »13, I IOC)10 Ч(! О» РО»3I30 i5!т (>» (ОГРс!3 т»ГГIЯ. Пс> Ioci »æc»fl» тРсол

>1(Оп (гЕ Л! И С f) сl Л P !>I ИСРИОДИЧСС(СИ 15КЛ (ОЧ 3 (О(» P H.

lt0 j:3HI РЛ ЗОЧ »ОГО Л СТРОИСТВЯ» НИКЛИ IЕСКИ»(Р(:>1 0П(H IOТ С» cl I ЛЛ cl В!(Л<ТРСII»ill! I(». !ИП:(:) ), с .

Зс(ГОЛ? l.:IOC, 1СДЛ 10!((»C ИРИ ВОЗДСЙСТВИИ »0130 I(;ОБ I ><»3 л »OP < -). ПРИ и»;!сдо)Я I? IIK c»cPci> (—Iпсl! I(5? »11, 11(IIДРОВ ОД(10 Ilз От!)сf)стиЙ I(3жДОГО ! (3 И И," СС) !3 Л(СЩ с(СТСЯ С» 3. (0 1 5I (((II Л!С51» t) OT»13 лотка с>т!)срстисл! В дискс т » раз)(си(спи t;!

I IIC3,l 3 Д013 БЕ(ЦССТ БЯ ПОД CO<)< Б<ЧИ! Ы 31

1!Лдсl("Г ЧС,)CЗ . (С! 0 ПЛ, IOTOI(l > !1 3ЯТС .Л>1»i tl: Я (3(Т В ТИ? C, »> (lеf .. .,I;IЧ:(,10 (!Pс!00 .(>i тс!.:, 11(> lоi!ОДК! . )! .<>, Т(?I à . ",\ !0 I ", l Ot)HЛ!» !>, 1 !)<>»C((; —,I! I !»??ОБ"

1(С l?»;IЯ i IO. i ct H, (О:5(l f) 0!33»» 1>I. (БОР(;»» I! 5

l i », l:.I fl l f) 0!>, I с(К И <С 0()P 330,1, !3(>3 Л(0 t(»0 И РО; 3<, t; i Ь t) ИОБГ)<. Лt(II»OP»С»с(р»»i 1(0()(1((1(;)ЯЗ;!»::—

: ((>(: БС»(CC It » ПОГ! Л ЯТ?. Г i 0>i: I i I>?(ПГ> СОС 1 ct!

»()! p l>lò»5i. ((f> (д л((. 1» 3 О c j) с 1 с» и я (О Л c I po)01»;> ДЛЯ:(с>р((»nit!!с)п 3((грл 3:i» л(?"..j)»i»1H Б I;C»d f) IIÒ(C! I>, C(). IC()3," !I » (Ct.,111(к С ) 1 Б- f. С! ИЯЛ(И f)3(»!() -Î!f(P»»l>lli »0-(>-1»Л! !(>> ОК > !5!

ДЗЧI ЛI ЯТС()» Я ° t . I iC»H P ИТС И>, И 1!!

Л!Е:.с(ПИЗЛ(, ОТЛи><а)Ои(ЕЕС)(тС)ЛК Г!С>, С ((СЛ(И > ПО— (5 ВЫ (1(СIIEI53 ИРОИЗВОДИТСЛВ ИОС1 И Pc)()OTI>l TС I I)!) I:.

С I!>il » ВОЗ Л(ОЖ »ОСТИ Çс(ГРЛ ЗК» и СИЯ P» (СГ! Ь Р сl 3. l»". l.i;: ИС. ОД» Г>!Л )I HTCP!IH. 1013, i)»0 C;I»0)I(P!:0

Рс!С»O.I>>3(C»»!>I i!»»3 1»CI(C» КОИ!И»T()»!It C (» i С Гс)((ОБ, I Сп »1>(>Я П ) (? » 011? ". . :11 С 11 !,> " :;) Г<7 о»»л И ПДР 3 Л! И 0 С К(303 »l>1 )I! f I <)P >!10!31>! Л! I Кс(;! с(, lit

)!» » К»iii (0>! 1(З 1 I П ..33КР<», I((?IЫЛIП»ñt П(?;

I1О.5О (КЯ ЛI 1 (I Л .10 P Я Л(11, И P! (>IC ЛI . I 0ÁÎÄλ !(сl 3.—

Д >Г.7 . !. Тf)<. Ii!IЕГО 1((I, 1(! I;if)it .333.1 I:)5((1(С! 15,, Г

, И ) ) Л:, 13?!, »? I? Ã(>» ОТ .I:)I Illl(- . I 3!3 I, 1»: I, (,, ci .

Составитель М. Порфирова

Текред Л. Богданова

Редактор T. Морозова !,орзскто; Л. Басильева

Заказ 133 Изд. ¹ 1174 Тирагк 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений п открыти!! при Совете Министров ССГ!з

Москва, Ж-35, Раушская иаб., гк 4 5

Типография № 24 Согозполиграфпрома, Моски"., 121019, ул. Маркса — Энгельса, 14.