Установка для микросварки

 

О П Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Реотублнк (11) 452459 к ввтовскомв свидвтвльстви (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено17. 07.72 (21)1813262/25-27 (51) М. Кл. В23к 31/02 с присоединением заявки А -

Государственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изооретений

-и открытий (32) Приоритет

Опубликовано 05.12.74, Бюллетень №

Дата опубликования описания <6-О4-75 (53) УДК 621. 791. 763.. 1. 037(088.8) (72) Авторы изобретения

В, Т. Кулешов, Я. Н. Мистейко и Ю. В. Большаков (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ МИКРОСВАРКИ

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано в микроэлектронике. при монтаже перевернутых кристаллов для приварки балочных и дургих консольных выводов, Известна установка для микросварки, содержащая размещенные на станине механизм давления, держатель сварочного инструмента, оптическое устройство, микроманипулятор и привод.

Однако в известной установке происходит аначительное проскальзывание сварочного инструмента, что увеличивает процент брака.

Предложенная установка устраняет указанный недостаток и отличается тем, что она снабжена механизмом обкатки, выполненным в виде закрепленных на микроманипуляторе подвижных опор, взаимодействующих с копирами, предусмотренными на дополнительно установленных на станине стойках, при этом подвижные опоры кинематически связаны с приводом, а профиль копиров соответствует профилю сварочного инструмента.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, общий вид; на фиг. 2 — 4 - виды

5 по стрелкам А, Б и В.

Установка состоит из проектора 1, предназначенного для наблюдения за совмещением; механизма обкатки 2, перемещающего обрабатываемое изделие при сварке мето10 дом обкатки изделия по поверхности сварочного инструмента 3; микроманипулятора 4, служащего для высокочастотного перемещения обрабатываемого изделия, к корпусу мнкроманнпулятора 4 неподвижно прикреплен рычаг 5; механизма давления 6, предназначенного для нагружения свариваемых элементов с заданным усилием и включающего держатель 7 сварочнЬго инструмента 3; привода 8, кулачки которого установ®О лены на распределительном валу 9. Привод 8 установлен неподвижно на станине 10.

К станине 10 прикреплен рычаг 11, качающийся на оси 12, один конец которого связан с приводом 8, а на втором шарнир но закреплены на оси 13 механизм давлейия 6 и рычаг 14. От привода 8 рычаг 14 через винт 15 передает движения механиз» му давления 6, осушествляя перемешения сварочного инструмента в вертикальном направлении.

На станине закреплен также регулируемый упор 16.

Механизм обкатки 2 состоит из подвижных опор 17 и 18 и копиров 19, 20, 21.

Подвижные опоры закреплены на корпусе микроманипулятора 4, а копиры - на консолях 22 станины 10. Опора 17 имеет две рабочие поверхности, одна из которых выполнена в виде рейки и входит в зацепление с зубчатым копиром 20. Профиль копиров подобен профилю. сварочного инструмента, Пружины 23 служат для силового замыкания подвижных опор 17 и 18 с копирами

19, 20, 21.

Присоединение выводов изделия 24 к плате осуществляется следующим образом.

Обрабатываемое изделие 24 устанавливается на предметный столик микроманипулятора 4. При отведенном сварочном инструменте 3 ручкой манипулятора 4 совмешают изображение выводов обрабатываемого изделия с шаблоном на экране проектора 1.

Включают привод 8, и от кулачка рычаг 11 поворачивается на оси 12 до упора 16, который выставлен так, чтобы при опускании З> сварочного инструмента последний попадал на выводы микросхемы. Затем от привода 8 рычаг 14 поворачивается на оси 13,через винт 15 передает движение механизму давления 6, и сварочный инструмент 3 опуска-: 35

er< я на выводы микросхемы, сообшая задан» ное давление.

Одновременно с перемещениями сварочного инструмента от кулачка привода Я.через рычаг 5 происходит ускоренный поворот 0, микромайипулятора 4 с обрабатываемым изделием 24 в крайнее наклонное положение.

11ри этом опоры 17, 18, установленные на микроманипуляторе 4, перекатываются по

"копирам 19 и 21, а от смешения удерживаются за счет зубчатого зацепления копира 20 с опорой 17.

При дальнейшем вращении распредели тельного вала 9 в момент касания микросхемы инструментом 3 микроманипулятор 4 с обрабатываемым изделием через рычаг 5 от кулачка привода 8 поворачивается равномерно из одного крайнего положения в

,другое, а выводы микросхемы перекатываются по рабочим поверхностям инструмента 3, и происходит поочередная приварка их.

После присоединения выводов сварочный инструмент рычагами 14 и 11 поднимает.ся и отводится в исходное положение, а обрабатываемое изделие вместе с микроманйпулятором 4 устанавливается горизонтально. Совмещается новый прибор изделия, и цикл повторяется. Таким образом, введение механизма обкатки позволило устранить проскальзывание инструмента по присоединяемым выводам, упростить кинематическую схему установки и улучшить качество присоединения, Предмет изобретения

Установка для микросварки, содержашая размещенные на станине механизм давления, держатель сварочного инструмента, оптическое устройство, микроманипулятор и привод, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью повышения качества микросварки путем устранения проскальзывания сварочного инструмента, она снабжена механизмом обкатки, выполненным в виде закрепленных; на микроманипуляторе подвижных опор, взаимодействуюших с консольно установленными на станине копирами, при этом подвижные опоры кинематически связаны с приводом, а профиль копиров соответствует профилю сварочного инструмента.

452459

22

Изд. № 7;9 (1ираж 944 11одписное

1111Ш(!1И Государственного комитета Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

111иднриятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская @аб., 24

Составитель Г.Фадеева

1 с.(актор В.СмиРЯГииаГехред 1,1 УР"дк Корректор

Л.Б ахиииа