Магниточувствительный элемент
МАГНИТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕ- ' МЕНТ, содержащий прямоугольную полупроводниковую пластину с двумя токовыми электродами на противоположных торцах, область повышенной скорости рекомбинации носителей тока на одной из граней пластины и изолированный слоем диэлектрика, управляющий электрод, отличают-и и* с я тем, что, с целью расширения динамического диапазона, управляющий электрод расположен на одной из граней полупроводниковой пластины; перпендикулярной направлению действующего магнитного поля, и грани с областью повышенной скорости рекомбинации носителей тока, причем торцы пластины снабжены омическими контактами.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
F ЕСПУБЛИК (19) (И) M5)) G 01 R 33 00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 1982535/26-25 (22) 02.01.74 (46) 07.11.83. Бюл. 9 41 (72) K,К.Сталерайтис, В.П.Жебрюнайте, И.С.Левитас, Ю.К.Ножела и A.Â.Pàãàóñêàñ (71) Институт физики полупроводников Литовской CCP (53) 621.382(088.8) (54)(57) ИА1 НИТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, содержащий прямоугольную полупроводниковую пластину с двумя токовыми электродами на противоположных торцах, область повышенной скорости рекомбинации носителей тока на одной из граней пластины и изолированный слоем диэлектрика. управляющий электрод, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью расширения динамического диапазона, управляю" щнй электрод расположен на одной из граней полупроводниковой пластины; перпендикулярной направлению действующего магнитного поля, и грани с областью повышенной скорости рекомбинации носителей тока, причем торцы пластины снабжены омическими контактами.
505219
Составитель
Редактор Зубиетова Техред Л.Мартяшова Корректор Л.Патай
Тираж 710 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 10827/1
Филиал ППП Патент, r.Óæãoðoä, ул.Проектная, 4
Изобретение относится к магнита чув стви тельным полупроводниковым элементам и может быть использовано в области измерения магнитных полей, а также в автоматике и измерительной технике. 5
Известен магниточувствительный элемент с электрически управляемой чувствительностью, содержащий прямоугольную полупроводниковую пластину с двумя токовыми торцами .на про- 18 тивоположных концах, область повышенной скорости рекомбинации носителей тока на одной из граней пластины и изолированный слоем диэлектрика управляющий электрод. 15
В известном элементе ограничен динамический диапазон, так как вследствие режима двойной инжекции, при котором элемент чувствителев к магнитному полю, изменение поверхностной рекомбинации на грани с электродом сильно влияет на концентрацию неравновесных (инжектированных) носителей тока как при наличии магнитного поля, так и б .з него. 25
Целью изобретения является расширение динамического диапазона элемента.
Поставленная цель достигается теМ, что управляющий электрод расположен на одной из граней полупроводниковой пластины, перпендикулярной направлению действующего магнитного поля, и грани с областью повышенной скорости рекомбинации носителей тока, причем торцы элемента имеют омические контакты.
На чертеже дано схематическое иэображение магниточувствительного элемента.
Прямоугольная полупроводниковая пластина 1 содержит приложенный к грани 2 через слой диэлектрика 3 металлический электрод 4. Перпендику-. лярная грани 2 грань 5 имеет область б с большой скоростью рекомбинации носителей тока. Торцы пластины имеют омические контакты 7 и 8.
При помещении элемента в магнитное поле Н, направление которого перпендикулярно .грани 2 с электродом, и пропускании через него электрического тока, в направлении грани 5 с областью большой скорости рекомбинации возникает сила Лоренца и происходит отступление концентрации носителей така от равновесной. Величина средней неравновесной концентрации тока, определяющая магниточувствительность элемента, зависит от скорости поверхностной рекомбинации на грани 2, управляемой напряжением на металлическом электроде. Вследствие омического режима сопротивление элемента изменяется от напряжения на электроде только при наличии магнитного поля, так как без него неравновесные носители отсутствуют. Этим расширяется динамический диапазон элемента.
