Способ щлифования и доводки пластин из пъезоэлектрических материалов

 

О П И С А Н И Е (и) 457586

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 26.02.73 (21) 1886293/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.01.75. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 12.03.75 (51) M. Кл. В 24b 37/04

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.923.04 (088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения Б. И. Камка, Ю. В. Пантелюшкин, А. В. Балыков и П. С. Старшинов (71) Заявитель! (Б4) СПОСОБ ШЛИФОВАНИЯ И ДОВОДКИ ПЛАСТИН!

ИЗ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ где d — толщина пластины, Изобретение может быть использовано для шлифования и доводки пластин из пьезоэлектрических материалов при изготовлении пьезоэлектрических кварцевых фильтров.

Известны способы шлифования и доводки пластин из пьезоэлектрических материалов абразивами в свободном или связанном состоянии на доводочных станках.

Предлагаемый способ отличается тем, что на обрабатываемые пластины в процессе до- 10 водки воздействуют переменным электрическим напряжением, причем частоту этого напряжения выбирают с учетом толщины обрабатываемых пластин. Это обеспечивает интенсификацию процесса доводки за счет сообще- 15 ния пластинам механических колебаний.

Механические колебания пьезопластины наиболее интенсивны, если частота внешнего напряжения f равна резонансной частоте обрабатываемой пьезопластины. 20

Частота пьезопластины кварца зависит от ее толщины d и выражается формулой от 1,6 до 3,6 ! т

25 где d — толщина пьезопластины, мм.

В связи с тем, что в процессе доводки пьезопластин с них постоянно удаляются слои материала, их толщина все время меняется (умепьшается). Поэтому с целью поддержа- .30 ния в процессе доводки максимальных механических колебаний обрабатываемых пьезопластин частоту внешнего напряжения, подаваемого на пьезопластины, изменяют в соответствии с изменением их толщины.

Под действием напряжения, передаваемого через доводочные диски на расположенные между ними обрабатываемые кварцевые пьезопластины, в последних возбуждаются механические колебания, которые в сочетании с основными рабочими движениями пьезопластин относительно доводочных дисков интенсифицируют процесс финишной доводки.

Предмет изобретения

Способ шлифования и доводки пластин из пьезоэлектрических материалов абразивами в свободном или связанном состоянии на доводочных станках, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью интенсификации процесса обработки за счет сообщения пластинам механических колебаний, на обрабатываемые пластины воздействуют переменным электрическим напряжепием, причем частоту этого напряжения выбирают с учетом толщины обрабатываемых пластин по формуле от 1,6 до 3,6 ! х

Способ щлифования и доводки пластин из пъезоэлектрических материалов 

 

Похожие патенты:

Притир // 2119422
Изобретение относится к технологии абразивной обработки и может быть использовано преимущественно на операциях доводки, а также шлифования и полирования плоских, плоскопараллельных, цилиндрических и сферических поверхностей

Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра

Изобретение относится к обработке шлифованием или полированием поверхности тонких хрупких пластин, применяемых, в частности, для производства электронных изделий, например кремниевых и сапфировых

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для притирки (доводки) плоских поверхностей деталей, например, уплотнительных поверхностей деталей запорной трубопроводной арматуры (золотника вентиля, клина задвижки) как в процессе производства, так и при ее ремонте

Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление
Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов

Изобретение относится к области обработки поверхностей сапфировых подложек шлифованием

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано для абразивной обработки плоскопараллельных поверхностей разнообразных машиностроительных деталей
Наверх