Устройство для измерения скорости напыления
О П И С А Н И Е (») 437953
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 22.12.72 (21I) 1864228/26-9 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 30.07.74. Бюллетень № 28
Дата опубликования описания 09,01.75 (51) M. Кл. С Oln 25/14
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретенир и открытий (53) УДК 621.396.6-181. .5(088,8) (72) Авторы изобретения (71) Заявитель
А. И. Меркулов и В. И. Карпов
Куйбышевский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт им. академика С. П. Королева (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ
НАПЫЛЕНИЯ
Изобретение относится к технологии изготовления тонкопленочных интегральных микросхем, в частности к методам контроля параметров техпроцесса напыления в вакууме.
Известно устройство для измерения скорости напыления, в котором частицы испаряемого вещества, попадая на чувствительный элемент (термопару), не осаждаются на нем, так как он нагрет до температуры, выше температуры испаряемых частиц, Испаряемые частицы вещества лишь понижают температуру термопары.
Недостаток этого устройства состоит в том, что оно реагирует одновременно на плотность потока испаряемых частиц и изменение степени вакуума. При этом термо-э.д.с., возникающая за счет изменения степени вакуума, является паразитной. Складываясь с термоэ.д.с., возникающей при изменении скорости напыления, она вносит погрешность в точность измерения последней.
Цель изобретения — разработка устройства, позволяющего скомпенсировать термоэ.д.с., возникающую при изменении степени вакуума в рабочем объеме, и повышение точности измерений.
Эта цель достигается применением дополнительной (второй) термопары, не подверженной воздействию потока испаряемых частиц и включенной встречно с первой.
На фиг. 1 показана схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 — конструктивное расположение измерительных элементов.
Индентичные высокотемпературные термопары 1 и 2 (например, вольфрамо-рениевые, вольфрамо-вольфраморениевые и др.) размещены на верхней плите 3 подколпачного устройства рядом с подложкой 4, закрепленной в подложкодержателе 5. Выводы термопар соединены по схеме, изображенной на фиг. 1.
10 Термопара 2 защищена от потока испаряемых частиц экраном 6, Обе термопары нагреты до
2000 — 2500 С от стабилизированного источника 7 питания. Для установки на «О» показаний регистрирующего прибора при отсут1б ствии потока испаряемых частиц в цепь питания термопары 2 включен реостат 8.
Устройство для измерения скорости напыления работает следующим образом.
Испаритель с испаряемым веществом про20 гревают в вакууме в течение установленного времени при закрытой заслонке 9. Перед напылением стрелку измерительного прибора 10 устанавливают на «О» с помощью реостата 8.
Производят напыление. Величина термо-э.д.с., 25 регистрируемая измерительным прибором, определяется только скоростью йапыления.
Предмет, изобретения
Устройство для измерения скорости напы30 ления, содержащее высокотемпературную гермопару, стабилизированный источник питания
437953 и г
°
Составитель А. Меркулов
Техред 3. Тараненко Корректор Н. Лебедева
Редактор М. Бычкова
Заказ 3582/9 Изд, № 1877 Тираж 651 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 и измерительный блок, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, устройство снабжено защищенной эк/
2 р раном от потока испаряемого вещества дополнительной высокотемпературной термопарой, включенной встречно с первой термопарой.
