Тепловой манометр
Союз Советских
Социалистических
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
psy838472 (61) Дополнительное н авт. сеид-ву 9 (22) Заявлено 301079 (21) 2835489/18-10 (Я)М. Кл.
G L 21/10 с присоединением заявки ¹
Государственный комитет
СССР но делам изобретений н открытий (23) Приоритет
Опубликовано 15.0631Ьюллетеиь Н9 22
Дата опубликования описания 15.0681 (53) УДК 531. 787 (088. 8) П. Н.. Аверьянов, Н.А. Рамзаева и К.К. Михайлор с
I (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ТЕПЛОВОЙ МАНОМЕТР
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к пьезорезонансным тепловым манометрам для измерения вакуума. 5
По основному авт. св. Р 513283, известен тепловой манометр, который содержит корпус, расположенные в Т нем нагревательный и термочувствительный элементы, где роль термочувствительного элемента выполняет кварцевый пьезоэлемент у — среза (1J.
Однако данное устройство характеризуется недостаточной чувствительностью пьезоэлемента, вызванной неравномерностью его температурного по- 1 ля.
Цель изобретения — повышение чувствительности пьезоэлемента.
Поставленная цель достигается тем, что нагревательный элемент выполнен в виде оболочки, а термочувствительный элемент расположен внутри нее.
На фиг. 1 схематично изображен тепловой манометр; на фиг. 2 - его градуировочная характеристика.
Манометр содержит корпус 1, сое-. диненный с измеряемым давлением, кварцевый пьезоэлемент у-среза 2, размещенный внутри нагревательного ЗО элемента 3, выполненного в виде сферической оболочки.
Манометр работает следующим образом.
К нагревателю 3 подводится постоянная мощность. При этом пьезоэлемент изолирован от измеряемого давления и находится в равномерном температурном поле, создаваемым сферическим нагревателем 3. Электроды пьезоэле ; мента не подвержены загрязнению и коррозии. При изменении давления изменяются условия теплообмена между находящимися в корпусе 1 разреженным газом и пьезоэлементом, что вызывает изменение резонансной частоты пьезоэлемента.
Чувствительность в диапазоне
5 -10 — 5-10 мм рт.ст. составляет не менее 200 кГц/мм рт.ст. при резонансной частоте f о = 5 МГц.
Использование предлагаемого пьезорезонансного теплового манометра
В позволяет повысить точность измерений, производительность труда и надежность получаемой информации. формула изобретения
Тепловой манометр по авт. св.
В 513283, отличающийся
838472 н.pm. tm.
Составитель 3. Крысанова
Техред C.Ìèãóíoâà Корректор С. Шекмар
Редактор С. Тимохина
Заказ 4413/62 Тираж 907
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Подписное
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 тем, что, с целью повышения чувствительности, нагревательный элемент выполнен в виде оболочки, а термочувствительный элемент расположен внутри нее.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
Р 513283, кл. G 01 L 21/10, 08.12.74 (прототип).
