Способ препарирования углеродистых реплик для электронномикроскопических исследований

 

Союз Советских

Социалистимескмх

Республик

ОП И САНИ Е

ИЗОБРЕТЕН Ия (11) Ы) 169

1 — /

1 (51) М. Кл. GOI N 2l/00

К АВТОРСКОМУ СВИДЕИДЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 15.03.76 (21) 2335061/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.07.77. Бюллетень №27 (4б) Дата опубликования описания 09.12.77

Гооударстеенный комитет

Совета Иннистроа СССР оо делам нэаоретеннй и открытий (53) УДК 825.43 (088.8) (72) Авторы . изобретения К, К. Бурнаков, Г. П. Мосталыгин, В. Ф. Данилов и А. Г. Мосталыгмн (71) Заявитель

Курганский машиностроительный институт (54) СПОСОБ ПРЕПАРИРОВАНИЯ УГЛЕРОДИСТЫХ РЕПЛИК ДЛЯ

ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ

Изобретение относится к электронно-микроскопическим исследованиям, в частности к методике приготовления образцов (реплик) для просвечивающей электронной микроскопии.

Известны способы приготовления углеродистых, кварцевых, титановых и других реплик, в основе которых лежит конденсация соответствующих веществ из паров непосредственно на исследуемой поверхности (1).

Наилучшим комплексом свойств — механической прочностью, устойчивостью под электронным пучком, химической стойкостью, отсутствием собственной стуктуры — обладают углеродистые реплики.

Известен также способ вакуумной конденсации 15 углерода на поверхности образца из вакуумной дуги (2) . Получаемые этим способом реплики обеспечивают удовлетворительную контрастность.

Основным недостатком способа является отсутствие высокого разрешения вследствие того, что рЕ характер изображения с таких реплик определяется различным рассеиванием потока элактронов на участках разной толщины.

Uem изобретения — получение углеродных реплик, обеспечивающих высокий контраст и вы- щ сокое разрешение при их электронномикроскопическом исследовании на просвет.

Это достигается тем, что процесс напыления ведут в электростатическом поле, приложенном между образцом и угольными электродами. Ионы углерода, образующиеся в электрической дуге между угольными электродами под действием электростатического поля, ускоряются и движутся к образцу. На поверхности образца ионы нейтрализуются и осаждаются.

Различие напряженности электрического поля у поверхности образца на выступах, впадинах и относительно ровных площадках обеспечивает различие в потоках напыляемых ионов углерода, что, в конечном счете, и позволяет получать высококонтрастные реплики беэ дополнительного оттенения.

Кроме того, рассевание электростатического поля у дефектов кристаллического строения создает условие для "декорирования" их углеродом. Последнее повышает разрешающую способность углеродистых реплик.

Способ осуи,ествляют следунлцим образом. К образцу, расположенному на расстоянии 40- 50 мм от испарителя и защищенному экраном or прямого напыления, подключается положительный полюс от

566169

Составитель А, Суворов

Теяред Н. Аидрейчук

Корректор Н. Ковалева

Peasxr0p Н. Разумова

Т р 1)О1 Подписное

ЦНИИПИ Государствеиного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж--35, Раушскея наб., д. 4/5

Заказ 2395/29

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 источника питания, а к угольным электродам— отрицательный полюс. Далее между угольными электродами зажигается электрическая дуга, и процесс напыления ведется до получения%ленки от синего до темносннего цвета. Величину прилагаемого между образцом и угольными электродами напряжения подбирают опытным путем, обычно онв составляет 500 — 2000 В и зависит от целей исследо. вания и материала образца.

Формула изобретения

Способ препарирования углеродистых реплик ,пля электронномикроскопнческих исследований, включающий вакуумное напыление прн испарении углерода, отлича ющийся тем,что, с целью получения реплик, обладающих высокой контрастностью и разрешением, процесс напыления углерода ведут в электростатическом поле, приложенном между образцом и угольными электродами.

Источники информации, принятые"во внимание

1О при экспертизе:

l. Metslogrsphie specimen prepsrstion Optiksl

snd electron microscopyl New-Jork 1974.

2..Смит Э. Сб. Приборы и методы физического металловедения, вын, 2, иэд-во Мир, М.. 1974, 5 стр. 26.