Устройство для получения многократных изображений объекта

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ р 463940 союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.11.73 (21) 1975896/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.03.75. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 1б.07.75 (51) М. Кл. G 03с 9/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий (53) УДК 772,99(088.8) (72) Авторы изобретения

Л. Н. Гусев и Б. В. Телешов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОКРАТНЫХ

ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к области оптического приборостроения.

Известны устройства для получения многократных изображений объекта, содержащие осветитель с конденсором, коллиматорным и проекционным объектами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой.

Недостатком известного устройства является взаимное перемещение светочувствительного слоя и объекта.

Цель изобретения — устранение взаимных перемещений светочувствительного слоя и объекта, что, в свою очередь, является предпосылкой для повышения качества и производительности труда при производстве интегральных схем.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве при неподвижных объектах и светочувствительном слое между коллиматорным и проекционным объектами осветителя установлена призменная система Порро второго рода с возможностью перемещения совместно с проекционным объективом осветителя вдоль одной координатной оси объекта, причем одна из призм системы тесно связана с проекционным объективом осветителя и установлена с возможностью перемещения относительно второй призмы системы вдоль другой координатной оси объекта.

На чертеже изображена аксонометрия принципиальной оптической системы предлагаемого устройства.

Устройство включает в себя источник 1 света, конденсор 2, круглую диафрагму 3, коллиматорный объектив 4 осветителя, прямоугольные призмы 5 и б полного внутреннего отражения, представляющие систему

Порро второго рода, проекционный объектив

7 осветителя, размножаемый объект 8, объектив 9 коллиматора, оптический растр 10 и светочувствительный слой 11.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Изображение зоны разряда источника 1 света передается двухлинзовым конденсором

20 2 в плоскость круглой диафрагмы 3, перекрывая апертуру последней. Круглая диафрагма 3 находится в передней фокальной плоскости коллиматорного объектива 4 осветителя.

25 Таким образом, гомоцентрический световой поток, пройдя диафрагму 3, выходит из коллиматорного объектива 4 параллельным пучком и, пройдя призменную систему 5 и б

Порро второго рода и проекционный объек30 тив 7 осветителя, формирует в плоскости

468940

Состава:ель Е. Хааатова

Тсхред T. Миронова

Корректор Л. Денисова

Редактор И. Шубина

"а газ 1885 16 Изд. ¹ 1219 Тираж 529 Подгисное

ЦНИИПИ Государственного ":î;,:итстcl Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий

Москва, К-85, аушскан наб., д. 4/5

Тн ографи.-, l::. Сапунова, 2 объекта 8 четкое изображение круглой диафрагмы 3.

Объект 8 установлен в передней фокальной плоскости объектива 9, в непосредственной близости ".а которым расположен многолинзовый оптический растр 10; в фокальной г,, оскости оптического растра 10 размещен светочувствительный слой 11.

Световой поток, пройдя сквозь прозрачный объект 8, заполняет полностью апертуру зрачка входа объектива 9, выходя из которого параллельный световой поток полностью перекрывает все линзы оптического растра 10.

Таким образом, в фокальной плоскости последнего, на поверхности светочувствительного слоя 11, получается множество изображений некоторой малой зоны объекта 8. Количество изображений на поверхности светочувствительного слоя 11 соответствует числу линз применяемого оптического растра 10.

Для того, чтобы получить множество идентичных изображений всего объекта 8 в плоскости светочувствительного слоя 11, призменную систему 5 и 6. Порро второго рода совместно с проекционным объективом 7 осветителя выполняют подвижной. Проекционный объектив 7 осветителя жестко связан с призмой 6 системы Порро.

В процессе экспонирования светочувствительного слоя 11 происходит механическое сканирование изображения диафрагмы 3 по всей поверхности объекта 8. В процессе сканирования призменная система Порро и проекционный объектив 7 осветителя перемещаются вдоль координатной оси Х на вели4 чину, несколько большую ширины объекта 8.

После этого призма 6 и жестко связанный с ней проекционный объектив 7 перемещаются скачком на некоторую дискретную вели5 чину (задается конструктивно) шага вдоль координаты У. Затем продолжается плавное совместное перемещение системы 5 и 6 Порро и объектива 7 в обратную сторону вдоль координаты Х. Конструктивные параметры

1о проекционного объектива 7 осветителя выбраны так, что апертура входного зрачка объектива 9 коллиматора в процессе сканирования постоянно перекрыта световым полем гомоцентрического потока, формируемо15 го проекционным объективом осветителя.

Предмет изобретения

Устройство для получения многократных изображений объекта, содержащее осветитель с конденсором, коллиматорным и проекционным объективами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества изображения, между коллиматорным и проекционным объективами осветителя установлена призменная система

Порро второго рода с возможностью перемещения совместно с проекционным объекти8О вом осветителя вдоль одной координатной оси объекта, причем одна из призм системы жестко связана с проекционным объективом осветителя и установлена с возможностью перемещения относительно второй призмы

85 системы вдоль другой координатной оси объекта.