Кассета для двухстороннего травления плоских заготовок

 

ОП ИСАЙ ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистимеских

Республик (») 557437 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.11.75{21) 2192166/21 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.05.77.Бюллетень № 17 (4б) Дата опубликования описания 05.07.77 (51) М. Кл.2

Н 01 „21."70

С 25 3 17/06

Государственный иамитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (бЗ) УДК 6-1.З. .049.75 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Самороднов и Г. А. Ыапкин (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО ТРАВЛЕНИЯ

ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК

Изобретение относится к технологической оснастке, используемой при изготовлении изделий радиоэлектроники, например плоских выводов интегральных схем, печатных схем и т.д. 5

Устройство может быть использовано в тех областях техники, где требуется прецизионное двустороннее травлечие плоских заготовок, например в радиотехнике, приборостроении. 10

Известна кольцевая кассета для двустор они его травления пл ос к их заготовок, выполненная в виде кольца с элементами крепления заготовки (1) .

Известные кассеты содержат большое количество деталей, развивающих поверхность (кольцевые зажимы, бай онетные, винтовые и другие затворы и зажимы). Большинство кассет имеют развитые внутренние поверхности — сложные пазы и карманы, из ко- 20 торых трудно удалить остатки — капли и следы травителей, промывочных жидкостей и т.п.

В некоторых случаях невозможно полностью удалить травитель с таких поверх- 25 ностей, и при использовании разработанных в последнее время высокоагрессивных травителей для никеля и его сплавов возможно увеличение брака из-за наличия остатков травителя на кассете.

Цель изобретения — повышение качества травления — достигается тем, что в кассете для двустороннего травления плоских заготовок, преимущественно микросхем, выполненной в виде кольца с элементами крепления заготовки, кольцо имеет профиль сечения в виде клина, обращенного вершиной к центру кассеты.

На чертеже приведен внешний вид кассеты с заготовкой.

Кассета содержит несущее кольцо 1, например из оргстекла, фторопласта с заостренной частью 2, подпружиненные элементы 3, отверстие 4 для крепления подпружиненных элементов.

В процессе обработки в рабочей камере

5 кольцевая кассета с заготовкой 6 получает вращательное движение от фрикционного привода (на чертеже не показан). По окончании рабочего цикла она перемещается из

557437 камеры 5 в камеру 7 по направляющим 8.

B нижней части направляющих имеются уступы, сообщающие толчки кассете, несущее кольцо которой выполнено заостренным, благодаря чему с нее и с заготовки стряхиваются остатки рабочего раствора. Наиболее эффективно уносимая с кассетой жидкость удаляется при выполнении внутренней части несущего кольца заостренной.

Применение данной кассеты позволяет Ip уменьшить унос рабочей жидкости, что способствует уменьшению загрязнений рабочих сред по ходу технологического цикла и позволяет снизить брак при двустороннем травлении плоских заготовок. !Ь

Формула изобретения

Кассета для двустороннего травления плоских заготовок, преимущественно микросхем, выполненная в виде кольца, снабженного элементами крепления заготовки, о тл и ч а ю ш а я .-; я тем, что, с целью повышения качества травления, кольцо имеет профиль сечения в виде клина, обращенного вершиной к центру кассеты.

Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 374946, С 23 В 5/68, 15.G3.71.

ЦНИИПИ Заказ 866/62

ТНРаж 976 Подписное

Филиал ППП "Патент", r, Ужгород, ул. Проектна.я, 4