Фотоэлектрический микроскоп
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (11) 4519О2 (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 11. 12.72 (21) 1856530/25-28
-I с присоединением заявки ¹
Государственный камнтет
Соната Министров СССР
00 делам изобретений н аткрытий (32) Приоритет—
Опубликовано 30.11.74. Бюллетень № 44
Дата опубликования описания ОО.О4.75 (53) УДК 531,715. 2 (088. 8) (72) Авторы изобретения
А. М. Каган и М. Г. Богуславский (7 l) Заявитель
° ЙФ. (54) ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП
Фотоэлектрический микроскоп содержит осветитель 1, проекционный объектив 2, расположенные на оптической оси и образующие проекционную систему, призму двойного изображения 3, шелевой модулятор 4, коллектив 5, фотоприемник 6 и электронный блок регистрации 7. Объект 8 измерения располагается в плоскостипредметов проекционного объектива 2, При установке призмы двойного изображения 3 в плоскости колебаний щеря мо« дулятора 4 появляются два изображения кромки объекта 8, перемещающиеся при смещении объекта в разные стороны.
При смещении границы объекта 8 к визирной оси микроскопа кромки объекта смещаются в направлении одна к другой. В момент точной регистрации границы изображений объекта находятся встык одна к другой. При отклонении в ту или иную сторону изображения границы объекта либо не доходят одна до другой, либо накладываются одна на другую, образуя при этом штриховой знак переменной ширины. В том случае, когда граница объекта не доходит
Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено длявысокоточной регистрации положений границы объекта при линейных и угловых измерениях. 5
Известен фотоэлектрический микроскоп, содержащий оптическую проекционную систему, щелевой модулятор, ось колебаний которого совмещена с визирной осью проекционной системы, фотоприемник и блок 10 регистрации.
Предложенный микроскоп отличается от известного тем, что он снабжен призмой двойного изображения, размещенной между проекционной системой и щелевым модулятором так, что визирная ось проекционной системы смещена с оси колебаний модулятора на величину, меньшую половины ширины его поля зрения.
Это позволяет повысить точность регистрации границы объекта на визирнойоси микроскопа.
На фиг. 1 показана принципиальнаясхема предложенного микроскопа; на фиг. 2—
25, ууафики, поясняющие работу микроскопа. (51) M Кл. 4 01 g 9/04
4519О2 до визирной оси, штрих светлый, а осталь» ное поле темное (см, фиг. 2а). В случае, когда граница объекта переходит визирную ось микроскопа, штрих темный на более светлом поле (см. фиг. 2б).
Так как формирование штриха происходит не на оси колебаний модулятора 4, то и в первом и во втором случаях возникает сигнал, в котором присутствует сигнал ос» новной частоты и при смешении объекта 8 изменяется только его амплитуда.
Кроме этого, автоматически от первого случая ко второму изменяется фаза сигнала на 380о (светлый штрих на темномполе и темный штрих на светлом поле).
Сигнал рассогласования поступает сфазочувствительного вьнтрямителя на стрелочный прибор или после усиления в исполнительный механизм блока регистрации (элем.нты блока регистрации на фиг. 1 не показаны).
В момент точного положения границы объекта на визирной оси микроскопа исче1 зает вообще переменная составляющаясигнала (глубина модуляции равна нулю}, и стрелочный прибор показывает нуль (см. фиг. 2в).
Кроме того, при работе с призмойдвой1
5 ного изображения не предъявляются жест кие требования к стабильности положения центра колебаний модулятора.
Предмет изобретения
Фотоэлектрический микроскоп, содержащий оптическую проекционную систему,шеу5 аеео6 модУпятор фотоприемник и блок реги« страции, отличающийся тем, что с целью повышения точности регистрации границы объекта, он снабжен призмой двойного изображения, размещенной между про>о екционной системой и щелевым модулятором так, ч.го визирная ось проекционной системы смещена с оси колебаний модулятора на величину, меньшую половиныширины его поля зрения.
4519О2
Составитель Я Горшков
Тех ред Корректор Т.Добровольская ехред E..Подурушина
РедактоР О. ркова
1 Москва, 113035, Раушская наб., 4 Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24 "-- йг/ изд. ¹ 7 88 Тираж 760 Подписное
