Сверхвысоковакуумный клапан шиберного типа

 

») 422903

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТ ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.06.72 (21) 1797107/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритст (51) М. Кл. F 16k 3/10

Государственный комитет, Совета Министров СССР оо делам нзооретвний и открытий (53) УДК 621.646(088.8) i Опубликовано 05.04.74. Еюллетепь ¹ 13 ! (Дата опубликования описания 30.08.74 (72) Авторы изобретения

А. Т. Александрова, В. К. Лилье и Б. Г. Львов

Московский институт электронного машиностроения (71) Заявитель (54) СВЕРХВЪ|СОКОВАКУУМНЪ|Й КЛАПАН

ШИБЕРНОГО ТИПА

Известны сверхвысоковакуумные клапаны шиберного типа, содержащие шибер с уплотнительными прокладками, расположенный между фланцами с отверстиями, механизм перемещения шибера, устройство для герметизации клапана.

Однако такие клапаны имеют сложную конструкцию, громоздки и ненадежны в эксплуатации.

Предлагаемый клапан отличается GT известного тем, что между шибером и флапцсм размещен подвижный в осевом направлении диск с отверстием в вакуумной полости, герметично соединенный с фланцами посредством сильфонов, приводимый в движение приводным колесом с профильным торцом через ролики подвижного диска, обеспечивающего перемещение и уплотнение шибера.

Для перемещения шибера на фланце ра мешен рычаг, один конец которого закреплен на оси и соприкасается с подвижным диском, а второй конец проходит через прямой паз во втулке, укрепленной на фланце, и перемещающийся в профильном пазу ступицы шибера.

Такое выполнение упрощает конструкцию клапана и повышает его надежность в работе.

На фиг. 1 изображен предлагаемый клапан, разрез; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг, 1; на фиг. 3 — механизм перемещения шибера; на фиг. 4 — торцовой профиль приводного колеса.

Клапан состоит из фланцев 1 и 2, шибера

5 3, сидящего на подшипнике 4, посаженного на ось 5, подвижного диска 6, герметично соединенного с фланцами 1 и 2 сильфонами 7, 8, изолирующими внутренний объем от атмосферы. Флапцы 1 и 2 соединены между собой штырями 9, проходящими через подвижной диск 6, Между фланцем 2 и подвижным диском 6 размещены пакеты пружин 10 тарельчатого типа, служашие для создания уплотняющего усилия в запорной паре, состояшей

15 из двух уплотнптсльных прокладок 11, 12.

Пакеты пружин 10 обеспечивают упругое последействие. Во внутреннем объеме на фланце 1 размещен механизм перемещения шибера (фиг, 3), который содержит штырь 13, соединенный с рычагом 14, надетым на ось 15.

Конец рычага 14 проходит через прямой паз, прорезанный в корпусе 16, укрепленном на фланце 1, и находится в профильном пазу, выполненном на ступице шибера 3. Между штырем 13, осью и фланцем 1 расположены пружины 17 и 18 тарельчатого типа, Механизм поступательного перемещения подвижного диска 6 состоит из пакетов пружин 10, приводного колеса 19, на торце которого

3Q выполнены три идентичных фасонных профи3 ля (фиг. 4), расположенных под углом 120, трех роликов 20, укрепленных па подвижном диске 6. Приводнос колесо 19 расположено на упорно-радиальном шарикоподшипнике 21.

При открытом положении клапана шибер

3 находится за пределами проходпых отверстий во фланцах 1, 2 и подвижном диске 6.

Для закрытия клапана движение от привода передается приводному колесу 19, в момент начала вращения колеса 19 ролики 20 находятся на подъеме торцового профиля. После начала вращения колеса 19 ролики 20, перекатываясь по фасонному профилю, двигают подвижный диск 6, при этом конец рычага

14 перемещается в прямом пазу кор уса 16 и профильном пазу, выполненном на ступице шибера 3, заставляя поворачиваться шибер 3.

После поворота шибера на угол, обеспечивающий полное перекрытие проходных отверстий, ролики 20 начинают круто опускаться вниз, и подвижной диск 6 с шибером 3 перемещаются к фланцу 1 за счет действия пружин 10; происходит уплотнение шибера усилием, развиваемым пакетами пружин 10.

Открывание клапана осуществляется подобным образом, при этом колесо 19 вращаетсч от привода в ту же сторону, что и при закрывании.

422903

Предмет изобретения

1. Сверхвысоковакуумный клапан шиберного типа, содержащий шибер с уплотнительным и прокладками, расположенный между фланцами с отверстиями, механизм перемешения шибера, устройство для герметизации клапана, отлича ющийся тем, что, с целью упрощения конструкции клапана и по1п вышсния надежности его в работе, между шибсром и фланцем находится подвижный в осевом направлении диск с отверстием в вакуумной полости, герметично соединенный с фланцами посредством сильфонов, приводимый в движение приводным колесом с профильньп| торцом через ролики подвижного диска, обеспечивающего перемещение и уплотнение шибера.

20 2. Клапан по п. 1, отличающийся тем, что для перемещения шибера на фланцс размещен рычаг, один конец которого закреплен на оси и соприкасается с подвижным диском, а второй конец проходит через прямой паз во втулке, укрепленной на фланце, и перемещающийся в профильном пазу ступицы шибера.

422903

<иа 2

15 18

17 5

Составитель И. Бикбулатов

Техред Л. Богданова

Редактор И. Бродская

Корректор Т. Хворова

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2148/14 Изд. ¹ 667 Тираж 875

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5