Патент ссср 410579
1 1
1 1. о п и-- а
ИЗОЬЕЕтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
4Ю579
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 29.VI.1972 (№ 1802793f26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.I.1974. Бюллетень № 1
Дата опубликования описания 5.Ч.1974
М. Кл. Н 05k 13/04
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
УДК 621.396.6.002.5 (088.8) Авторы изобретения
И. М. Питиримов, Ю. И. Калинин и Н. М. Ионина
Заявитель
ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ
МИ КРОСВАРКИ
Предмет изобретения
Изобретение относится к области технологии производства интегральных схем, в частности к устройствам для ультразвуковой микросварки алюминиевой проволоки к контактным площадкам интегральных схем, Известен твердотельный инструмент для ультразвуковой микросварки на основе карбида вольфрама, важнейшим элементом которого является контактная площадка с размерами 90 140 мк при диаметре привариваемой проволочки 20 — 50 мк.
Для обеспечения необходимых условий передачи ультразвуковых колебаний в зону сварки в известном инструменте контактная площадка имеет продольную или поперечную канавку размером 10 — 25 мк или пересекающиеся риски, образующие сетчатую поверхность.
Недостатки известного инструмента в том, что он не обеспечивает достаточной стабильности и прочности сварных соединений, имеет большой «приработочный» цикл для обеспечения прочного микросварного соединения, который может доходить до 1000 сварок.
Цель изобретения — повысить прочность сварных соединений, улучшить эффективность передачи ультразвуковых колебаний в зону сварки, а также исключить «приработочный» цикл и увеличить долговечность инструмента.
С целью улучшения передачи ультразвуковых колебаний и повышения прочности сварного соединения контактная площадка инструмента выполнена в виде кристаллического
5 слоя, из зерен металла, индиферентного к свариваемому материалу. В качестве таких материалов могут быть использованы титан, хром или марганец.
10 Получение зернистых слоев этих металлов на поверхности твердосплавного инструмента из карбида вольфрама может быть осуществлено обычными способами, например покрытием в порошках металлов при высоких тем15 пературах в вакууме, осаждением из газовой фазы или другим путем.
Твердотельный инструмент для ультразвуковой микросварки на основе карбида вольфрама, отличающийся тем, что, с целью улучшения передачи ультразвуковых колеба25 ний и повышения прочности сварного соединения, контактная площадка инструмента выполнена в виде кристаллического слоя из зерен металла, индиферентного к свариваемому материалу.
