Шлюзовое устройство

Авторы патента:

C23C13/08 - Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M 11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q 1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C 17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<и> 490872

Свае Советских

Социалистических

Республик л,»"

».

1»» (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.04.73 (21) 1914809/26-21 (51) М. 1хл. С 23с 13/08 с присоединением заявки №

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УД1 621.793.14.002. .52 (088.8) Опубликовано 05.11.75. Бюллетень ¹ 41

Дата опубликования описания 05.02.76 (72) Авторы изобретения

В, А. Пупко, В. В. Одиноков, В. Е. Минайчев и В. А. Михневич (71) Заявитель (54) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО

ГосУдаРственный комитет (23) Приор»итет

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме.

Известно шлюзовое устройство, содержащее вакуумплотный корпус с боковыми откачиваемыми полостями, ротор с гнездами для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки по периметру корпуса. Однако это устройство сложно в изготовлении, так как оно снабжено системой патрубков, с помощью которых изменяется давление в камере промежуточной откачки.

В предлагаемом шлюзовом устройстве с целью упрощения конструкции и уменьшения натекания воздуха во внутренней стенке корпуса выполнены продольные каналы, сообщающиеся с боковыми откачиваемымп полостям п.

На фиг. 1 представлено данное устройство, поперечный разрез; на фиг. 2 вЂ” разрез по

А вЂ” А.

Устройство состоит из вакуумного корпуса

1 с торцовыми крышками 2 и 3, ротора 4 с гнездами 5 для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки в виде продольных каналов 6 и 7 во внутренней стенке корпуса камеры, сообщающихся с боковыми откачиваемыми полостями, патрубка для откачки 8, уплотнительного устройства 9.

Ротор с продольными каналами 10 образует с корпусом щелевой зазор, а в верхней части корпуса находятся окно 11 загрузки транспортируемых изделий и окно 12 выгрузки их в

5 вакуумную камеру 13 (показана пунктиром).

Устройство работает следующим образом.

Из окна загрузки 11 изделия попадают в гнездо 5 ротора. Прп вращении ротора загрузочное гнездо с изделием подводится к про10 дольному каналу 6 или 7 камеры промежуточной откачки, где происходит откачка воздуха в гнездах ротора, а затем при очередном повороте на 90 изделие подается в вакуумную камеру. Освободившееся от изделий гнездо в

15 обратной последовательности проходит мимо каналов промежуточной откачки и. подойдя к окну 11, загружается снова.

Через патрубок для откачки 8 постоянно удаляется часть воздуха, поступающего в бо20 ковые полости, соединенные продольными каналами 6 и 7 и каналами 10 в роторе 4.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство, содержащее вакуум25 плотный корпус с боковыми откачиваемыми полостямн, ротор с гнездами для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и уменьшения нате490872 дольные каналы, сообщающиеся с боковыми откачиваемыми полостями. г о у

i /

A-A

Составитель Д. Белый

Техред И. Семенов

Редактор Б, Федотов

Корректор Л. Денискина

Заказ 32/17 Изд. № 92 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Я-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, гр. Сапунова, " кания воздуха через шлюзовое устройство, во внутренней стенке корпуса выполнены про.J

-а.д г

::3