Влагопоглотитель
GllMCA Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
391653
Союз Советских
Социалистимеских
Республик
К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
М. Кл. H Oll 1, 10
Заявлено 21 1.1972 (№ 1741240/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 25.VII.1973. Бюллетень ¹ .31
Дата опубликования описания З.XII.1973
Государственный комитет
Совета Иинистров СССР по делам изобретений и открытий
УДК 621Л82.002(088.8) Авторы изобретения Е. H. Долгова, Т. Г. Плачеиов, Ю. В, Ежов, H. Ф, Зитта, В. А. Фогель и Л. К. Незамайков
Заявитель
ВЛАГОПОГЛОТИТЕЛЬ
Изобретение относится к полупроводниковым приборам, а именно к влагопоглотителям, которые применяются как конструктивная часть для поддержания в корпусе прибора низкой относительной влажности в широком диапазоне температур, что обеспечивает оптимальные характеристики и высокую надежность устройств, в частности биполярных и униполярных транзисторов, интегральных схем и др.
Выпускаемый в промышленности полупроводниковый прибор, снабженный влагопоглотителем на основе цеолита, выполненным в виде адсорбционпо-активной механически прочной пленки (состав — цеолит NaA, эпоксидная смола, полиэтиленполиамин и дибутилфталат) разработан для использования в температурном диапазоне от — 60 С до
+150" С. Такой прибор не является термостабильным и адгезионно прочным при температурах 180 — 200 С, которые должны выдерживать современные транзисторы, изготовляемые по план",ð÷îé технологии.
При испытаниях и эксплуатации приборов в интервале температур выше 150 С происходит разложение композиции влагопоглотителя, в результате чего в приборе выделяются газы, отрицательно влияющие на стабильность обратных токов, статический коэффициент усиления и его физико-механические свойства.
Цель предлагаемого изобретения — расширить диапазон рабочих температур и повы5 сить надежность прибора.
Это достигается введением на внутреннюю поверхность баллона прибора адгезионно-активной влагопоглощающей композиции на основе цеолита в виде термостабильного слоя, 10 не выделяющего после полимеризации в замкнутом объеме прибора каких-либо газов в диапазоне указанных выше температур и тем самым обеспечивающего высокие физикомеханические, диэлектрические и адсорбцион15 ные свойства. Состав влагопоглощающей композиции, в зависимости от микроклимата операции герметизации приборов и от заданной кинетики адсорбции, может быть принят в следующих пределах: цеолита NaA — 20—
20 70% и блоксополимера 6Э18Н вЂ” 60 — 0,5 (3,6) — 80 — 30О О, растворенного в одном из органических растворителей.
В качестве одного из вариантов предлагаемого состава влагопоглощающей композиции
25 может быть принят следующий: 100 вес. ч. цеолита NaA (в гидратированном состоянии);
80 вес. ч. 6Э18Н вЂ” 60 — 0,5 и 103 вес. ч. спирто-ацетоновой смеси. Процесс приготовления и нанесения состава на внутреннюю поверх30 ность баллонов можег быть следующим:
391653
Предмет изобретения
Составитель М. Сорокина
Техред 3. Тараненко
Редактор A. Морозова
Корректор Е. Сапунова
Заказ 3114/11 Изд. М 854 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5
Типография, пр. Сапунова, 2 виброизмельченные кристаллы цеолита NaA в гидратированном состоянии перемешиваются до однородной суспензии с раствором блоксополимера. Подготовленная суспензия наносится каплями из шприца, кистью или из 5 пульверизатора на внутреннюю поверхность баллона прибора. В каждый баллон вносится
5 — 15 мг состава.
Баллоны с нанесенным составом выдерживаются от 5 до 20 час на воздухе, затем поме- 10 щаются в вакуум — сушильный шкаф и подвергаются термообработке в течение 1 — 2 час, при 160 — 180 С подъемом температуры в течение 1 час. Затем баллоны выгружаются в стеклянные ампулы, в которых проводится 15 дальнейшая термообработка в течение 2—
3 час при 160 — 220 С и вакууме не выше
0,1 мм рт. ст.
После произведенных операций на внутренней поверхности баллона прибора образуется--20 адгезионно — связан ный с ней механически прочный, с определенной микропористой структурой, термостабильный слой влагопоглотителя, создающий и поддерживающий в закрытом объеме прибора низкую относитель- 25 ную влажность отвечающую точке росы — 60 — 70 С в широком диапазоне резко изменяемых температур от — 60 до +200 .
Баллоны приборов с влагопоглотителем после термообработки могут храниться в за- 3о паянных ампулах или на стеллажах на открытом воздухе. В том случае, когда они хранятся на открытом воздухе, перед использованием их необходимо вновь отрегенерировать.
Проведенные испытания баллонов прибо- 35 ров, покрытых слоем влагопоглотителя, показали сохранение полной адсорбционной емкости, свойственной цеолиту NaA, т. е. 21 — 25%.
В результате проведенных испытаний вновь разрабытываемых транзисторов, например, 2Г306, снабженных предложенным влагопоглотителем и влагопоглотителем, применяемым в промышленности (см. прототип) на основные характеристики надежности выявилось для первых: уменьшение брака по стабильности параметров обратных токов (/,бр,) в 2,5 — 5,3 раза и разбросу статического коэффициента усиления (h»z) в 3,5 раза. Таким образом, значительное повышение надежности прибора достигнуто разработкой и внесением в его корпус нового, более термостойкого и прочного влагопоглотителя, поддерживающего в приборе низкую относительную влажность в интервале резко изменяемых температур от — 60 до +200 С
1. Влагопоглотитель, например для полупроводниковых приборов, содержащий цеолит типа ХаА и эпоксидное связующее, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона рабочих температур и повышения надежности прибора, в качестве эпоксидного связующего использован неотвержденный эпоксидно-новолачный блоксополимер, а компоненты взяты в следующих соотношениях: цеолит типа NaA — 20 — 70 вес. O, неотвержденный эпоксидно-новолачный блоксополимер
80 — 30 вес. .
2. Влагопоглотитель по п. 1, отличающийся тем, что, в качестве неотвержденного эпоксидно-новолачного блоксополимера использован блоксополимер с содержанием в нем эпоксидных групп 8,5 — 10,0%.
