Радиальный турболюлекулярный вакуумный

 

О П И С А Н И Е 395620

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (овз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. F 04d 19/04

Заявлено 07. IX.1971 (№ 1697818/24-6) с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Приоритет

Опубликовано 28.VI II.1973. Бюллетень ¹ 35 УДК 621.527.8(088.8)

Дата опубликования описания 8.1.1974

И. Д. Р;-:ох1 ::, В. И. I :>:çíå11oâ и А. В. Хейфец u--..

Авторы изобретения

Заявитель

РАДИАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛ ЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС

Предмет изобретения

Изобретение относится к получению вакуума механическими высоковакуумными насосами.

Известны радиальные тур бомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус с установленными в нем роторами встречного вращения, имеющими раоочие и уплотнительные ступени, расположенные по концентрическим окружностям на роторах и сопря>кенных с ними поверхностях корпуса.

Однако сжатие газа уплотнитсльными ступенями меньше, чем рабочими, что ограничивает получение более высокого вакуума.

Предлагаемый насос отличается тем, что первые уплотнительные ступени размещены на окружностях, диаметры которых превышают диаметры окружностей первых рабочих ступеней. Количество уплотнительных ступеней мо>кет превышать количество рабочих ступене;1, например, в 1,5 — 2 раза.

Это позволяет повысить степень сжатия всего насоса.

На черте>ке схематично представлен описываемый насос.

Он содержит корпус 1 со всасывающим фланцем 2. Внутри корпуса установлены роторы 8 встречного вращения и уплотнительныс ступени 4, располо>кенные на роторах встречного вращения и на сопряженных с ними поверхностях корпуса. Рабочие ступени 5 расположены на роторах встречного вращения.

Насос работает следующим образом.

5 Откачиваемый газ поступает в насос через всасывающий фланец 2 к уплотнительным 4 и рабочим 5 ступеням, откачивается ими и выбрасывается в форвакуумную полость насоса, откуда форвакуумным насосом удаляется в

10 атмосферу.

1. Радиальный турбомолекулярный вакуум1S ный насос. содержащий корпус с установленньп1п в псм роторами встречного вращения, пмеющпмп рабочие и уплотнительные ступени, расположенные по концентрическим окружностям на роторах и сопряженных с ними

20 поверхностях корпуса, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, первые уплотнптельные ступени размещены на окружностях, диаметры которых превышают диаметры окружностей первых рабочих ступеней.

25 2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что количество уплотнительных ступеней превышает количество рабочих ступеней, например, в

1,5 — 2,0 раза.

395620

Составптсчь Б. Иванов

Тсхрсд A. Камышникова

Корректор Е. Блюмина

Редактор Л. Народная

Типография, пр. Сапунова, 2

3аказ 3604,5 Изд. М 970 Тираж 678 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5