Микроманипулятор

 

О П И С А Н И Е о ) 493053

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Респубпик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.12.73 (21) 1984311/26-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) M. Кл.

Н 05k 3/00

С 03в 7/12 тт 25) 7/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений,н открытий (43) Опублнковано25.11,75 Бюллетень № 4 (53) УДК 621.396.6. .002.5(088.8) (45) Дата опубликования описания 23.О2.76 (72) Авторы изобретения И. N. Семенов, Н. П. Замбровский и В. М. Медников (71) Заявитель (54) МИКРОМАНИПУЛЯТОР

Изобретение относится к радиотехнике, в частности, к устройствам для препиэионного совмещения при изготовлении полупроводниковых микросхем.

Известны микроманипуляторы, содержа- 5 щие пластинодержатель, механизм перемещения пластинодержателя в двух взаимно перпендикулярных в горизонтальной плоскости направляющих, механизм поворота пластин вокруг вертикальной оси, механизм 10 перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости, снабженный направляюшими и выполненный в виде ползуна, кинематически соединенного с микрометрическим винтом, и клинообразной пластины, 1а тормозной элемент и приводной механизм.

Цель изобретения — повышение плавности изменения зазора совмещения.

Это достигается тем, что механизм перемещения пластинодержатедя в вертикальной плоскости снабжен размещенным в направляющих толкателем и двуплечим рычагом, одно плечо которого взаимодействует с приводным механизмом, а другое - с толкателем посредством тор- !

2 мозного элемента, причем толкатель кинематически соединен с микрометрическим винтом посредством клинообразной пластины и с полэуном.

На фиг. 1 изображен общий вид микроманипулятора; на фиг. 2 — механизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости; на фиг, 3 — фиксатор верхнего положения (разрез по А-A)

Микроманипулятор содержит пластинодержатель 1, механизм перемещения пластинодержателя в двух взаимно перпендикулярных в горизонтальной плоскости направляющих 2, механизм поворота пластины вокруг вертикальной оси 3 и механизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости 4. На чертежах изображен также шаблонодержатель 5 и фотошаблон 6.

Механизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости состоит из ползуна 7, на котором закреплен пластинодержатель 1, выполненный в виде по1 лусферы, Полэун представляет собой цилиндр, снабженный возвратной пружиной 8.

4.93О53

Шток 9 пневмоцилиндра служит для перемешения полэуна 7 вверх при помощи сжатого воздуха, подаваемого через штуцер

10. На штоке 9 жестко закреплен кронш- 5 тейп 11 с вмонтированным в него микро-. метрическим винтом 12. На нижней площадке кронштейна 11 в направляющих установлена клинообразная пластина 13, поджимаемая постоянно к микрометрпче10 скому винту 12 пружиной 14. К скосу клинообразной пластины 13 поджата плоская пружина 1 5, на плоскости которой размешен свободно установленный в направляюших толкатель 16, связанный с

15 кронштейном посредством пружины 17.

Толкатель 16 фиксируется в верхнем положении посредством тормозного элемента 18, поджимаемого к боковой поверхности толкателя двуплечим рычагом 19, для

20 перемешения которого служит пневмоцилиндр 20, а штуцер 21 служит для подачи сжатого воздуха в штоковую полость пневм оцилиндра 2 О, Зазор совмещения "Б" определяется

25 расстоянием между нижней плоскостью штока 9 и верхней плоскостью толкателя

l6.

Перед началом работы микроманипулятора полупроводниковая пластина 22 уклаЗО дывается на полусферический пластинодержатель 1, а фотошаблон 6 фиксируется на шаблонодержателе 5.

Через штуцер 10 в штоковую полость пневмоцилиндра подается сжатый воздух и . 35 шток 9 перемещается вверх, сообщая движение ползуну 7, на котором закреплен пластинодержатель 1, В результате пластина 22 прижимается к фотошаблону 6.

Вместе со штоком 9 перемешается также и кронштейн 11 с микрометрическим винтом 12, клинообразной пластиной 13 и толкателем 16.

После того как пластина 22 прижмется к фотошаблону 6, через штуцер 21 подается сжатый воздух в штоковую полость цилиндра 20, который перемешает двуплечий рычаг 19 вокруг его оси. Рычаг 19 воздействует на тормозной элемент 18.

Последний прижимается к боковой поверхности толкателя 1 6 и фиксирует тем самым его положение.

Фиксированным положением толкателя 16 определяется зазор совмешения "Б".

Регулирование этого зазора осуществляется посредством микрометрического винта 12, который перемешает клинообразную пластину 13, а та в свою очередь через плоскую пружину 15 перемешает толкатель 16. При заворачивании микрометри-! ческого винта 12 зазор совмешения "Б" уменьшается,. при выворачивании — увеличи- ва ется.

Поскольку толкатель 16 находится в зафиксированном положении в момент при-. жатия пластины 22 к фотошаблону 6, то после подачи сжатого воздуха в штоковую полость пневмоцилиндра шток 9 опускается на величину "Б". В,это же время пружины 8 перемещают ползун 7 к штоку 9, благодаря чему между пластиной 22 и фотошаблоном 6 образуется зазор совмешения "Б".

Предмет изобретения Микроманипулятор, преимушественно для устройств прецизионного совмешения при изготовлении полупроводниковых микросхем, содержащий пластинодержатель, механизм пер ем ешения пластин о держателя в двух взаимно перпендикулярных в горизонтальной плоскости направляющих, механизм поворота пластин вокруг вертикальной оси, механизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости, снабженный направляющими и выполненный в виде попэуна, кинематически соединенного с микрометрическим винтом, и клинообразной пластины, тормозной элемент и приводной механизм, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения плавности изм енения зазора совмешения, м еханиэм перемешения пластинодержателя в верти-. кальной плоскости снабжен размещенным в направляющих толкателем и двуплечим рычагом, одно плечо которого взаимодействует с приводным механизмом, а другое с толкателем посредством тормозного элемента, причем толкатель кинематически соединен с микрометрическим винтом посредством клинообразной пластины и с ползуном.

493О53

А-А

Составитель H Биинкова

Редактор О ТехредЕ.Подурушина КоРРектоР Л.Брахнина

О.С тенина аз /ф Из, 1@, Тираж

Подписное

Ц111!И11И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

1.(рсднриятис «Патент», Москва, Г-59, Бережковская иаб., 24