Способ испытаний тонкопленочных конденсаторов

 

° овстуг ...:". > амтаитно-.; .,", вяйЛ

4 мОт ка i49A

НИЕ

Ш1 5708

Эавз Советских

Оювлиетич вских

Республик

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.12.75 (21) 2306483/25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 30.08.77. Бюллетень № 32

Дата о публикования о писания 01.09.77 (51) М. Кл. - G 01R 31/12

Государственный комитет

Совета Министров СССР пе делам изобретений и открытий (53) УДК 537.226(088 8) (72) Авторы изобретения

С. А. Ерохин, Д. А. Ерохин и А. Ф, Слюнявчиков (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

КОНДЕНСАТОРОВ

Изобретение относи- ся к технологии производства радиоэлементов и может быть использовано при производстве тонкопленочных конденсаторов (1 11К).

Известен способ испытаний конденсаторов, при котором конденсаторы подвергаются воздействию повышенного импульсного напряжения, амплитудой близкой к пробивной, а длительностью импульса, уменьшенной до нескольких микросекунд. (l)

Однако существующий способ не приемлем для испытаний ТПК, которые имеют малые толщины диэлектрика и обкладок, а, следовательно, и низкие пробивные напряжения. Наличие дефектов в такой структуре при подаче высокого напряжения вызывает образование распространяющегося пробоя, приводящего к выгоранию части диэлектрика и обкладок конденсатора.

Наиболее близким техническим решением к изобретению можно считать способ испытания материалов, заключающийся в том, что на обкладки конденсаторов подают последовательность импульсов возрастающего напряжения, (2)

Недостатком этого способа является то, что в процессе испытания происходит разрушение изоляции путем пробоя.

Целью изобретения является улучшение качества и увеличение срока службы конденсаторов.

Поставленная цель достигается тем, что на конденсатор подают линейно возрастающее напряжение до возникновения микропробоя, а по окончании микропробоя вновь подают

5 напряжение до амплитуды, соответствующей следующему микропробою, указанные операции повторяют до получения амплитуды, соответствующей двойному рабочему напряжению и одновременно проводят регистрацию

10 количества микропробоев, по которому судят о качестве конденсаторов.

Предлагаемый апособ испытаний поясняется чертежом, на котором дан график испытательного напряжения как функции времени, 15 где )V — количество микропробоев, U — амплитуда испытательнаго напряжения, 7 — время, т — время достижения амплитуды испытательного напряжения равного 2 U»a, т время выдержки конденсатора при удвоенном

20 рабочем напряжении, Т„,„= t + т — общее время проведения испытания, 1, 2, 3,..., и— — l n — число происшедших микропробоев, Ь1 С з С 3 ° ° ., U„„— амплитуда напряжения на конденсаторе, при котором происходит пер25 вый микропробой, второй микропробой и так далее до и-го микропробоя.

Как видно из графика, в момент возникновения микропро боя испытательное напряжение сбрасывается с нуля, в результате чего

30 ограничивается мощность, выделяемая в локальной области микропробоя, что предотвра570854 гор

Un

U 2

С оста ни тель С. Ерохи н

Техред А. Степанова

Корректор Е. Хмелева

Редактор Н. Коляда

Заказ 1931/19 Изд. ¹ 688 Тираж 1109 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 щает возникновение новых дефектных мест в объеме диэлектрика.

Величина времени / определяется количеством микропробоев, вызванных плохим качеством изготовления конденсаторов. В случае большого количества микропро боев, вызванного низким качеством, время может значительно возрасти, поэтому число микропробоев ограничивается максимальным числом

_#_iаанcSн. определяемым заранее для данной площади конденсатора S«. При этом общее время испытаний Teen будет лежать в пределах: где t — время, в течение которого происходит

iV »,S, Mèêðîïðîáîåâ.

После достижения n = У„акДк испытание прекращается и конденсатор отбраковывается.

Величина максимального количества микропробоев для конденсатора данной площади

S определяется из зависимости, которую в общем виде можно выразить: макс к — f (к1 Гд1) где Рт — вероятность безотказной работы

e,ë конденсатора в течение срока службы.

Предлагаемый способ позволяет повысить эффективность испытания за счет более полного выявления недоброкачественных конденсаторов, а также повысить надежность работы и увеличить срок службы конденсаторов за счет устранения имеющихся в объеме диэлектрика дефектов, Все это, вместе взятое, позволяет повысить надежность радиоэлектронной аппаратуры, в состав котрой входят тонкопленочные конденсаторы.

Фор мул а изобретения

Способ испытаний тонкопленочных конденсаторов, заключающийся в том, что на обкладки конденсаторов подают последовательность импульсов возрастающего напряжения, 15 отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности испытаний, подают линейно возрастающее напряжение до возникновения микропробоя, а по окончании микропробоя вновь подают напряжение до ампли20 туды, соответствующей следующему микропробою, указанные операции повторяют до получения амплитуды, соответствующей двойному рабочему напряжению и одновременно проводят регистрацию количества микропро25 боев, по которому судят о качестве конденсаторов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 112133, 30 кл. G 01R 31/12, 1960.

2. Авторское свидетельство СССР № 156245, кл. G 01R 31/12, 1962.