Патент ссср 414079

 

О П И С А Н И Е 414079

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

С| .|юз Соййтскйк

Социалистических

Реслублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 28.Ч1!1.1972 (№ 1822865/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 05.!1.1974. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 11 VI.1974

М. Кл, В 240 314

Гааударатвенв|й камитет

Саввта Миннстрав СССР аа делам мэоаретениа и открытий

УДК 621.921(088.8) Авторы изобретения

ВП15

Q(U Я g:-.ð !д н

Л. И. Щелкунов и В. А. Иванов

Заявитель

ИМПРЕГН И РУЮЩЕ-ПОЛ И РО ВАЛ ЪН Ъ! Й СОСТАВ

Предмет изобретения

1

Изобретение относится к технологии производства деталей радиоэлектронной аппаратуры. Состав может быть использован при изготовлении подложек из форстеритовой керамики для ми|кроэлектронных устройств.

Известен импрегниру|още-полировальный состав на основе водной суспензии окиси кремния, преимущественно для форстеритовой керамики.

Известный состав не дает возможности уменьшить число пор на единицу поверхности форстеритовой керамики, так как пористость определяется структурой керамики, и уменьшить их размер.

Цель изобретения — уменьшение количества и размера пор на поверхности керамики.

Предлагаемый состав отличается тем, что в него введены силикат одного из щелочных металлов и тальк при следующем соотношении исходных компонентов (г/л):

Окись кремния 80 — 120

Силикат щелочного металла 200 — 300

Тальк 80 — 120.

Суть изобретения состоит в использовании в импрегнирующе-полировальном составе мелкодисперсной (величина частиц не более о

800 А) окиси кремния в сочетании с веществами, способными после заполнения ими пор прочно сцепляться со стенками пор в форстеритовой керамике во время термообработки деталей при 400 †6 С.

Шлифованные детали закрепляют (клеем) на полировальной головке, которую устанавливают на стеклянный полировальник, обтянутый сатином, На полировальник через капельницу, оборудованную мешалкой, поступает предложенный состав. Полировальник и головку приводят во вращение. При этом поверхностный слой снимается, и вскрывающиеся поры заполняются импрегнирующим

10 составом.

После снятия слоя керамики, соответствующего половине среднего диаметра пор (приблизительно 10 мкм) процесс прекращают, н детали после легкой промывки поступают на

15 сушку и отжиг при 400 — 600 С. При этом частицы полирующего состава спекаются между собой и со стенками пор.

Импрегнирующе-полировальный состав на основе гидрозоля окиси кремния, преимущественно для форстеритовой керамики, отл ич а ю шийся тем, что, с целью уменьшения

25 количества и размера пор на поверхности керамики, в него введены силикат одного из щелочных металлов и тальк прп следующем соотношении исходных компонентов (г/ I):

Окись кремния 80 — 120

30 Силикат щелочного металла 200 — 300

Тальк 80 — 120.