Материал для изготовления тонкопленочных резисторов
ОЛИ йЕ
ЙЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Реслфлик
К АВ7ОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Доголпительное к авт. саид-ву— (22) 3 а я вл ено 21.07.75 (21) 2156759/21 (51) М,кл.з Н 01 С 7/00 с присоединением заявки— Государствеиньй комитет Совета Министров СССР ло лелем изобретений и аткрь!тий (23) Приоритет— 143) Опубликовано 05,02.77. Бюллетень ¹ 5 (53) УДК 621.396. .6-181 48 (088.8) (-:5) Дата опубликования описа!11!я 01.0:3.77 (72) Авторы изобретения Б. А. Бочкарев, В. A. Бочкарева и T. H. Войнова (?1) Заявитель (54) МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТО11КОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ Металлосилицидный сплав 15 Мул лит 85 Изобретение относится к области производства деталей электронной техники. Известен материал для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий окислы кремния, алюминия, оария, .кальция, железа, титана, натрия и калия (11. Недостатком этого материала является завышенное значение э. д. с. шума, что затрудняет поз1у11ение высоких номи:Iаль?1ых Зс:1!!чин резисторов с требуемыми параметрам?!. Известсч также гматериал для пзготозления тонкопленоч-Ib?x рез;1сторов, в гкотором формирование диэлектрической фазы осуществляется с помощью окислов лантаноидов, и содержащий (в iBec. %): Металлосилицидный сплав 11 — 80 Окислы лантаноидов 20 — 89 (2j Однако у этого материала недо "таточно высо!кая стабильность, Цель изобретения — "О ышение стабильности резисторов. Достигается это тем, что материал для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий,металлосилицидный сплав и диэлектрик, в качестве диэлектрика содержит муллит,,при следующем соотношении исходных компонентов (в объемных %): Металлосплпцндный сплав 15 — 80 Мул лит 20 — 85 В отличие от других диэлектриков муллит позволяет создать, материал, пз которо-.о может быть, получена высокоомная керметная пленка, обладающая малой величиной ТКС и низким уровчем э. д. с. шумов при объемном количестве д!.электрической фазы в пленке, доходя?цем до 70%. Существенным преимуществом является то,;о изготовленные из него рсзнстпвные пленки допускают значи. тельно большую удельную мощность рассеяния при меньшем необратимом изменении величины сопротивления. Примеры получения материала для изготовления тонкопленочных резисторов. Пример 1 (для минимума) 2p,Смесь, порошков (в объемных %): 25 Эта смесь после испарения может дать пленку с поверхностным сопротивлением 40 ком!кв прн толщине 800 А. ТКС меньше 200 10 /" С. Стабильность величины сопротивления после 1000 и преоывания под нагрузкой 1 вт/см не больше 0,5%. 546021 Металлосилицидный сплав 50 Мулл ит 50 Формула изобретения Металлосилицидный сплав 80 Мулл ит 20 Составитель П. Лягни Техред В. Рыбакова Редактор Н. Петрова Корректор В. Гутман Заказ 83/143 Изд. № 421 Тираж 1019 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Тип, Харьк. фил. пред. «Патент» Пример 2 (для среднего значения) Смесь порошков (в объемных %): Такая смесь после испарения может дать пленку с поверхностным сопротивлением 30 ком/кв (толщина, ТКС и стабильность сопротивления такие же, как в первом прнмере). Пр и,м е р 3 (для максимума) Смесь порошков (в объемных %): Эта смесь после испарения может дать пленку с ;поверхностным сопротивлением 10 колю/кв при остальных хара|ктеристиках, равноценных указанным в первом примере. Этот,материал используется для получения керметных пленок термическим испарением его в .вакууме с помощью обычных приемов для пленочной технологии. Пленки подвергают термической обработке для стабилизации электрических характеристик. Оптимальную темлературу и длительность обработки пленок подбирают опытным путем в .зависимости от свойств подложки. Предлагаемый материал позволяет получать высокоомные резистивные;пленки, вели5 чина старения которых примерно в восемь раз меньше, чем у известных материалов. Материал для изготовления тонкопле:,очных резисторов, содержащий металлосилицил,ный сплав и диэлектрик, отличающийся тем, что, с целью,пювышения стабильности резисторов, в качестве диэлектри ка материал содержит муллит, при следующем соотношении исходных 1компонентов (в объемных %): Металлосилицидный сплав 15 — 80 Мулл ит 20 — 85 Источники информации, принятые во вни.мание при экспертизе: 1. Авторское свидетельство СССР № 352319, кл. Н 01 С 7/00, 12.05.70. 2. Авторское свидетельство по заявке № 1847999/21, кл. Н 01 С 7/00, 20.11.72 (прототип).
