Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистимеских

Республик (11) 448347 (61) Зависимое от авт. свидетельства ) ° (22) Заявлено 2503 72 (21/7524>/25-28 (51) М. Кл. е ОХв 9/02

Ы ОХв П/24 с присоединением заявки

Государственный комитет

Совета Министров СССР оа делам иаобретений и открытий (32) Приоритет

ОпубликованоЗ)ДО,74 Бюллетень № ТО (5з) ÀK53Т.7I5.I (088.8> дата опубликования описания I5. 12.74 (72) А в то р ы изобретения Д.! .ИуряЕВ,Е.И.ДИКаНЬ,А.И.ЛИбЕр И fi.ß.JIa38peaa (71) заявитель МОсковское ОРДена Ленина и орДена ТруД@вого расового намени высшее техническое училище им. i}.Э.Баумана и расногорский механический Завод (541 ИНТЕИЕРОатЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ

ПОВЕРХНОСТИ ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСКИХ

II0BEPXHO(:TEN ЛИНЗ БОЛЬШОГО ДИАМЕТРА

Изобретение относится к измери-. тельной технике,в частности к области оптического приборостроения, например крупногабаритной оптике.

Известен интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащий источник света, например оптический квантовый генератор, телескопическую систему, полупрозрачное зеркало,обьектив и линзовый компенсатор.

Однако такой интерферометр характеризуется высокими требованиями к компенсатору в части его остаточных аберраций и недостаточной точностью контроля.

Предлагаемый интеГферометр отличается от известного тем,что он снабжен эталонным сферичесйим зеркалом, установленным закомпвнсатором с возможностью перемещения вдоль оптической оси и размещения между ними линзы с контролируемой поверхностью,которую ориентируют так,что центры кривизны зеркала и контролируемой поверхности совпадали один с другим и с изображением вершины расходящегося пучка лучей, прелом5 ленных компенсатором и неконтроли руемой поверхностью линзы.

Такое выполнение интерферометра позволяет снизить требования к компенсатору и повысить точность контто роля..

На фиг.I изображена схема предлагаемого йнтерферометра;на фиг.2взаимное расположение деталей интер1б ферометра.

Интерферометр содержит лазерный источник I света; телескопическую систему 2 для расширения пучка и ; уменьшения его расходимости;пол прозю .зрачную плоскопараллельную йластинку

З,фокусирующйй объектив 4,компенсатор 5еэталонное сферическое зеркало б,объектив 7 для наблюдения или фотографирования интерференционной каю ртины и экран 8 или фотопленку для

448347

1.егистрации интерференционной картины.

Линзу 9 с контролируемой поверхностью К устанавливают между компенсатором и эталонным сферическим зеркалом.

1!

На фиг.2- показано: У -изобраI жение точки Р, .построенное только

Ю компенсатором 5; У -изображение точки Р,построенное компенсатоом и первой поверхностью линзы 9; и С-центры кривизны соответственно контролируемой поверхности линзы 9 и эталонного сферического зеркала 6 . !!!

Точки У !!!,С„и С должны быть с овмещены.

Интерферометр работает следующим образом.

Лучи, выходящие из объектива

4,фокусируются в точке У,образуя после нее расходящийся гомоцентрический пучок. После выхода из компенсатора и преломления на первой неконтролируемой поверхности линзы 9 лучи света вновь образуют гомоцентрический нучок,вершина которого {точка Р " )является иэображением точки У .Благодаря этому обеспечивается.йормальное падение лучей на контролируемую поверхность

К,которая является одновременно и разделительным элементом интерферометра.Так как трчки E С„и С: совмещают перемещением лийэы 9 и зеркала б,то разность хода интерферирующих лучей зависит только от погрешностей контролируемой поверхности,т.е. от отклонений ее формы от эталонной сферической поверхности зеркала 6 . ь; Расширение диапазона контролируемых поверхностей обеспечивается тем,что величина воздушного промежутка между линзой 9 и зеркалом б может изменяться в широких ю пределах.Практически на интерферометре могут контролироваться сферические поверхности, радиус которых меньше радиуса кривизны эталонного зеркала.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Интерферометр для конт оля ормы поверхности выпуклых с ериеских поверхностеи лйнз бол ш0го

go диаметра, содержащий установленные последовательно источник света,телескопическую систему,полупрозрачное зеркало, объектив и компенсатор, отличающийся тем,что,с

25 целью снижения требований к компенсатору и увеличения точности,он снабжен сферическим зеркалом,установленным за компенсатором с возможностью перемещения вдоль оптической оси и размещения между ниии

3о линзы с контролируемой: поверхностью, .которую ориентируют так,что центры кривизны зеркала и контролируемой поверхности совпадали один с

35.другим и с изображением вершины расходящегося пучка лучей, преломленных компенсатором и неконтролируемой поверхностью линзы.

448347

Г Г"

Nu3. 2

Тираж Qg

Заказ /3 f(Изд. № /Хд

Подписное

11ИИИИИ 1 осуцарствеиного комитега Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Предприятие «Г(атепт», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24

Составитель Я 1рщ ц д

1 ор Н.СуХаНОВ@ех1едЛ llOTarrOaa Zîððåêòîð С.С рКОВа