Смазочно-охлаждающая жидкость для механической обработки металлов
380690
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сок«з Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 15.III.1971 (№ 1631911/23-4) М. K.ë. С 10m 3/16
С 10m 3, 04 с присоединением заявки ¹â€”
Приоритет
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.892.621.7.016.3 (088.8) Опубликовано 15Х.19 3. Б«оллетень ¹ 21
Дата опубликования описания 1 VIII.1973
I " —
Ю. И. Никитин, C. М. Сохин, Б. В. Погорелый, Ю. А. Аив1лттпг и В. Д. Кизилов
Авторы .изобретения
Заявитель Украинский ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский конструкторско-технологический институт синтетических сверхтвердых материалов и инструмента
СМАЗОЧ HO-ОХЛАЖДАЮЩАЯ ЖИДКОСТЬ
ДЛЯ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛОВ
Изобретение относится к облас ги механической обработки материалов алмазно-аоразивным инструментом и может быть применено еа предприятиях, произво«дяоцих изделия из полупроводниковых (крем ниевыгх, германиевых и других) материалов.
Ввиду специфических особенностей полупроводниковых материалов, а именно их высокой твердости (6 по шкале Мооса) и хрупкости, которые сильно зависят от температурного режи1ма„.механи«еская обработка, например резка слитков на пластины, представляет значительные трудности. К пластинам из полупроводниковых материалов после отрезки предъявляются повышенные требования, например отсутствие трещин, их минимальная сферичность, минимал ьная глубина нарушенного слоя. Кроме того, отрезаемые пла,стины толщиной 0,3 — 0,4 лм часто ломаются, что приводит к значительному браку.
Применение алмазно-абразивного инструмента обесгечивает в основном получение изделий,,отвечающих указанным требованиям.
Однако качественные показатели и стойкость алмазно-абразивного инструмента могут быть значительно улучшены путем создания ««ниболее рациональных условий обработки,, например благодаря применению соответствующей смазочно-охла?кдающей ?кидкости.
Известно, что при обработке (резке), напр««мер,,крем«1иевых слитков на пласт«11«ы алмазными режущими кр1гами типа АВРК применяется смазочно-охлаждающая жидкость (CO)K), в которую входят тетраборат н атрия
5 (бура), кальцннированеая сода, нитрат натрия, хлористый аммоннй, Ма — КМЦ, вазели1«оное масло и вода. В известной СО% отсутствует компонент, который способствует повышению поверхностной энер 1111 алмазного
10 инструмента. Такая СОЖ очень?кесткая, так
1 ак единственным смазывающим компонентом среды является кальцпннрованная сода, что отрицательно сказывается на температурном режиме обработки и соответственно на
15 качественных показателях резания. Кроме того, известная СО;?К содержит в своем составе компоненты (бура, нитрат натрия, хлористый аммоний), кото;?ые отрицательно влияют на се противозадирные свойства, что увеличивает
20 количество бракованных изделий по качеству обработанной поверхности и стойкости алмазно-абразивного инструмента.
С целью улучшения качества изделий пз полупроводниковых м 1терпалов в состав
25 предлагаемой смазочно-охлаждающей жидкоcTè введен днэтиленгликоль при следующем соотношегоии компоне«TQD (в вес. %):
Натрийкарбоксиметилцеллюлоза 0,15 — 0,4
30 Кальцпнпрованцая сода 0,05 — 0,2
380690
0,2 — 0,6
0,25 — 0,6
До 100
Вазелиновое масло
Диэтиленгл иколь
Вода
Предмет изобретения
0,3
0,1
0,3
0,3
99,0
0,1 5 — 0,4
0,05 — 0,2
0,2 — 0,6
0,25 — 0,6
До 100
Составитель А. Сандо
Техред Т. Курилко Корректор Н. Стельмах
Редактор 3. Горбунова
Заказ 2050/13 Изд. № 533 Тираж 551 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
В предлагаемую СОЕК входят два компонента с ярко выраженными поверхностно-активными свойствами (натрийкарбокси метилцеллюлоза и диэтиленгликоль); все компоненты обладают хорошими смазывающими свойствами, а с целью повышения противозадирных свойств в ее состав введен диэтиленгликоль.
Состав СО К испытывали при резке кремниевых слитков на пластины алмазными от= резными кругами типа АВРК. При этом использовали СО К следующего состава (в вес. %):
Н атрийкар бокси метилцеллюлоза
Кальцинирован ная сода
Вазелиновое масло
Диэтиленгликоль
Вода
Как показали результаты промышленных сравнительных испытаний,, предл а гаемая
СО К обеспечивает получение более высоких технико-экономических показателей,, а именно повышает износоустойчивость алмазных отрезных кругов в среднем в 2,3 раза. При этом качество обработанной поверхности улучшается на один класс (с 77 до V8), а сферичность пластин уменьшается в 1,5 — 2,0 раза, что значительно облегчает последующую механическую обработку данных изделий и сокращает общие расходы по их изготовлению.
5 Таким образом, предлагаемая, СО К по сравнению с известными позволяет повысить производительность обработки полупроводниковых материалов алмазно-абразивными кругами в среди ем в 2,3 раза, снизить удельный
10 расход алмазов в инструменте в 1,5 — 2,0 раза, повысить качество обработанной поверхности на один класс, увеличить плоскостность изделий в 1,5 — 2,0 раза, увеличить выход готовой продукции.
Смазочно-охлаждающая жидкость для механической обработки металлов на основе во20 ды с добавлением кальцинированной соды, натрийкарбоксиметилцеллюл озы. и, вазелинового масла, отлича ощаяся тем, что, с целью улучшения качества изделий из полупроводн иковых материалов, в состав жидкости до25 полнительно введен диэтиленгликоль при следующем соотношении, компонентов (в вес. %):
Натрийкарбоксиметилцеллюлоза
Кальцинированная сода
30 Вазел иновое масло
Диэтиленгл иколь
Вода
