Сорбционный вакуумный насос

Авторы патента:

МИКУЛИН ЕВГЕНИЙ ИВАНОВИЧ

БАКАСТОВ ВИКТОР ВИКТОРОВИЧ

F04B37/02 - для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции (абсорбция или адсорбция вообще B01J)

503С41

Составитель H. Юшин

Редактор А. Пейсоченко Техред E. Подурушина Корректор Л. Орлова

Заказ 705/6 Изд. Л" 1096 Тираж 830 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 насоса установлены диафрагмы, имеющие тепловой контакт с cеткамп, по,1держивающими сорбент.

2. Насос по п. 1, отличающийcÿ тем, что, с целью уменьшения теплопритока к ди. афрагме, шток насоса выполнен в виде трубки, заполненной теплоизоляционным материалом.

Вакуумный сорбционный насос // 493561

Адсорбционный насос // 468030

Вакуумная установка // 463803

Анод магниторазрядного насоса // 453757

Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия // 452678

Сорбционный вакуумный насос // 452677

Криоадсорбционный насос // 449172

Вакуумный сорбционный насос // 447521

Сорбционная ловушка для механических' и паромасляных диффузионных вакуумныхнасосов // 434185

Адсорбционный насос // 2101564

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Модуль и система геттеронасоса // 2138686

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Геттерный насос квантового водородного генератора // 2183768

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Адсорбционный насос // 2186248

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Газопоглотительный насос // 2186249

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Адсорбционный насос // 2187694

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187695

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187696