Дозатор энергии оптического излучения

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

387225

Союз Советских

Социалистинескит

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 23.1Ч.1970 (№ 1430564/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.VI.1973. Бюллетень № 27

Дата опубликования описания 4.Х.1973

М. Кл. G ОЦ 1/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР ов делам иеооретений и открытий

"-УДК 771.44.535.24 (088.8) Авторы изобретения

- Р,-В.-Грудииский,-А;-П. Сироткин и А. В. Ярош

Заявитель

1 ..ДОЗАТОР ЭНЕРГИИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Изобретение относится к области фототехники и литографии.

Известный дозатор энергии оптического излучения, содержащий фотоэлектрический преобразователь, усилитель, нуль-орган, делитель напряжения и измерительный прибор, обладает малым быстродействием .и низкой точностью, а также ненадежен в работе.

В предлагаемый дозатор, с целью повышения быстродействия и точности измерения, 10 введен компенсирующий транзистор, база которого соединена с делителем напряжения, а измерительный прибор включен между выходом нуль-органа и эмиттером компенсирующего транзистора.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Дозатор содержит фотоэлектрический преобразователь 1, который состоит из фотоэлемента 2, зарядного конденсатора 8, реле 4 с 20 контактами 5 и б; усилитель 7, собранный на лампе 8; нуль-орган 9, собранный на транзисторах 10 и 11; компенсирующий транзистор

12; делитель 18 напряжения, содержащий потенциометр 14; измерительный прибор 15.. 25

Устройство работает следующим образом.

Запускающий импульс переключает контакты 5,и б реле 4,в нижнее положение. Ток фотоэлемента 2 заряжает конденсатор 5, потенциал заряда конденсатора увеличивается ЗО пропорционально величине энергии излучения, поступающей на фотокатод фотоэлемента.. - тот потенциал подается посредством катодного повторителя на один из входов нуль-органа 9, .на второй вход которого подается потенциал средней точки потенциометра 14 делителя 18. По достижении напряжения на конденсаторе 5 потенциала средней точки потенциометра делителя сигнал с выхода нуль-органа прекращается. Цикл дозации завершается. Длительность доз ирования определяется длительностью импульса с выхода нуль-органа, который возникает в момент прихода запускающего импульса на контактах б реле 4.

Величина дозы энергии излучения задается регулированием потенциометра 14. Дозу энергии и ее остаток (энергии излучения, необходимой для завершения дозирования) в процессе дозации измеряют с помощью измерительного прибора 15.

Предлагаемое устройство может найти применение в электронной промышленности при производстве интегральных схем методом фотолитографии, в полиграфической промышленности при фоторепродукционных работах, а также в других областях техники, где требуется точное дозирование энергиями излучения оптического диапазона.

387225 целью повышения быстродействия .и точности измерения, в дозатор введен компенсирующий транзистор, база которого соединена с делителем напряжения, а измерительный прибор

S включен между выходом нуль-органа и эмиттером;компенсирующего транзистора.

Предмет изобретения

Составитель Т. Дозоров

Техред Л. Богданова

Корректоры: Л. Царькова и E. Хмелева

Редактор А. Батыгин

Заказ 2636/7 Изд. № 741 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапуноьа, 2

Дозатор энергии оптического излучения, содержащий измерительный .прибор, делитель напряжения и фотоэлектрический преобразователь, соединенный со входом нуль-органа через усилитель, отличающийся тем, что, с

1

l о1

1