Воезоюзнаяпшш;- 1.„ш*

 

h, QllHCA ÍИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

367572

Союз Советских

Социалистических

Республик л в с

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.I I I.1971 (№ 1637985:26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Оп1 бликовано 23.1.1973. Бюллетень ¹ 8

М. Кл. Н 05k 13/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.317.799(088.8) Дата опубликования описания 16.111.1973

3%30ИНЯ

:: Ь. О. - A

Авторы изобретения

А.К асюкиС.С.М

Ф. Г. Старос, И. В. Берг, Б. р илашов

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Изобретение относится к электронной технике, а именно к способам контроля интегральных схем для вычислительных машин.

Известны способы контроля интегральных схем, основанные на применении электронного пучка, по которым поток электронов направляют на поверхность исследуемой интегральной схемы, что дает возможность судить о ее структуре.

Недостатками известного способа являются частичный выход из строя интегральной схемы в результате взаимодействия ее с интенсивным излучением и невозможность автоматизировать процесс измерения параметров интегральных схем.

Цель изобретения — уменьшение воздействия электронного пучка на элементы контролируемой схемы и повышение производительности.

Это достигается тем, что электронный пучок аксиально-симметричной или плоскопараллельной формы сканируют параллельно контролируемой поверхности интегральной схемы, на которую подано напряжение питания, фиксируют на люминесцентном экране или другом фотоприемнике отклонение электронов пучка, вызванное. взаимодействием электронов с электрическими полями рассеивания интегральных схем. Сравнивая полученную картину с эталонной, судят о качестве изделия.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Исследуемую интегральную схему помещают в специальное устройство, позволяющее включать отдельные или все элементы схемы.

Формируемый электронный поток проходит параллельно поверхности исследуемой схемы, и, взаимодействуя с электронными полями одного или нескольких включенных элементов, отклоняется ими. Отклонение электронов потока фиксируется на люмпнесцентном экране или на фотоприемнике другого типа. Полученное изображение сравнивают с изображением эталонной интегральной схемы, что даст воз15 можность провссти исследование и проверку данной схемы.

При формировании электронного потока плоскопараллельной формы контролируют несколько или все включенные элементы схемы.

При формировании электронного потока акспа IbHO-симметричной фор мы исследуют один или несколько включенных элементов схемы при различных положениях интегральной схе25 мы относительно скользящего вдоль ее повепх1 ности электронного пучка.

Исследование пнтегральной схемы производят II прп помощи муаровых картин, получаемых на люмине«центном экране или другом

30 фотоприемнике, комбинируя включение пли

367572

Предмет изобретения

Составитель С. Вольнова

Техред Т. Миронова

Корректоры; Л, ll,àðüêîâà и В. Жолудева

P еда ктор Г. Котел ьский

Заказ 530/13 Изд. ЛЪ,1164 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 выключение отдельных элементов интегральной схемы.

Способ контроля интегральных схем с помощью сканирующего электронного пучка аксиально-симметричной или плоскопараллельной формы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения воздействия электронного пучка на элементы контролируемой схемы и повышения производительности, электронный пучок направляют параллельно контролируемой поверхности интегральной схемы, на которую подано напряжение питания, и фиксируют отклонение электронов пучка, вызванное взаимодействием электронов с полями рассеивания интегральной схемы, с последующим сопоставлением данного отклонения электронного пучка с отклонением, вызванным его взаимодействием с эталонной интегральной схемой.