Оптический плоскомер

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИИМЬСТВУ (11) 557263 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 22.01. 76 (21) 2317157/28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.05. 77.Бюллетень № 17 (4б) Дата опубликования описания 20.06.77 (51) М. Кл. 01 В ll/30

Государственный иомитет

Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий (53) УДК531,715.2 (088.8) Б. М. Левин и А, Г. Серегин (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ОПТИЧЕСКИЙ ПЛОСКОМЕР

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, а именно к устройствам для контроля неплоскостности визирным методом и предназначается для проверки псьверхностей крупногабаритных объективов, а также для установки ряда обьектов относительно референтной плоскости в станкостроении, судостроении, энергомашиностроении и других отраслях промышленности.

Известно устройство для контроля не- 10 плоскостности, основанное на сравнении контролируемой поверхности с эталонной, образуемой при вращении линии визирования трубы, опирающейся на плоскость обработанного с высокой точностью ситаллового 15 кольца Pl) .

Это устройство имеет погрешность изэа непараллельности линии визирования относительно плоскости ситаллового кольца и повышенную чувствительность к вибрациям. 20

Известно также устройство для контроля неплоскостности, содержащее телескоп с внутренней фокусировкой и вращающуюся пентапризму. 25

Это устройство имеет низкую точность изза неизбежных погрешностей изготовления пентапризмы и. фокусируюшей системы.

Наиболее близким к изобретению по своей технической сущности и решаемой задаче является устройство, содержащее марку и визирную трубу,. состоящую из установленных на одной оптической оси пентапризмы, выполненной с возможностью поворота вокруг этой оси, обьектива — аксикона и наблюда тельного микроскопа, включающего микрообьектив, окуляр и сетку, кинематически связанную с пентапризмой и окуляром 2).

Обьективы трубы и наблюдательного микроскопа жестко связаны между собой и закреплены на неподвижной части устройства.

Однако это хотя и приводит к снижению требований к качеству изготовления осевой системы, но уменьшает рабочий угол наведео ния на марку с 360 до 180, что отражается на эксплуатационных качествах прибора и затрудняет совмещение оптической оси обьективов с осью вращения пентапризмы и сетки.

Это ведет к росту погрешности измерения

557263 из-за izBUBHTpHpoBKH пентапризмы относительно объективов.

Главным же недостатком этого ус гройства является невысокая "точность измерения, которая ограничивается погрешностью, связанной с неточным изготовлением пентапризмы. Погрешности изготовления углов пентапризмы, непосредственно входящие в погрешность измерения, составляют в серийн=,.:— — I> готовленных пентапризмах вели ину ;.:т щ до 10 . Уменьшение этих з:, еш:. .о<:. и в

Il настоящее время невозмеж!lc:,: ак ка .; это повлекло бы за собой р -зное усложнение технологического процесс» и соответству".ошее увеличение сгоимости приборов. 16

Цель изобретения — повышение точности измер ния неплоскостности.

Это достигается тем, что предлагаемый плесхомер снабжен механизмом регулировоч- р ного перемещения сетки в плоскости, перпендикулярной оптической оси трубы, а обьективы трубы и микроскопа жестко связаны с пентапризмой.

На чертеже изображена принципиальная схема плоскомера, Плоскомер состоит из двух основных узлов, визирной трубы и марки. Визирная труба имеет неподвижный корпус 1, установленный на еегулируемых опорах 2, оптический Зр микрометр в виде плоскопараллельной пластины 3, связанной с микровинтом 4, пентапризму 5, обьектив-аксион 6 и наблюдательный микроскоп, состоящий из микрообьетива 7, окуляра 8 и расположенной в фокальной плоскости окуляра сетки 9, связанной с механизмом 10 регулировочных перемещений сетки, выполненным, например, в виде винта. Все оптические элементы трубы, т.е. не только пентапризма 5, окуляр 8 4О и сетка Э, по и обьектив 6 и микрообьек» тив, pacíîëîæåíû на подвижной части 11 трубь|

Марка имеет источник света 12, конденсар 13, диафрагму 14, отсчетный барабан р подставки марки 15.

00 — оптическая ось визирной трубы.

Плоскомер работает следующим образом.

Пучки света от диафрагмы 14, подсвечиваемой источником света 12 через конден- 50 сор 13 направляются на пластину 3, пентапризму 5 и попадают на QKcBK0H 6, который формирует изображение диафрагмы 14 независимо от ее расположения вдоль — èöèè визирования в предметной плоскости микро- 55 скопа, Микросбьектив 7 последнего переносит это изобр"жение в плоскость сетки 9, где оно рассматривается глазом иаблюдател я <,"ееез зх., яр Р, Измерени в:,дичины см —,: «;. изображ(иия g« "фрагх ы относи- 60 тельно штриха сетки, возникающее при:-аличии неплоскостности контролируемой поверхности, осуществляется наклоном плес" ины 3 с помощью отсчетного барабана микровинта 4 или смешением самой диафрагмы

14 посредством отсчетного барабана подставки марки 1 5. Снимаемые с отеч ет н ы.; барабанов показания дают значение контролируемой величины непосредственно в линейной мере

Выполнение объективов трубы и наблюдательного микроскопа поворотными позволяет не только увеличить угол наведения на марку до 360, но и дополнительно повысить точность измерения.

Таким образом, введение жесткой связи между всеми оптическими элементами, выполнение объективов трубы и наблюдательного микроскопа поворотными вокруг оптической оси и введение механизма регулировочного перемещения сетки позволяет значительно уменьшить погрешность измерения неплоскостности или при тех же погрешностях существенно снизить требования к изготовлению пентапризмы. Напоимер. ес. и раньше в известных устройствах для контроля неплоскостности для получения погреш— ll ности измерения неплоскостности в 1,5 +

il —: 2 требовалось изготовить пентапризму с допуском в 1, что находится в пределе

II технологических возможностей, то при реализации предлагаемого устройства до.туск

li на пентапризму составит 10, т.е. на порядок будет отличаться от требования к пентапризме в известных устройствах.

Формула изобретения

Оптический плоскомер, содержащий марку и визирную трубу, состоящую из последовательно установленных на одной оптической оси пентапризмы, выполненной с возможностью поворота вокруг этой оси, обьектива и наблюдательного микроскопа, включающего микрообьектив, окуляр и сетку, кинематически связанную с пентапризмой и окуляром, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен механизмом регулировочного пеоемешения сетки в плоскости, перпендикулярной оптической оси трубы, а обьективы трубы и микроскопа жестко связаны с пентапризмой.

Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе: ..1, Авторское свидетельство СССР № 241023, 42 В 12/05, 1966.

2. Прибор фирмы Тейлор-Гобсон по патенту Великобритании 759878 кл.97 (1)Т, 1955.

Составитель Л. Ъбзо"а

Редактор И. Бродская Техред И. Асталош Еорректор A. Гриценко

Заказ 1027/55 Тираж 907 По ддисное

БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раулская наб., p. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4.