Акселерометр

 

Союз Советских

Социалистицеских

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 53469g (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22} Заявлено14.04.75 (21) 2128266/10 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05, 1,76Дюллетень №41 (Ы} М, Кл.

G 01 Р 15/08

Гооударстоенный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий (53) УДК 531.768. (088,8) (45) Дата опубликования описания20.01.77

В, А. Бабииков, Л. В. Беликов, С.,Ф, Коновалов, И.,И, Медведева и Э.,С. Мкртчян (72) Авторы изобретения

p)) Заявитель Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени высшее техническое училище им, Н„Э, Баумана (54) АКСЕЛЕРОМЕТР

Изобретение относится к приборостроению, в частности к конструкциям миниатюр,ных акселерометров.

Известны миниатюрные акселерометры, 1содержашие упругий элемент выполненный в виде белки с укрепленным на ее конце .грузом, и тензометрические датчики (тен зорезисторы), размещенные на поверхно.сти белки (1, 21:

Недостатками известного акселерометра lp являются малая относительная длина упругой балки, ограниченная размерами груза (не превышающая 1/Э- -1/4 размера пласти- ны), в связи с этим мало места дпя размещения;резисторов невозможно обеспечить ре-!5 зервирование при одностороннем расположении тензорезисторот .,Нецентральное распо- ложение площадки для крепления груза усложняет конструкцию корпуса акселероме1тоа в случае применения жидкостного демп 20 (фера колебаний..

Необходимость применять двустороннее

:расположение тензорезисторов на упругой балке при кристаллической ориентации подложки по плоскости 110, что невыгодно тех-25 нопогически, Если используется односторон нее расположение;то необходимо применять тензорезисторы с различной ориентацией оси, В этом случае будет неодинакова чувстви-,, тельность смежных плеч моста (при указан ной выше ориентации подложки), неодинако:вы условия . нагружения тензорезисторов, что скажется на линейности акселерометра и температурной стабильности его параметров °

Uemü изобретения — исключение нелиней1, ности прибора, Для этого в пластине предлагаемого ак селерометра выполнены две П-образные про, рези, ориентированные встречно одна к дру- гой, между которыми попарно-симметрично размещены тензорезисторы, причем оси всех тензорезисторов, расположены параллельно,, Предложенная конструкция допускает распо-. о хожение смежных тензорезисторов и под90

; один к другому (ориентация тензорезйсто. ров по направлению 110 при ориентации подложки по плоскости 100), На чертеже изображен предлагаемый акеелерометр с двумя П-образными прорезями, 5 34694

Составитель Н, Граникова

Редактор В. Другова Техред О. Луговая Корректор С. Болцижар

Заказ 5550/226 Тираж 1029 П одписное БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035» Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Акселерометр содержит пластину 1, бал-f ки 2, тензорезисторы 3, груз 4 (или плас-, ина для крепления груза). Длина балок в редлагаемой конструкции не ограничена размерами груза,.При наличии перегрузки B0 DcH чувствительности акселерометра в балках 2 возникают изгибные напряжения.

Крутяшими напряжениями в балке 2 можно пренебречь ввиду их незначительности.;

Таким образом, тензореэисторы, располо- !О женные на одних половинках балок будут испытывать напряжения растяжения, а на других половинках - равные по величине напряжения сжатия. В связи с этим отпадает необходимость двустороннего расположения тензореэисторов, Тенэореэисторы в . акселерометре находятся в идентичных условиях нагружения. Пластина для крепления груза и демпфера имеет центральное распо-:, ложение, что облегчает конструирование и ®О изготовление корпуса акселерометра.

Таким образом, выполнение в пластине акселерометра дополнительной П-образной прорези, ориентированной встречно первоначальной, позволяет устранить недостатки конструкции известного акселерометра и, как следствие, поьыс(иь точность и уменьшить его габариты, Параллельное и сил+метричное расположение сопротивлений смежных плеч моста на балках акселерол етра обеспечивает идентичность параметров чен зорезисторов, в результате исключается нелинейность и уменьшается температурная погрешность прибора.

Формула изобретения

Акселерометр, содержаший пластину с тензорезисторами и груз, о т л и ч а юш и и с я тем, что, с целью исключения нелинейности прибора, в пластине выполнены две П-образные, ориентированные встречно одна другой прорези, между которыми па-., раллельно один другому размешены попарносимметрично тензореэисторы, .

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

: 1. Патент США No3304787, кл. 73517, 1969 г. — прототип.

2. Агейкин Д. И. и др. Датчики контроля и регулирования, "Машиностроение", 1965 r.