Кассета для полупроводниковых кристаллов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<п> 505057
Воюю советских
Ьоциалистических
Республик
+ ( (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.12.70 (21) 1499703/26-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опубликовано 28.02.76. Бюллетень № 8
Дата опубликования описания 28.04.7б (51) М. Кл Н OIL 25!10
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открыт»» (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения А. М. Шанов, И. Г. Салахутдинов, Г. В. Назаров, А. В. Соколов, А. Н. Царьков и Ю. А. Медведев (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ
Изобретение может применяться при производстве полупроводниковых приборов.
Известны кассеты, содержащие магазин в виде шахты с внутренней поверхностью по форме дета.ти с поршнем, применяемые при загрузке и выдаче деталей.
Однако такие кассеты сложны по конструкции и не пригодны для мелких деталей, например полупроводниковых кристаллов размером 0,7к,0,7. Кроме того, в такой кассете не предусмотрен визуальный контроль за качеством укладки и выдачи деталей. Особенно необходим контроль при переносе кассеты с операции на операцию и в случаях, когда кассета загружена неполностью, В описанной конструкции кассеты при неполной загрузке перенос кассеты с операции на операцию возмо кен только при дополнительной фиксации поршня или вместе с приводом.
Применение привода ведет к ошибке при перемещении поршня с деталями из-за допусков механической передачи, что особенно сказывается на надежности работы кассеты при малых толщинах деталей, например 0,1—
0,2 мм.
Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение надежности в работе.
Это достигается тем, что в предлагаемой кассете поршень и хотя бы одна из стенок магазина выполнены из ферромагнитного материала и намагничены, а другая стенка кассеты выполнена из прозрачного материала.
Магнитный поршень за счет магнитных сил притягивается к стенке кассеты. При загрузке кассеты поршень под воздействием детали, находящейся на устройстве укладки, перемещается точно на толщину детали. В такой кассете возможна неполная загрузка, так как поршень фиксируется в любом положении за счет магнитных сил притяжения.
При поштучной выдаче деталей поршень также перемещается (например, под воздействием импульса сжатого газа) до упора, например до устройства поштучной выдачи, и при этом толщина детали не влияег на работу кассеты. Выполнение одной или нескольких стенок прозрачными позволяет визуально контролировать загрузку и выдачу деталей, а также состояние деталей при переносе кас20 сеты с операции на операцию.
На фиг. 1 схематически изображена предлагаемая кассета, общий вид; на фиг. 2— разрез по A — Л на фиг. 1.
Кассета состоит из магазинного накопите26 ля 1 с внутренним отверстием 2 по форме детали, магнитного поршня 3, выполненного по форме внутреннего отверстия накопителя, устройства 4 для загрузки и поштучной выдачи деталей 5, представляющего собой, напри30 мер, вакуумный пинцет. Магазин-накопитель
Д р g
Составитель H. Островская
Редактор Е, Караулова Техред М, Семенов Корректор T. Гревцова
Заказ 907/14 Изд. № 1146 Тираж 977 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4у5
Типография, пр. Сапунова, 2 состоит из прозрачных стенок 6 и стенок, выполненных из ферромагнитного материала 7.
Кассета работает следующим образом.
Устройство 4 с деталью 5 опускается на магазин-накопитель так, что деталь 5 совпадает с отверстием 3. При этом деталь 5, находящаяся на торце вакуумного пинцета, проталкивает столбик деталей 5, находящихся на поршне 3 на велич11ну, равную толшине самой детали 5. После загрузки кассеты необходимым количеством деталей 5 она переносится на операцию поштучной выдачи. При этом поршень 3 зафиксирован относительно ферромагнитных стенок кассеты за счет магнитных сил притяжения. При поштучной выдаче деталей 5 устройство 4 опускается на накопитель 1, поршень перемещается (например, под воздействием импульса сжатого газа) до тех пор, пока верхняя деталь 5 не коснется устройства 4, которое захватывает деталь и переносит в необходимое место, При этом давление газа снято, и поршень 3 удерживается за счет магнитных сил притяжения, сохраняя столбик деталей в положении, готовом к выдаче следующей детали.
Формула изобретения
Кассета для полупроводниковых кристал10 лов, содержащая магазин в виде шахты с внутренним отверстием по форме кристалла, поршень для фиксации деталей в заданном положении, устройство для загрузки и поштучной выдачи деталей из магазина-накопи15 теля, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности в работе, поршень кассеты и хотя бы одна из стенок магазина выполнены из ферромагнитного материала и намагничены.
