Тепловой манометр

 

513283

Фяя /

Составитель О, Полев

Редактор О. Филиппова Техред М, Ликович KoppBKTopj С. Болдижар

=:.

Заказ 981/60 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и откоытий

113О35, Москва, Ж-35, Рау.пская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент",г, Ужгород„ул. Проектная,4 электроды 3> служашие для его возбуждали и пленочный нагреватель 4. Пьезоэлемент

2, закрепленный на основании Г, помешен в корпус 5, имеюший вакуумплотное соединение с основанием T. Выводы 6 и 9 подключаются к стабилизированному источнику питания, а 7 и 8 — к генератору возбуждения кварцевого резонатора (пьезоэлементу 2), Градуировку манометра осуществляют следуюшим образом.

Манометр монтируется на гребенку высоковакуумного „. откачного поста совмесч но с одним иэ известных приборов для измерения вакуума. На выводы 6 и 9 манометр ра (фиг. 1 подается напряжение от стабилиаированного источника питания„а ьыводы . 7 и S подключаются к кварцевому генератору, соединенному с измерителем частоты, например частотомером 43-12. Далее производят откачку и фиксируют изменения частоты пьезоэлемента 2. в зависимости от степени разряжения.

На основании полученных даных строит. ся градуировочная кривая, изображенная на фиг, 2. Определяется чувствительность манометра, составляюшая, например, при применении пьезоэлемента У g среза 2 частотой 5 мгц величину 10 мм рт. ст./кгц.

Измерение вакуума в динамическом режиме производится аны егично приведйнцому описанию градуировки прибора. При этом следует учесть, что температура окружаю. шей среды манометра должна поддерживаться с точностью не хуже + 0 1 С.

Формула изобретения

II 5 о

Тепловой манометр, содержаший корпус и расположенные в нем нагревательный и термочувствительный элементы,о т л и ч аю ш и и с я тем, что, с целью повышения х точности измерения давления в диапазоне

10 м 10 5 мм рт.ст,, в качестве термочувствительного элемента использован кварцевый пьезоэлемент У-среза.