Ячейка для эллипсометрических исследований границы раздела фаз при протекании на ней электрохимических и адсорбционных процессов

 

авансецов э н >15 åo 4 e " б лн

1 с

Союз Советских

Социалистическим

Республик

<11>437462

О П И -ЕИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 08.06.72 (21) 1796465, 26-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.06.77. Бюллетень № 23 (45) Дата опубликования описания 22.09.77 (51) М,Кл.2 С 01 N 21;40

Государственный комитет

Совета Министров СССР

an делам изобретений н открытий (53) УДК 535,55(088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Опенкин, 3. И. Кудрявцева, И. А. Анисимов и Н. А. Шумилова

Институт электрохимии АН СССР (71) Заявитель (54) ЯЧЕЙКА ДЛЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ

ИССЛЕДОВАНИЙ ГРАНИЦ РАЗДЕЛА ФАЗ ПРИ

ПРОТЕКАНИИ НА НЕЙ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ

И АДСОРБЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ

Изобретение относится к оптическим поляризационным измерениям тонких покрытий, пленок, переходных слоев в изолированном от окружающей среды пространстве, в жидкостях или газах п ри определенной температуре.

Ячейка может быть использована для изучения адсорбционных и коррозионных процессов на поверхности твердого тела, в частности для одновременных исследований состояния поверхности металлов эллипсометрическим и электрохимическим методами.

Известны ячейки для оптических измерений, содержащие корпус и неподвижные оптические окошки.

Предлагаемая ячейка отличается от известных тем, что конструкция ее оптических окошек обеспечивает возможность юстировки окошек относительно луча света. Юстируемые оптические окошки закрепляются в тефлоновых сферах, поворот которых в сферических вкладышах корпуса осуществляется винтами, что позволяет проводить оптические измерения при изменении угла падения на образец в пределах от 50 до 85 в процессе проведения опыта, например при одновременных электрохимических и эллипсометрических измерениях.

Такая конструкция оптических окошек ячейки позволяет устранить паразитную поляризацию света и дает возможность получать дополнительную информацию лля расчета оптических констант поверхности чистых металлов и пленок на ней.

На фиг. 1 изображена оптическая ячейка, разрез в горизонтальной плоскости; на фиг.

2 — оптическая ячейка для одновременных эллипсометрических и электрохимических исследований, общий вид.

В корпус оптической ячейки, изготовленный из тефлона, запрессованы тефлоновые вкладыши, внутренняя поверхность которых представляет собой сферу. Во вкладыш вставлен тефлоновый держатель оптических окошек 1, наружная поверхность которого

15 сфера того же радиуса, что и сферическая поверхность вкладыша.

Сферические поверхности держателя и вкладыша притерты друг к другу, что обеспечивает герметичность. Держатель закрепляется во вкладышах с помощью кольца 2 из пе ржавеющей стали и четырех винтов 3. Конструкция головки винтов позволяет устанавливать кольцо с любым наклоном, что требуется при юстировке. В держателях закреплены оптические плоскопараллельные стекла н с помощью вкладыша и винтового кольца.

Такое крепление кольца полностью обеспечивает герметичность. Между корпусом ячейки и кольцом оставляется зазор б, который позволяет изменять углы падения света

Л

« ф

4374ф

Формула изобретения

Фи2 7

4 3

iРиг. Z

Составитель В. Траут

Техред А. Камышникова

Корректор В. Гутман

Редактор H. Козлова

Заказ 540/1408 Изд. № 86 Тираж 1109 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» па рабочую поверхность в нужном диапазоне.

Ячейка устанавливается на столик эллипсометра и с помощью его автоколлиматоров оптические окошки выставляются перпендикулярно оси прибора при желаемом угле падения на образец. Юстировка и установка оптических окошек под нуиным углом осуществляется с помощью винтов 8, которые позволяют установить сферический держатель окошек в любом из положений, которое позволяет зазор 5.

В крышке ячейки вмонтированы электрод сравнения 6, вход 7 и выход 8 инертного газа.

В корпусе ячейки сделаны выводы для раоочего 9 и вспомогательного 10 электродов.

Ячейка для эллипсометрических исследований границы раздела фаз при протекании на ней электрохимических и адсорбционнь|х процессов, содержащая тефлоновый корпус, в который вмонтированы оптические окошки, средства для крепления исследуемого объекта, отличающаяся тем, что, с целью уст10 ранения паразитной поляризации и получения дополнительной информации, необходимоч для расчета оптических констант, оптические окошки закреплены в тефлоновых сферах, ус. тановлвнных с возможностью поворота в сферических вкладышах корпуса с помощью винтов.