Устройство для перемещения объекта

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советекин

Социалистических

Республик (11) 534610 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено21.03.75 (21) 2114685/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05.11.76.Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования описания 29.12.76 (51) М. Кл.

F 16 К 41/00

Государственный номнтет

Совета Мнннотров СССР по делам нзооретеннк н открытий (53) УДК 621.8.023,5 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Ф, Скляров, М. В. Меркушев и В, И. Ку (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ЗЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к устройствам, используемым в оборудовании для прои водства изделий электронной техники, и может быть применено в напылительном вакуумном оборудовании, электронных микроскопах, а также измерительной технике, Известны устройства для перемещения объекта, содержащие корпус и установленный в нем механический привод(Ц.

Недостатком этих устройств является

:наличие кинематических пар с внешним трением, при этом имеется износ между трущимися поверхностями, По технической сущности и достигаемому эффекту наиболее близким к предложенному изобретению является устройство для перемещения объекта, содержащее корпус и установленный в нем привод поступательного перемещения объекта, выполненный в виде двух пьезопреобразователей(2 .

Такое устройство не обеспечивает возможности перемещения объекта по винтовой траектории, Пель изобретения — перемещение объекта по винтовой траектории.

Это достигается тем, что предложенное устройство снабжено установленной между пьезопреобразователями упругой втулкой, направление оси которой совпадает с направлением поступательного перемещения объекта, составленной по периметру из единичных упругих элементов, каждый из которых расположен под углом к оси втулки, и установленным внутри упругой втулки доl0 полнительным пьезопреобразователем, соединенным с ее торцами, с одним жестко, а с другим - упруго.

На чертеже изображен общий вид устройства.

15 Устройство содержит корпус 1, имеющий цилиндрическое отверстие, внутри которого расположены два пьезопреобразователя 2 и 3, Между пьезопреобрезователями 2 и 3 установлена упругая втулка 4, составлен20 ная из единичных упругих элементов 5,каж» дый из которых расположен под углом d к оси втулки, параллельной направлению поступательного перемещения объекта.

Внутри упругой втулки 4 установлен

25 дополнительный пьезопреобразователь 6, ко534610

Составитель А, Верховский

Редактор И. Бродская Техред A. Демьянова Корректор Т. Чаброва

Заказ 5533/260 Тираж 1134 Подпис ное

11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 торый с одним торцом втулки 4 соединен жестко, а с другим — упруго через шарнир 7.

Каждый пьезопреобразователь 2, 3 и 6 соединен с источником тока 8, 9, 10 соответственно. Источники тока соединены с блоком программы 11.

Пьезопреобразователи 2 и 3 содержат упругие оболочки 12, 13 с прорезями.

Последовательной подачей напряжения на пьезопреобразователи 2, 3 и 6 производится перемещение объекта 14 по заданной траектории. При этом полярность подаваемого напряжения определяет направление перемещения объекта.

Формула изобретения

Устройство для перемещения объекта, содержащее корпус и установленный в нем привод поступательного перемещения объекта, выполненный в виде двух пьезопреобразователей, отличающееся тем, что, с целью перемещения объекта по винтовой траектории, оно снабжено установленной между пьезопреобразователями упругой втулкой, направление оси которой совпадает с направлением поступательного перемещения объекта, составленной по периметру из единичных упругих элементов, каждый из

IO которых расположен под углом к оси втулки, и установленным внутри упругой втулки дополнительным пьезопреобразователем, соединенным с ее торцами, с одним жестко, а с другим — упруго.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство % 369333, кл. Р 16 К 41/10, 09.10.70.

2 . Патент В елико 6ри танки 1 26 1 5 23 кл. Н 2 А, 26.01.72.