Способ изготовления пластин на основе кремния

 

@с.

1 к 1 1 (ОП С (») 614621

Союз Соеетскма

Социалистинесиеея

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено30.08.74 (21) 2027969/23-26 с присоединением заявки №(23) Приоритет(43) Опублнковано28.08.76.Бюллетень ¹1Î г (45) Дата опубликования описания 04.06.76

2 (51) М. Кл.

В 01 .3 17/34

Гасударственный каннтет

Сената Инннсщав СССР аа делан нзабретеннй и аткрытнй (5З) ДК 548,58 (088,8) В, Е. 1 ригорьев и А, Л. Ивин (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗРЭТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИН НА ОСНОВЕ

КРЕМН ИЯ

"температурным беэ переплавления отиснт ом йозволяет создать прочную губчатую пластам ну с равномерно распределенным по объему галлием, Сформированная по предлагаемому способу пористая пластина обеспечивает получение стабильного давления пара галлия

4 над ее поверхностью.

Введение в состав смеси микропорошков gp тугоплавких металлов позволяет получить высокую температуру плавления смеси при значительно большем по сравнению с изв стным способом содержании в ней галлия.

Прессоввние смеси с последующим высокоИзобретение относится к способу изготовления пластин на основе кремния, которые находят применение в качестве источников паров химических алементов.

Известен способ изготовления пластин иа основе кремния, содержащего галлий, включающий нагрев смеси компонентов.

Цель изобретения - увеличить стабильность поверхностной KGHIleHTpallHH галлиа в tð пластине.

Это достигветса тем, что в смесь крем« ииФ-галлий вводят тугоплавкий металл из группы титан, молибден, тантал, никель, на- В о гревают ее до 100-300 С, прессуют при давлении 0,08-12,6 т см и отжигают при 1000-3000 С. о

Пример. При 250 С смешивают и .перетирают дозированные количества пороаКовых компонент пластины следуюшегс соо-. тввв; 0,11 г галлия, 0,14 г. никеля, 3,84г молибдена.

Гомогениэированную смесь загружают в прессформу и прессуюг под давлением 2,5 о т см и 250 С в течение минуты. Прес» сованную пластину извлекают изртресо-фор- ° мы и отжигвют в среде аргона при 1250 С в течение часа. Приготовляют прессован ные пластины различной толшины от 0,8мм до 2 мм и диаметром 35 мм - 40 мм. Тол. шнну пластины задают изменением величи ны нввески смеси, загруженной и поесоформу. ю 3 514621

b фкаэаииык условиях получены размеры"3 I Ф о р м у л а микропор фвимудественно в диапазоне

0,1 мкм » «120 мкм, Способ изг

Изготовленные по предлагаемому спосо- кремнии бу пластины иа основе кремнии мяогократ- а ванин и качеств йо использованы в качестве источника па- включаюпцгй ии ров галлии при сожании методом диФФузии о т л и ч а е легированных слоев в кремнии. еличении ста изобре r няи

Разброс значений удельного сопротивле ни% легированных слоев %&K ь одном ольь» те, так и as опыта в опыт яе превиаает

23%. отселении пластин на основе ер каыего галлий, для использо е источника паров галлии, и рев смеси компонентов, m a и с и тем, что, с пелыо ув бильности поверхиостно4 конаентрапии галлии, в смесь кремний-галлий

® вводит тугоплавкий металл из группы тятек, молибден, тантал, никель, нагревают ее до

100-300 С, прессуют при давлении 0,08 о

12,8 т фм и отжигактт прк 1000-3000 С.! Составитель В. Григорьев

1 I .

<Редактор Л, Народная TexpegA. ЙемьнноваКорректор.Й. Мельниченко

,Заказ 1507/103 Тираж 864 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскан наб., a. 4/5

Филиал IIITA Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4