Патент ссср 388242

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Соп3 Советских

Социалистимеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 1З.XI.1970 (№ 1491179/23-4) М. Кл. G 03с 1/84

Государственный комитет, Совета Миннстрае СССР ео делам иЪобретеннй и открытий с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.V1.1973. Бюллетень № 28

УДК 771.531(088.8) ! Дата опублико-a .tèÿ описания 1б.X.1973

Авторы изобретения а..- .. -::,= ныл

-: - . . ." .QP1

:- ;:- « . t ТЕКА

А. П. Мартыненко и Ю. А. Попов

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОТИВООРЕОЛЬНОГО СЛОЯ

Изобретение касается способа изготовления противоореольного слоя и может быть использовано в фотолитографии и фотографии.

Известен способ изготовления противоореольного слоя для кинофотоматериа70B прн применении композиций, содержащих желатину или полимеры и краситель, поглощающий актиничный свет и вымывающийся проявителем или закрепителем. Однако при известном способе изготовления противоореольного слоя рН проявителя или закрепителя необходимо устанавливать так, чтобы в них эффективно растворялся краситель противоореольного слоя. При этом качество проявителя и закр-.пителя быстро ухудшается, что приводит к нарушению режимов обработки фотослоя, рый загрязняется красителем. Кроме того, осветленная пленка желатины, нанесенная на не содержащую фотослой поверхность основы, не снимается и при воспроизведении изображения рассеивает свет, что отрицательно сказывается на качестве воспроизводимого изображения (напр|имер, при изготовлении фотолитографических фотошаблонов) .

При изготовлении противоореольного слоя с применением полимера такой противоореольный слой нецелесообразно использовать для фотоматериалов, которые обрабатывают в щелочных средах (например, для позитивных фоторезистных слоев на основе диазосоединений). При появлении таких материалов щелочной проявитель загрязняется такими компонентами противоореольного слоя, как растворимый в щелочи полимер, краситель ii кислота, что приводит к нарушению режимов обработки фотослоя и ухудшению качества изображения из-за абсорбции молекул красителя фсторезистом.

10 С целью получения не взаимодействующего химически с проявителем и закрепителем и полностью удаляемого противоореольного слоя предложено наносить на поверхность нласти ки или пленки, не нмеюгцей фотослся, компо15 знцию, содержащую комплекс с перено-.см заряда (КПЗ). Пленку из раствора КПЗ . .а основе низкомолекулярных акцептсров электронов и полимеров .наносят на поверхность фотопластинки или фотопленки во время нлн дс нанесения фотослоя и сушат так же, как и фстослой.

По предложенному способу получают противоореольные слои в виде тонких окрашенных эластичных пленок, способные очищать

25 поверхность, на которую они нанесены, от загрязнений. Пленки прочны и снимаются механически в один прием с помощью липкой ленты после проявления и закрепления фотопластин или фотопленок. B случае фотолитограЗО фии пленки снимают перед задубливанием, 388242

Предмет изобретен и я

Составитель П. Абраменко

Тсхред Л. Грачева Корректоры: Е. Миронова и T. Гревцова

Редактор T. Никольская

Заказ 2753/14 Изд. № 1700 Тираж 523 Пол писиое

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр, Сапунова, 2

Проведенные исследования показывают, что комплексы с переносом заряда на основе полиакрилонитрила, не содержащие в качестве акцептора электронов атомов галогенов (иод, бром), не оказывают влияния на свойства фотослоев. Это обусловлено отсутствием диффузии в фотослой органических акцепторов электрона, связанных в КПЗ с полимерной основой.

Если в качестве акцептора электрона используют иод, то имеет место незначительное уменьшение светочувствительности галоидосеребряных слоев.

Предложенные комплексы с переносом заряда (КПЗ) химически стабильны (при обычных условиях не растворяются в растворах щелочей и кислот, не обесцвечиваются, не обладают клеюшими свойствами после термообработки, осуществляемой в процессе изготовления противоореольного слоя) и характеризуются сильным поглощением актиничного излучения.

Оптическую плотность противоореольных слоев можно повышать путем увеличения содержания акцептора при изготовлении раствора КПЗ.

При испытании технологии снятия пленок, предложенных КПЗ, используемых для консервации и очистки поверхности полупроводниковых материалов с помощью «липкой ленты», получен положительный эффект.

При мер 1. 3 — 5 г полиакрилонитрила растворяют в 100 мл диметилформамида и раствор перемешивают при 60 — 80 С в течение

30 мин. К раствору прибавляют 2 г сублимированного йода, перемешивают при комнатной температуре в течение 1 — 2 час, КПЗ отфильтровывают через батистовый фильтр. Раствор

КПЗ представляет собой прозрачную вязкую жидкость темно-фиолетового цвета. КПЗ наносят на фотопластинку (фотопленка) одновременно с нанесением фотослоя с помощью вращающихся валиков с эластичными бандажами, погруженными в соответствующие растворы, уровень которых поддерживают автоматически. Оба слоя сушат одновременно при температуре не выше 50 С и вентиляции.

Экспонированную, проявленную и фиксированную фотопластинку (фотопленка) сушат при температуре не выше 50 С с вентиляцией.

Противоореольный слой, имеющий интенсивную полосу поглощения излучения в области спектра 240(Х(520 нм, снимают с поверхности фотопластинки (фотопленка) механически с помощью полиэтиленовой липкой ленты.

)5

После этого фотопластинку (фотопленка) с изображением, имеющим минимальный ореол, используют для получения копии изображения.

Пример 2. 3 — 5 г ацетилцеллюлозы растворяют в 100 мл диметилформамида, перемешивают при 60 — 80 С в течение 1 час. К раствору прибавляют 2 г сублимированного йода, раствор перемешивают при комнатной температуре в течение 1 — 2 час для образования

КПЗ. Раствор представляет собой прозрачную жидкость фиолетового цвета.

Противоореольный слой, характеризующийся интенсивной полосой поглощения излучения в области спектра 210(Х(520 нм, наносят, сушат и снимают по примеру 1.

Пример 3. К 1 — 5% (по весу) раствора полиакрилонитрила в диметилформамиде прибавляют 0,5 — 1,5 г хлоранила. Приготовление, нанесение и снятие темно-желтого противоореольного слоя осуществляют по примеру 1.

Пример 4. К 1 — 4% (по весу) раствору ацетилцеллюлозы в диметилформамиде прибавляют 0,5 — 1,0 г хинона. Изготовление, на.несение и снятие коричневого противоореольного слоя осуществляют по примеру 1.

Пример 5. К 1 — 5% (по весу) раствора полистирола в толуоле прибавляют 0,5 — 1,0 г йода. Приготовление, нанесение и снятие темно-коричневого противоореольного слоя осуществляются по примеру 1.

Пример 6. К 1 — 4% (по весу) раствора ацетилцеллюлозы в диметилформамиде прибавляют 0,4 — 0,8 г хлоранила. Приготовление, нанесение и снятие темно-желтого противоореольного слоя осуществляют по примеру 1.

Пример 7. К 1 — 5% (по весу) раствора полиакрилонитрила в диметилформамиде прибавляют 0,5 — 1,0 г броманила. Приготовление, нанесение и снятие темно-желтого противоореольного слоя осуществляют по примеру 1.

Способ изготовления противо ореольного слоя путем нанесения на поверхность фотографических или фотолитографических пластинок и пленок композиции, отличающийся тем, что, с целью получения не взаимодействующего химически с проявителем и закрепителем и полностью удаляемого противоореольного слоя, применена композиция, содержащая комплекс с переносом заряда, образованный низкомолекулярным акцептором электрона и полимером.