Устройство для обработки изделий в вакууме

 

ОП ИСАЙКЕ

ИЗОБРЕТЕН ИМ

405974

СО3Оз СОРютскйх

С©циапкатк.4еских

Республкк

К АВТОРСКОМУ СВетДНЕЯЬСТВУ

Загисимое от авт. свидетельств«¹вЂ”

Заявлено 1.Xl.1971 (№ 1710643/26-9) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 05.Х1,1973. Бюллетень № 45

Дата опубликования описания 11.I I 1974

М. Кл. С 23с 13/10

Н 05k 13/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР еа делам изобретений и открытий

УДК 539.23.002.7 088.8) Авторы изобретения

О. Б. Каратаев, Е. М. Иврин и В. Б. Дементьев

Заявитель

УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства радиодеталей.

Известны устройства для обработки изделий в вакууме, содержащие вакуумную камеру, входной и выходной шлюзы с направляющими для кассет, механизм транспортировки в виде многогранника с валом, толкатель и съемник изделий.

Цель изобретения — повышение производи1ельности устройства.

Предлагаемое устройство отличается тем, что, входной и выходной шлюзы расположены перпендикулярно оси многогранника, причем в зонах загрузки и выгрузки изделий плоскость направляющих в шлюзах совпадает с плоскостью грани многогранника, а толкатель выполнен в виде подпружиненной планки, взаимодействующей с торцовым кулачком па валу многогранника.

Описываемое устройство изображено на черт еже.

С вакуумной камерой 1 сообщаются два шлюза дифференциальной вакуумной откачки: шлюз 2 для загрузки кассет 8 с изделиями в

;-ону обработки в вакуумной камере и шлюз 4 для выгрузки обработанных изделий нз вакуумной камеры.

В камере I на валу 5 установлен механизм транспортировки в виде многогранника б, каждая грань когорого имеет выполнешьое по ее периметру окно. Между шлюзами в каждой грани имеются продольные пазы 7 для кассет с изделиями. Шлюзы расположены перпендикулярно оси многогранника так, что по мере вращения плоскости его граней поочередно совпадают в определенные моменты с ни кними направляющими плоскостями 8 шлюзов.

Устройство 9 для выполнения технологиче10 ской операции установлено внутри камеры.

Для перемещения кассет на каждой грани многогранника со стороны входного шлюза установлены толкатели 10 в виде подпружиненной планки, получающей движение при

15 вращении многогранника от торцового кулачка 11 на его валу.

Для выгрузки кассет с обработанными изделиями служит съемник 12, установленный в кольцевой проточке 18 многогранника на участке выходного шлюза.

Кассеты 8 с изделиями непрерывно подаются во входной шлюз и по мере его заполнения поступают на одну из граней многогранника б, плоскость которой совпадает с нижней направ25 ляющей плоскостью этого шлюза. При повороте многогранника на 180 толкатель под воздействием кулачка 11 проталкивает кассету вдоль оси барабана на расстояние, равное длине кассеты, и при повороте на следующие зо 180" возвращается в исходное положение.

405974

Предмет изобретения

Ц

Г, DlñÉÓÌÉ

10 ащ

J 1 l

Составитель Н. Блинкова

Редактор Б. Федотов Техред А. Камышникова Корректор Л. Царькова

Заказ 85 Изд. № 264 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного Комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография ¹ 24 Союзполиграфпрома, Мо "ква, 121019, ул. Маркса — Энгельса, 14

1(ассета, продв..гаемая толкателем 10 входит ь пазы 7 граней и при вращении многогранника проталкивается следующими непрерывно

ПОДЯВЯЕМЫМП КЯССЕТЯМИ ВДОЛЬ его ОСИ К УЧЯСТку выходного шлюза. Поскольку на этом участке грани многогранника не имеют направляющих пазов, кассета, поступившая на участок выходного шлюза, при вращении многогранника находит ня съемник 12 и проталкивается гранью многогранника в выходной шлюз. Таким образом происходит непрерывное перемещение кассет по всем граням многогранника, начиная от загрузки кассет во входной шлз и кончая их выгрузкой из выходного шлюза. Во время перемещения кассет изделия непрерывно обрабатываются в вакууме, поддержигаемом в камере и в шлюзах с помощью вакуумной системы дифференциальной откачки.

Устройство для обработки изделий в вакууме, содержащее Вакуумную камеру, входной и

Lûõîäíîé шлюзы с направляющими для кассет, механизм транспортировки в виде многогранника с валом, Ioëêàòåëb и съемник изделий, отлича Ощееся тем, что, с целью повышения производительности, входной и выходной шлюзы расположены перпендикулярно оси многогранника, причем в зонах загрузки и выгрузки изделий плоскость направляющих в шлюзах совпадает с плоскостью грани многогранника, а толкатель выполнен в виде подпру кннснной планки, взаимодействующей с торцовым кулачком на валу многогранника.