Патент ссср 390202

 

390202

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 08.11.1971 (№ 1626184/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.Ч11.1973. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 19.XI.1973

М. Кл. С 23с 13/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

А. П. Плотников, В. Г. Попережаев и В. В. Руднев

Заявитель

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для вакуумных установок, применяемых в частности в микроэлектронике при изготовлении интегральных схем.

Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее камеры с самостоятельными системами откачки.

Недостатком известного устройства является большой объем камер по сравнению с объемом загружаемых издел|ий и прямое соединение двух соседних камер в момент их использования. Это требует наличия большого общего числа камер и мощных средств откачки, что делает системы шлюзования громоздкими и малопроизводительными.

Цель изобретения — повышение производительности. Это достигается тем, что устройство выполнено в виде цилиндра, в кольцевых расточках которого попарно укреплены эластичные манжеты так, что образуют с телом цилиндра кольцевые полости, соединенные посредством каналов в стенках цилиндра с пневмомагистралью, причем между каждой парой манжет имеются связанные с вакуумной системой кольцевые проточки, в которых вмонтированы втулки с продольными прорезями.

На чертеже показано предлагаемое шлюзовое устройство.

Устройство состоит из цилиндра 1, в кольцевых расточках которого попарно установлены эластичные манжеты 2 так, что между телом цилиндра и поверхностью манжеты образуются кольцевые полости 8, соединенные через каналы в стенках цилиндра с пневмомагистралью 4, а между каждой парой манжет выполнены кольцевыс проточки 5, закрытые втулкой 6 с продольными прорезями и связап10 пые через штуцер 7 с вакуумной системой, причем шлюзовое устройство изготовлено в виде отдельных секций 8 и 9.

Цилиндр крепится к напылительной камере

10; при помощи шпилек 11 стыки отверстий, образующих магистрали, уплотня1отся медными прокладками 12. Подвод рабочей среды в полости верхних манжет каждой пары осуществляется через штуцер 18, а в полости нижних манжет — через штуцер 14.

20 Устройство работает следующим обра,îì.

Перед пуском в работу вся полость шлюза заполняется кассетами. Подавая давление на манжеты 2 по пневмомагистралям 1 через кольцевые полости 8, зажимают находящиеся

25 против манжет кассеты 15 с обрабатываемыми изделиями. Прп этом кассеты образуют ряд вакуумных затворов и секций 8 и 9 откачки последовательных ступеней. Далее включают вакуумные системы откачки секций и систему

30 автоматического управления работой манже390202 ты, обеспечивающую следующие фазы: все нижние манжеты отжаты, верхние — сжаты; все верхние манжеты отжаты, нижние — сжаты; все верхние и нижние манжеты сжаты.

При этом происходит периодическое продвиже- 5 ние кассет в рабочую камеру под действием собственного веса.

Наличие двух эластичных манжет между ilTмосферой и секцией первой ступени откачки и между последующими ступенями обеспечивает 1р надежное перекрытие ступеней во время шлюзования и предотвращает резкое ускорение движения кассет в момент отжима первой манжеты. Так как вторая манжета в это время надежно зажата, а объем вредного пространства между первой и второй манжетами незначителен, то происходит практически мгновенное выравнивание давлений перед первой ма;tжетой и после нее. Давление на манжеты рассчитывается из условия отсутствия проталкпвання кассет при максимальном перепаде давлений между атмосферой и первой ступенью откачки.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее последовательно расположенные камеры с самостоятельными системами откачки, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, оно выполнено в виде цилиндра, в кольцевых расточках которого попарно укреплены эластичные манжеты так, что образуют с телом цилиндра кольцевые полости, соединенные посредством каналов в стенках цилиндра с пневмомагистралью, причем между каждой парой манжет выполнены соединенные с вакуумной системой кольцевые проточки, в которых вмонтированы втулки с продольными прорезями.

390202

Составитель Л, Анисимова

Корректоры: H. Стельмах и Н. Учакина

Редактор Н. Корченко

Техред Е. Борисова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3018/4 Изд. Ке !747 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5