Устройство для вытягивания из расплава монокристаллов по способу чохральского

 

t„ вйтбнтl -

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (») 506161 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено11.07.72 (21) 1810097/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.08.76.Бюллетень № 31 (45) Дата опубликования описания 02.12.76 (51) М. Кл.

В 01 У 17/18

Государственный иомитет

Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий (53) УДК 669.046-172 (088. 8) (72) Авторы изобретения

А. В. Вервыка, И. К. Выдыш, Н. С. Егорова, E А. Жемчужина, В. И. Носов, А. И. Печерица, П. Н. Проскурин и К. П. Приварников (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫТЯГИВАНИЯ ИЗ РАСПЛАВА

МОНОКРИСТАЛЛОВ ПО СПОСОБУ ЧОХРАЛЬСКОГО

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов преимущественно полупроводниковых материалов из расплава.

В известных устройствах для вытягивания монокристаллов из расплава по способу

Чохральского для уменьшения плотности дислокаций и более равномерного их распреде» ления используют тепловые экраны раз ных конструкций, в том числе введенную в полость тигля по его оси втулку, встроенную )p нижним концом в горизонтальный экран, плавающий на поверхности расплава.

Недостатком устройства с плавающим экраном и укрепленной на нем втулкой является изменение положения втулки по мере убы- д вания расплава в тигле, что приводит к изменению тепловых условий в зоне кристаллизации.

Отличительной особенностью предлагаемого устройства является выполнение располо- gp женного в полости тигля горизонтального экрана с максимальным диаметром, допускающим вращение тигля без трения, причем втулка верхним концом встроена в горизонтальный экран, опирающийся на коаксиальный нагревателю тигля вертикальный цилиндрический экран.

Это дает возможность создать стабильные тепловые условия кристаллизации в процессе вытягивания и получать вследствие этого монокристаллы с малой плотностью дислокаций и равномерным их распределением по объему и поперечному сечению.

На чертеже изображено предлагаемое устройство, разрез.

Устройство включает тигель 1 из графита, в плоскости которого установлен горизонтальный экран 2 с встроенной в него нижним концом втулкой 3, частично введенной в полость тигля.

К выступающему из тигля верхнему концу втулки плотно присоединен горизонтальный экран 4, который опирается на вертикальный цилиндрический экран 5, расположенный коаксиально нагревателю 6 тигля. Графитовые экраны с поверхности снабжены молибденовыми экранами 7, 8, 9 и 10. Все экраиьт выполнены из графита. Экран 2 имеет максимальный диаметр, допускающий вращени= тигля без трения, и установлен так, 506161

Составитель Т. Фирсова

Техред А. Демьянова Корректор С. Болдижар

Редактор 3. Горбунова

Заказ 5192i463 Тираж 864 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 чтс бы расстояние от него до поверхности расплава было равно О, где Д - диаD

ЭО-ЧО метр тигля.

На предлагаемом устройстве выращены монокристаллы германия с плотностью дислокаций 3-4. 10 см равномерно распределенной по объему.

Формула изобретения

Устройство для вытягивания из расплава монокристаллов цо способу Чохральского с введенной в полость тигля по его оси втулкой, встроенной нижним концом в горизонтальный экран, и коаксиальным тиглю нагревателем, от лича ющеес я тем, что, с целью получения монокристаллов с равномерной плотностью дислокаций, расположенный в полости тигля горизонтальный экран выполнен с максимальным диаметром, допускающим вращение тигля без трения, причем втулка верхним концом встроена в щ горизонтальный экран, опирающийся на коаксиальный нагревателю тигля вертикальный цилиндрический экран.