Способ контроля толщины диэлектрических покрытий

 

ОПИС ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ (1 ) 578558

Соме Советских

Се,!natIистисеских

Ресотблик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. спид-ву (22) Заявлено 04.04.73 (21) 1904951/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.77. Бюллетень ¹ 40 (45) Дата опубликования описания 14.11.77 (51) М. Кл.з G 018 7/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений н открытий (53) УДК 531.717.1 (088.8) (72) Автор изобретения

В. П. Денискин (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ

Изобретение касается неразрушающего контроля материалов и изделий, в частности способов контроля параметров электропроводных изделий вихретоковым методом.

Известен способ контроля толщины диэлектрических покрытий из электропроводящей основе, заключающийся в том, что возбуждают в изделии с помощью установленного на него вихретокового преобразователя вихревые токи, измеряют величину вносимого в преобразователь сопротивления и по его величине судят о толщине диэлектрического покрытия (1l.

Однако измерение толщины диэлектрических покрытий таким способом при непостоянстве удельного электрического сопротивления изделия приводит к значительным ошибкам, а измерение удельного электрического сопротивления изделия практически невозможно.

Известны также способы контроля удельного электрического сопротивления, заключающиеся в том, что возбуждают с помощью накладного вихретокового преобразователя, вкл|оченного в колебательный контур, в электропроводном изделии вихревые токи, измеряют величину вносимого в контур сопротивления и по его величине судят об удельном электрическом сопротивлении изделия (2).

Однако эти способы не дают точных результатов прп на ",II÷ø! диэлектрических покрытий значительной толщины и при изменении расстояния между преобразователем и изделием.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ контроля толщины диэлектрических покрытий на электропроводящем основании, заключаюшийся в том, что возбуждают с помощью накладного

10 вихретокового преобразователя вихревые токи, частоту которых выбирают из условия а кис/о)) 1, где а — радиус преобразователя; co — круго15 вая частота; пс — магнитная постоянная; о — удельное электрическое спротпвленпе, выделяют активную и реактивную составляющие вносимой в преобразователь ЭДС, суммируют их и по величине полученного напряжения су20 дят о толщине покрытия (3).

Недостатком этого способа является невозможность контроля удельного электрического сопротивления.

Целью изобретения является одновремен25 ное измерение толщины диэлектрических покрытий на электропроводном изделии и удельного электричского сопротивления изделия.

Для этого по предлагаемому способу дополнительно возбуждают в основании вихре578558

Составитель И. Кесоян

Техред Л. Гладкова

Корректор Л. Котова

Редактор О. Юрковн

Подписное

Заказ 2416/9 Изд. Ко 878 Тираж 907

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 вые токи, частоту которых устанавливают из условия азеоро/р«1, выделяют активную составляющую вносимой на этой частоте ЭДС, делят с помощью делителя напряжений напряжение с выхода сумматора на напряжение, пропорциональное активной составляющей вносимой ЭДС на второй частоте, и по величине полученного отношения судят о величине удельного электрического сопротивления.

По предлагаемому способу контроль толщины диэлектрических покрытий на электропроводном изделии и удельного электрического сопротивления основания производят следующим образом.

С помощью накладного вихретокового преобразователя, установленного на изделие, в электропроводном изделии возбуждают вихревые токи двух частот, одна из которых выбирается из условия а ego/р))1, другая — из условия а opo/р<<1.

Выделшот, например, с помощью фазочувствительных детекторов активную и реактивную составляющие вносимой ЭДС на первой частоте и активную составляющую — на второй. Суммируют активную и реактивную составляющие вносимой ЭДС на первой частоте с помощью сумматора и по величине полученного напряжения судят о толщине покрытия.

Делят с помощью делителя напряжений напряжение с выхода сумматора на напряжение, пропорциональное активной составляющей ЭДС на второй частоте, и по величине полученного отношения судят о величине у ельного электрического сопротивления сногаппя.

П е л",ãàå:àûé способ позволяет значитель,о -.очное контролировать толщину диэлектрических покрытий на электропроводном изделии и удельное электрическое сопротивление изделия в большом диапазоне контролируемых параметров.

Формула изобретения

Способ контроля толщины диэлектрических покрытий на электропроводящей основе, заключающийся в том, что с помощью накладного вихретокового преобразователя возбуждают в основании вихревые токи, частоту которых устанавливают из условия и ®ро/р))1, где а — радиус преобразователя; а — круговая частота;

po — магнитная постоянная; р — удельное электрическое сопротивление, выделяют активную и реактивную составляющие вносимой ЭДС, суммируют их и по величине полученного напряжения судят о

20 толщине покрытия, отличающийся тем, что, с целью контроля также и удельного электрического сопротивления основания, дополнительно возбуждают в основании вихревые токи, частоту которых устанавливают из

25 условия а озеро/р« 1, выделяют активную составляющую вносимой на этой частоте

ЭДС, делят с помощью делителя напряжений напряжение с выхода сумматора на напряжение, пропорциональное активной составля30 ющей вносимой ЭДС на второй частоте, и по величине полученного отношения судят о величине удельного электрического сопротивления.

Источники информации, 35 принятые во внимание при экспертизе

1. Дорофеев А. Л. Неразрушающие испытания методом вихревых токов. М., Оборонгиз, 1961, с. 114.

2. Там же, с. 100.

40 3. Авторское свидетельство СССР _#_ 292057, кл. G 01В 7/04, 1969.

Способ контроля толщины диэлектрических покрытий Способ контроля толщины диэлектрических покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх