Пленочный термоанемометрический датчик

 

пц 534254

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.07.76 (21) 2378817/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.12.77. Бюллетень № 46 (45) Дата опубликования описания 09.12.77 (51) М. Кл.з G 01Р 5/12

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 632.575.6 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Ф. Романченко, Е. А. Самойлов и Л. А. Деньгина

Уфимский авиационный институт им. Орджоникидзе (71) Заявитель (54) ПЛЕНОЧНЫЙ ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК

Формула изобретения

Изобретение относится к измерительной технике в области гидрогазодинамики.

Известны пленочные термоанемометрические датчики в виде тонких металлических пленок, нанесенных на поверхность подложки с проволочными токоподводами (1), или с токоподводами, нанесенными на поверхность подложки в виде пленки (2)

Кроме того, известен пленочный термоанемометрический датчик с косвенным подогревом в виде металлической пленки, нанесенной на торец подложки, с контактирующим с ней «в точке» электродом, расположенным в подложке (3), который имеет малую чувствительность и пространственную разрешающую способность, ввидутого,чтоэпюра разогрева пленки в месте контакта ее с электродом недостаточно локализирована и резко выражена на поверхности пленки.

Целью изобретения является повышение чувствительности и пространственной разрешающей способности пленочного термоанемометрического датчика косвенного подогрева.

Это достигается за счет того, что в предлагаемом датчике металлическая пленка выполнена с переменной толщиной, уменьшающейся по мере приближения к месту контакта с электродом.

На чертеже изображен описываемый термоанемометрический датчик, содержащий чувствительный элемент в виде металлической пленки 1, нанесенной на торец цилиндрической подложки 2, из электроизоляционного материала, и два токоподвода 3 и 4. Токоподвод 3 выполнен в виде металлической пленки, нанесенной на цилиндрическую поверхность подложки 2, а токоподвод 4 расположен на ос» цилиндрической подложки и имеет электрический контакт с металлической пленкой 1

«в точке».

10 Металлическая пленка конструктивно выполнена таким образом, чтобы ее толщина по мере приближения к месту контакта с электродом уменьшалась.

Особенность работы пленочного термоане15 мометрического датчика заключается в следующем. Вследствие уменьшения толщины металлической пленки по мере приближения к месту контакта с электродом степень изменения плотности тока повышается. За счет

20 выбора характера уменьшения можно обеспечить требуемую эпюру разогрева пленки в месте контакта с электродом и, следовательно, обеспечить более высокую чувствительность и пространственную избирательность

25 датчика.

Пленочный термоанемометрический датчик, 30 включающий в себя токоподводы, металлическую пленку, нанесенную на подложку и 584254

Составитель Ю. Власов

Техред И. Михайлова

Корректоры: Л. Котова и Л. Брахнина

Редактор С. Хейфиц

Подписное

Заказ 3198/15 Изд. № 1000 Тираж 1109

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 контактирующую с электродом, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения чувствительности и пространственной разрешающей способности, металлическая пленка выполнена с переменной толщиной, уменьшающейся к месту контакта с электродом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Поляков Ю. А., Митькина Е. А. Тонко4 пленочный термометр сопротивления. «Приборы и техника эксперимента», 1961, № 4, с. 140 — 142.

2. Маякин В. П., Донченко Э. Г. Электронные системы для автоматизированного измерения характеристик потоков жидкостей и газов. <энергия», М., 1970, с. 12.

3. Авторское свидетельство CCCP¹509832, кл. G 01Р 5/12, 1976.