Способ определения размеров области гомогенности распределения элементов в твердых телах

 

ц 565237

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕПЬСТ У

Йиг Соввтскик

Социзснстнивскни

Ресвублнк т

f (61) дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 16.12.75 (21) 2199064/25 с присоединением заявки Мв (51) М. Кл. G 01N 23/22

Совета Министров СССР на делам изобретений и открытий (53) УДК 543.53(088 8) Опубликовано 15.07.77. Бюллетень М 26

Дата опубликования описания 10.08.77 (72) Автор изобретения

В. Н. Узморский (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗМЕРОВ ОБЛАСТИ

ГОМОГЕННОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ

В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ

ГосУлаРственный комитет (23) Гтриоритет 02 l l 73

Изобретение относится к электронно-зондовому рентгеноспектральному анализу твердых тел.

Широко известны различные методы исследования распределения химических элементов в твердых телах с помощью сканирующих электронно-зондовых микроанализаторов (11.

Ближайшим к изобретению техническим решением является способ определения размеров области гомогенности распределения химических элементов в твердых телах, заключающийся в облучении шлифа исследуемого тела закономерно расфокусируемым электронным зондом рентгеноспектрального микроанализатора, регистрации интенсивности характеристического излучения исследуемого элемента и определении размеров области гомогенности по зависимости интенсивности от диаметра зонда, при котором разбросы регистрируемой интенсивности излучения равны погрешности прибора (21.

Недостатками известного способа являются сложность реализации и невысокая точность при малых концентрациях определяемых элементов в анализируемом веществе.

Сложность реализации способа обусловлена необходимостью многократного определения разбросов регистрируемой интенсивности рентгеновского излучения в процессе измерений.

Невысокая точность этого способа обусловлена возрастанием статистической погрешности измеряемой интенсивности при ее уменьшении, что приводит к увеличению сте5 пени наложения этой погрешности на колебания интенсивности, связанные с изменениями концентрации определяемого элемента в облучаемой зондом .области шлифа. Это в свою очередь затрудняет расшифровку и об10 работку экспериментальных данных, и увеличивает экспериментальную погрешность.

Целью изобретения является повышение точности при малых концентрациях исследуемого элемента.

15 Это достигается тем, что по предлагаемому способу дополнительно регистрируют интенсивность характеристического излучения какого-либо другого элемента, содержащегося в исследуемом теле, изменяют зависимость

20 отношения интенсивностей характеристических излучений исследуемого и другого элементов отдиаметраэлектронногозондаи по измеренной зависимости определяют размеры области гомогенности.

25 Способ реализуют следующим образом.

Шлиф исследуемого твердого тела облучают сканирующим электронным зондом рентгеноспектрального микроанализатора, который расфокусируют по заданному закону.

30 Во время цикла облучения регистрируют ин

565237

Формула изобретения

Составитель К. Кононов

Техред М. Семенов

Корректор Л. Брахнина

Редактор И. Шубина

Заказ 1660/13 Изд. М 594 Тираж 1109 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д.4/5

" ипография, пр. Сапунова, 2 тенсивность характеристических излучений исследуемого и какого-либо другого элементов, содержащихся в пробе, и измеряют отношение .этих интенсивностей. В процессе расфокусировки зонда отношение интенсивностей выходит на некоторый постоянный уровень. Минимальный диаметр зонда, которому соответствует постоянный уровень отношения, определяет размеры области гомогенности.

Повышение точности в данном способе связано с тем, что флуктуации интенсивности электронного зонда вызывают равные относительные флуктуации в регистрируемых интенсивностях характеристических излучений исследуемого и другого элементов,,которые компенсируются в отношении этих величин.

Способ определения размеров области гомогенности распределения элементов в твердых телах, заключающийся в том, что шлиф исследуемого тела облучают закономерно расфокусируемым электронным зондом и регистрируют интенсивность характеристичес5 кого излучения исследуемого элемента, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью повышения точности при малых концентрациях исследуемого элемента, дополнительно регистрируют интенсивность характеристическо10 го излучения какого-либо другого элемента, содержащегося в исследуемом теле, измеряют зависимость отношения интенсивностей характеристических излучений исследуемого и другого элементов от диаметра электрон15 ного зонда и по измеренной зависимости определяют размеры области гомогенности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Блохин М. А. Методы рентгено-спек20 тральных исследований, ГИФМЛ, М., 1959, с. 217 — 220.

2. Авторское свидетельство СССР ¹ 441489, кл. G 01N 23/20, 1972 (прототип).