Способ определения длины волны светофильтра

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ„„

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.02.73(21) 1883838/25 с присоединением заявки №(23) Приоритет (43) Опублнковано05.03.77.Бюллетень № 8 (45) Дата опубликования описания 26.04.77 (ы) м. к

Я 01 3 3/28

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретений и открытий (бЗ) УДК

535.242.2. (72) Авторы изобретения

Ю. И. Урывский и А, Н. Седов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ СВЕТОФИЛЬТРА

Изобретение относится к измеритепьной текнике и может быть испопьзовано вчастности в области экспериментальной физики дпя определения расчетной длины светофильтра эппипсометрическим способом. 5

Известен способ определения длины волны светофильтра путем снятия и анализа его спектральной характеристики, основанный на пропускании через него света и сравнении его параметров с данными, полученными на щ эталонном образце. Изменяя длину волны и измеряя каждый раз интенсивность света, падаюшего на светофильтр и прошедшего через него, подсчитывают, а затем строят кривую зависимости коэффициента пропускания 15 светофильтра от длины излучения.

Недостаток известного способа закпючается в том, что он не обеспечивает точного определения длины волны светофильтра, пос- >0 кольку необходимо строить спектральную характеристику и искомую длину волны находить по максимуму зависимости коэффициента пропускания светофильтра от длины водны. Кроме того, известный способ не позво- б ляет определять характеристики светофильтров в широком диапазоне длин волн.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что поспе прохождения через образец света его эппиптически попяризуют, направляют на диэлектрическую пленку, нанесенную на и олупроводниковую подложку, и по параметрам отраженного поляризованного света судят о длине светофильтра.

Предложенный способ позволяет опредспять длину волны светофильтра непосредственно при измерении топшины диэпектрической пленки на полупроводниковой подложке с помошью эппипсометра. Значение длины волны светофильтра необходимо в процессе эппипсометрических измерений, поскольку очень часто приходится испопьзовать различные длины волн падаюшего света.

Кроме того, предложенный способ может быть применен при определении характерисгик светофильтров в широком диапазоне дпин волн.

549686

На фиг. 1 показана оптическая схема эллипсометра, реализуюшая предложенный способ; на фиг. 2 - номограмма зависимостей показателя преломления г1 и фазовой толшины пленки д от фазового сдвига меж- 5 ду компонентами электрического вектора 6 и изменения отношения амплитуд компонент элекгрического вектора .

Свет от источника 1, пройдя монохроматический фильтр 2, параллельным пучком 10 падает на линейный поляризатор 3, выходя из которого становится линейно поляризованным. Компенсатор 4 преврашает линейный поляризованный свет в элпиптически поляр 1зованный, параметры которого после отраже-15 ния от поверхности диэлектрической пленки

5 изменяются. Эти изменения определяют с помошью анализатора 6 и фотоприемника 7

Измерение параметров диэлектрической пленки на кремниевой подложке с помошью эллипсометра ведут на двух длинах волн А

1 и Л,. Для этого свет от источника пропускают через два светофильтра 2 с известной длиной волны A и неизвестной, ; находят

I параметрь1 поляризованного света, и

Ч), для Л„и Л, которые на номограмме

2. 2 зависимостей показателя преломления и фазовой толшины пленки от параметров поляризованного света: 1 „д = (9 1 Ь ) представлены двумя точками 1 и 2 (фиг. 2). Найденные таким образом точки 1 и 2 соответствуют значечиям параметров пленки П Р1

Л"

1 и 12 v . Если зна чаяния длин BolIH . и близки (измерение ведут на одном участке светового диапазона, например, в видимой области спектре), то дисперсия показателя преломления подложки и пленки пренебрежимо мала и при измерении Tl П2, а Б„= d

Известно, что фаэовая толщина пленки о и линейная Д связаны зависимостью. д" Л где Ф, — угол падения света на образец.

Поскольку d. /А/ пленки постоянны, то искомую расчетную длину волны света можно определить из тождества:

У1 Л1 дz Ëz

560

560 д„ис ; определяют по номограмме т1 = (Itl g ) дпя двух длин волн,ap.

Формула изобретения

Способ измерения длины волнысветофильтра,основанный на пропускании через него света и сравнении его параметров с данными, полученными на эталонном образце, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения точности измерения, после прохождения через образец света его элпипти« чески поляризуют, направляют на диэлектрическую пленку, нанесенную на полупроводниковую подложку, и по параметрам отраженного поляризованного света судят о длине волны светофильтра.

549686

Фу =О

120

Составитель В. Зверев

Техред М. Ликович Корректор В. Куприянов

Редактор С. Титова

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 343/117 Тираж 822 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., g„4/5