Манипулятор

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Своз Советских

Социалистических

Республик (») 5 18330 (61) Дополнительное к авт. свид-вуЛ 433024 (22) Заявлено 09.06.75 (21) 2142537/О8 с присоединением заявки (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.06.76.Бюллетень № 23 (45) Дата опубликования описания 06.07.76 (51) М. Кл.

В 25 Ю 15/ОО

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изооретений н открытий (53) УДК 621-229. . 126 (088. 8) (В. Н. Таиров и С. М. Шек (72) Авторы изобретения

Л динградский ордена Ленина электротехнический институт им. В. И. Ульянова (Ленина) (71) Заявитель (54) МАНИПУЛЯТОР

Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным для оперирования проводящими и полупроводящими объектами, и может найти применение в планарной технологии полупроводниковых приборов и интегральных .схем на тех операциях, где необходимо манипулировать пластинами из полупроводниковых материалов.

Известен электростатический мани« пулятор для диэлектрических пластин по авт. св. И - 433024, в котором используется взаимодействие электрических зарядов и пластине с электростатическим полем манипулятора. Этот манипулятор снабжен наконечником с двумя электродами, подключенными через коммутатор к источнику напряжения. Основные элементы манипулятора

- электроды - расположены на наконечнике, выполнены в виде монолитных проводников, закрепленных на наконечнике, запрессованных в него или нанесенных в виде пленок на поверхность наконечника. Недостатком такого манипулятора является невысокая надежность работы. Зто связано с тем, что электроды имеют плоские рабочие поверхности и жестко укреплены так, что эти поверхности лежат в одной плоскости. Зта плоскость является рабочей и именно на ней

5 фиксируется закрепляемая плата. Дуя того, чтобы захватить пластину с IIoMov üþ известного манипулятора, его рабочую плоскость необходимо с высокой точностью ориентировать параллельно плоскости пластины. В

)0 случае отсутствия параллельности сгла электр ростатического притяжения пласт- ы к рабочей поверхности оказывается недостаточной для удержания.

Белью изобретения является повышение и надежности работы манипулятора.

Зто достигается тем, что один электрод установлен с возможностью перемещения и снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом, а другой, выполненный из полу20 проводникового материала, имеет выпуклую поверхность, обращенную в сторону первого электрода и расположенную напротив выреза в контактной площадке первого электрода.

На ыг. 1 изображен один из возможных

® конструктивных вариантов электростати5 18330 ческого манипулятора; на фиг, 2 — варианты исполнения упруго подвижного электрода, снабженного сквозным вырезом.

Предлагаемый манипулятор состоит из корпуса 1 с коммутатором и наконечника, вставленного в корпус. Наконечник состоит из двух электродов 2 и 3, прикрепленных к диэлектрической прокладке 4. Электрод

2 из полупроводящего материала, например из СВЧ-феррита, с одной стороны имеет выпуклую поверхность, являющуюся контактной площадкой для электростатического закрепления пластины — объекта манипулирования. Упруго подвижный электрод 3 снабжен контактной площадкой cG сквозным вырезом и в нерабочем состоянии упруго уравновешен в положении, при котором выпуклость электрода 2 направлена в сторону контактной площадки электрода 3.

Для захвата пластины к электродам с помощью коммутатора подк:-почают напряже— ние, и наконечник манипулятора подводится к пластине -.,подвижным электродом в ее сторону. Пе; —.. ;м пластины касается подвижный электрод., Затем легким нажимом на корпус электрод из полупроводя цего материала вводится в разрез подвижного электрода. При этом направление нажима не обязательно соблюдать строго; достаточно, чтобы люоая из частей выпуклой поверхности по:.упроводящего электрода коснулась поверхности пластины. Под действием разности потенпиалов, приложенных к электродам, на границе между эдектродом из высокоомного полупроводящего материала и пластиной в области их непосредственного контакта и вблизи этой области происходит накопление электрических зарядов разных знаков. В результате этого пластина электростатически закрепляется на выпуклой поверхности электрода. После этого производят необходимое перемещение закрепленной пластины, причем

Ю в начале перемещения за счет упругости подвижного электрода и силы электростатического притяжения пластина плотно прижимается к контактной площадке подвижного электрода. По окончании перемещения 1 с помощью коммутатора отключают напряжение, сила электростатического притяжения исчезает, и пластина сбрасывается с наконечника.

Формула изобретения

Манипулятор по авт. св. Л% 433024, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, один электрод установлен с возможностью перемещения и снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом, а другой, выполненный из полупроводникового материала, имеет выпуклую поверхность, обдо ращенную в сторону первого электрода и расположенную напротив выреза B контактной площадке первого электрода.

518330

Составитель А. Горбаченко

Редактор B. Дибобес Техреду Н.Андре«ук Корректор А. Гриценко

Заказ 2512/291 Тираж 106 7 Поднисное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1 1303 5, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4