Устройство для изготовления интерференционных фильтров

 

ОПИСАНИ

ИЗОБРЕТЕН И

Сове Севетскик

Сециавистических

Реоаублик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.05.73 (21) 1913433/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.04.76. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 21.06.76

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

А. П. Лаврищев, Е. В. Дюбайло и В. А. Гендин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ФИЛЬТРОВ

Изобретение относится к области изготовления многослойных оптических покрытий.

Известны устройства для изготовления интерференционных фильтров, содержащие вакуумную камеру и установленные в ней подложкодержатель, выполненный в виде диска, несущего на себе несколько концентрических рядов оптических подложек, совершающих планетарное вращение, источник испаряемых веществ и фотометр со сменными фильтрами и с приемным устройством.

Однако известные устройства не позволяют контролировать с большой точностью толщину наносимых слоев каждого ряда подложек.

Для контроля толщины наносимых слоев каждого ряда подложек и повышения точности контроля перед подложками установлены экранирующие лепестки, кинем атически связанные с приводным механизмом, а приемное устройство фотометра установлено в направляющих с возможностью перемещения и фиксирования в точках, расположенных против каждого ряда подложек.

На чертеже представлена конструкция устройства для изготовления интерференционных фильтров.

Устройство содержит подложки 1 и 2, подложкодержатель 3, шестерню-оправу 4, диск

5 с концентрическими рядами отверстий, шестерню 6, экранирующий лепесток 7, испаряемое вещество 8 с низким показателем преломления, испаритель 9, вращающийся ввод 10, приемное устройство 11 фотометра, кассету

12, контрольные узкополосные фильтры 13 и

)4, фотоприемник 15, ввод 16 вращения в вакуум, испаряемое вещество 17 с высоким показателем преломления, шестерни 18 и 19, лампы 20 накаливания, неподвижные шестерни 21 и 22 и фиксатор 23.

1о Работает устройство следующим образом.

После зарядки подложек 1 и 2 в подложкодержатели 3 и шестерни 4, а испаряемых веществ в испаритель 9 вакуумная камера, в которой находится устройство, откачивается вакуумными насосами до давления 10 — "" мм рт. ст. Приемное устройство фотометра устанавливается в положение, при котором контролируется толщина пленок, наносимых на подложки 1, а экранирующие лепестки 7 отводятся внутрь, открывая эти подложки. Далее включается двигатель, приводящий через ввод

16 и систему шестерен 6, 18 во вращение диск 5.

При вращении диска 5 шестерни 19 и 4 об25 катываются по неподвижным шестерням 21 и

22, в результате чего подложки 1 и 2 совершают планетарное вращение вокруг оси испар я е мого в ещ ест в а 17.

После этого устанавливают перед фотопри30 емником 15 контрольный узкополосный

512447 фильтр 14 на длину волны Ль включают лампы накаливания и ведут измерение коэффициента пропускания подложек 1 в процессе испарения вещества 17 с высоким показателем преломления (например ZnS). По мере роста толщины пленки коэффициент пропускания уменьшается и достигает минимального значения при оптической толщине пленки n =

= Л /4.

В этот момент подложки 1 перекрывают экранирующими лепестками 7 и выключают испаритель вещества 17. Далее приемное устройство фотометра устанавливают в положение, при котором ведется контроль толщины пленок, наносимых на подложки 2. Включается испаритель 9, и на подложки 2 наносят дополнительный слой вещества до тех пор, пока оптическая толщина пленки не станет равной Лi/4, Аналогично осуществляют напыление на подложки 1 и 2 пленки вещества 8 с низким показателем преломления, предварительно установив его с помощью вращающегося ввода 10 на оси вращения диска 5.

Формула изобретения

5 Устройство для изготовления интерференцпонных фильтров, содержащее вакуумную камеру и установленные в ней подложкодержатель, выполненный в виде диска, несущего на себе несколько концентрических рядов оп10 тических подложек, совершающих планетарное вращение, источник испаряемых веществ и фотометр со сменными контрольными фильтрами и с приемным устройством, о тл и ч аю щ е е с я тем, что, с целью контроля толщи15 ны наносимых слоев каждого ряда подложек и повышения точности контроля, перед подложками установлены экранирующие лепестки. кинематически связанные с приводным механизмом, а приемное устройство фотомет20 ра установлено в направляющих с возможностью перемещения и фиксирования в точках, расположенных против каждого ряда подложек.

512447

Составитель В. Белоусов

Редактор Т. Рыбалова Техред А. Камышникова Корректор О. Тюрина

Заказ 1357j8 Изд. М 1365 Тираж 654 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2