Прибор для измерения толщины прозрачных пластин

 

О П И С Ф -"н4Ф.: Ё

ИЗОБРЕТЕНИЯ (111 457876

Союз Советских

Социалистических

Республик

К ЕТОРСИОМУ СВИДЕтЕЛЬСтВ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.12.72 (21) 1863048/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.01.75. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 18.03.75 (51) М. Кл. G 01Ь 11/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 531.71(088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

А. А. Бялик, С. И. Кадлец и А. Д. Рифтин (71) Заявитель

Киевский филиал Всесоюзного научно-исследовательского и проектно-конструкторского института по автоматизации промышленности строительных материалов (54) ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПРОЗРАЧНЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к устройствам автоматического контроля и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины прозрачных пластин.

Известен прибор для измерения толщины прозрачных пластин, содержащий газоразрядный источник света с блоком управления световым лучом и оптическую систему, расположенные по одну сторону от измеряемой пластины, фотоприемники, установленные на базовом расстоянии друг от друга по другую сторону измеряемой пластины, и регистратор временного интервала.

Предложенный прибор отличается тем, что он снабжен блоком управления световым лучом, выполненным в виде генератора сантиметровых волн периодически изменяемой частоты и источником света, выполненным в виде помещенных в прозрачный балон двух протяженных электродов.

Это позволяет повысить быстродействие, надежность и уменьшить динамическую погрешность прибора.

На чертеже представлена принципиальная схема устройства.

Оно содержит прозрачный баллон 1, наполненный смесью инертных газов, двухпроводную линию 2, генератор 3 переменной частоты, точки 4 локального газового разряда, оптическую систему 5, прозрачную пластину 6, фотоприемники 7 и 8 и регистратор 9 временного интервала между сигналами фотоприемников.

При питании двухпроводной линии 2 от ге5 нератора 8 переменной частоты сантиметровых волн в пучности электрического поля возникает локальный газовый разряд в виде светящейся точки 4, якрость и спектральный состав излучения которого определяются соста10 вом заполняющего баллон газа, его давлением, мощностью, подводимой к двухпроводной линии, и ее конструктивными особенностями.

Изменение частоты генератора 3 по пилообразному закону, т. е. линейно, вызывает пе15 ремещение разряда вдоль двухпроводной линии с постоянной скоростью.

Изображение сканирующей светящейся точки 4 газового разряда с помощью оптической системы 5 посылается на прозрачную пласти20 ну 6 и после преломления поочередно попадает на фотоприемники 7 и 8, установленные по другую сторону контролируемой прозрачной пластины. Импульсы напряжения, возникающие при этом на фотоприемниках, поступают

25 в регистратор временного интервала 9. При постоянстве закона изменения частоты генератора сантиметровых волн частота сканирования и геометрическое место расположения газового разряда в двухпроводной линии оста30 ются постоянными и интервал времени между

457876

Предмет изобретения

Составитель И. Костюк

Редактор Л. Народная Техред Т. Миронова Корректор Л. Денисова

Заказ 606/14 Изд. № 364 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 сигналами фотоприемников зависит только от толщины прозрачной пластины.

При изменении толщины контролируемой прозрачной пластины, например при ее увеличении, уменьшается скорость прохождения луча света между фотоприемниками и, соответственно, временной сигнал между импульсами фотоприемников увеличивается на величину, пропорциональную приращению толщины.

Прибор для измерения толщины прозрачных пластин, содержащий газоразрядный источник света с блоком управления световым лучом и оптическую систему, расположенные по одну сторону от измеряемой пластины, фотоприемники, установленные на базовом рас5 стоянии друг от друга по другую сторону измеряемой пластины, и регистратор временного интервала, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения динамической погрешности, блок управле10 ния световым лучом выполнен в виде генератора сантиметровых волн периодически изменяемой частоты, а источник света — в виде помещенных в прозрачный баллон двух протяженных электродов.

Прибор для измерения толщины прозрачных пластин Прибор для измерения толщины прозрачных пластин 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх